【課題】本発明は、ボールバンプウエハ生産工程で、全ボールバンプの高さ（形状含む）を効率良く検査するボールバンプウエハ検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るボールバンプウエハ検査装置は、ボールバンプを有する複数のチップが形成された被検査ウエハをウエハ搭載台に搭載し、投光光学系からウエハ搭載台に搭載された被検査ウエハへ検査光を照射し、被検査ウエハの表面（バンプ表面も含む）で反射した被検査光の強度を検出光学系で検出し、検査光の強度からボールバンプの形状（高さ、径、位置）を検出する。 （もっと読む）

【課題】櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、アライメントずれを容易に、且つ、定量的、高精度に評価する。
【解決手段】位置合わせ対象の一方（２４）に、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマーク（４６）を設けると共に、位置合わせ対象の他方（２８）に、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子（４２ａ、４２ｂ）（４２ｃ、４２ｄ）を設ける。 （もっと読む）

【課題】測定点のアライメント作業を容易に行える安価な測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体２１を水平移動させるＸＹステージ２２と、被検体２１を観察する観察光学系１０と、観察光学系１０の対物レンズ１１を上下移動させるＺステージ１５と、対物レンズ１１を介して被検体２１に測定光を照射して合焦を検出する焦点検出系３０と、焦点検出系３０と対物レンズ１１を光学的に結合するハーフミラー１７と、焦点検出系３０による検出結果に基づいてＺステージ１５を制御する信号処理部４１と、Ｚステージ１５による対物レンズ１１の移動量を測定する測定部４２とを有している。さらに測定顕微鏡装置は、焦点検出系３０とハーフミラー１７の間の光路上に配置された２つのウェッジプリズム５１ａと５１ｂと、ウェッジプリズム５１ａと５１ｂをそれぞれ回転可能に保持している回転機構５２ａと５２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】 適切な眼鏡調整ができるように、被検者の使用環境に応じた状態で被検者の眼の位置を正確に測定できる眼位置測定装置を提供する。
【解決手段】 被検者眼を注視させるための注視目標を持ち該注視目標の呈示距離を光学的に変化させる注視目標呈示光学系と、被検者の両眼を含む前眼部を撮像するための撮像手段を持ち該撮像手段による撮影距離を光学的に変化させて前記注視目標と略同一位置から撮像する撮像光学系と、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて被検者の眼位置を測定する測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】矩形状の検出対象物の位置とその向き検出して基準位置への位置合わせを効率的に、しかも高精度に行うことのできる位置検出方法および位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】検出対象物の一辺のエッジ位置をそれぞれ検出する第１および第２のラインセンサの出力から前記検出対象物の向きのずれ角を求め、求められた検出対象物のずれ角と前記第１〜第３のラインセンサの出力とから前記ずれ角を補正後における前記検出対象物の各軸方向へのずれ量を求める。そしてｘ軸およびｙ軸方向のずれ量Ｘ,Ｙとずれ角θとを３軸同時に制御する。 （もっと読む）

【課題】高い応答性と高い認識率を有する画像センサ追従装置を提供する。
【解決手段】対象物との距離を計測する光電センサ５と、カメラ４が取り込んだ対象物の画像に対して物体認識し重心点を算出する画像処理部７と、画像の中心から対象物までのローリング角度を算出するローリング軸ずれ角度算出部８と、ローリング角度がゼロになるまでローリング軸の駆動部を駆動するローリング軸駆動部９と、対象物重心点までの距離とスキャン角度を計測する光電センサ距離計測部１０と、カメラ４と対象物４３の角度を算出するカメラ追従角度演算部１１と、逆運動学演算部３１と、ヨーイング軸・ピッチング軸駆動部３２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】体幹に備えられているカメラとは別のカメラを関節を介して体幹に接続された接続部位に設けることで、ロボットの作動時に接続部位などの体の一部が視界に入ることで生じる未知環境をなくし、常時周囲の環境全域を認識できる技術を提供する。
【解決手段】本発明におけるロボットは、頭部および胴体からなる体幹１０３と、駆動する肩関節２０３を介して体幹１０３に接続された少なくとも一本の接続部位１０４と、体幹に少なくとも１つ設けられている体幹側カメラ１０５と、接続部位に少なくとも１つ設けられている接続部位側カメラ１０６を有している。さらに、体幹側カメラ１０５により撮像した体幹側画像と接続部位側カメラ１０６により撮像した接続部位側画像とを合成して合成画像を作成する合成画像作成手段と、合成画像より周囲物体の位置を認識する認識手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することができ、かつ、変位検出装置の継続的な使用によっても信頼性の高い変位検出装置、これに搭載される偏光ビームスプリッタ及び回折格子を提供すること。
【解決手段】回折格子１２として反射型の回折格子が用いられているので、回折格子１２で生成される各回折光を折り返らせることができ、変位検出装置１の小型化が実現される。しかも、各１／４波長板２３、４３、１２３及び１４３、ミラー２４、４４、１２４及び１４４等がメインＰＢＳ２２に一体的に設けられる構成とすることで、組み立て精度を高く維持することができ、変位検出装置１の信頼性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】有効性および生産性の高い優良卵自動判別装置を提供する。
【解決手段】検査卵Ｅ１を撮影する卵画像撮影部１１と、卵下部の色に基づいて無精卵および中止卵を判定する無精卵・中止卵判定部１２と、気室部を特定する気室抽出部１３と、特定された気室部の形状に基づいて気室不良卵を判定する気室不良卵判定部１４と、血管の発育状況に基づいて中後期中止卵および発育不良卵を判定する中後期中止卵判定部１５とを備えている。各判定部において、検査卵Ｅ１の画像に基づいて算出された値と、予め設定した閾値とを比較することにより判定を行う。これにより卵内接種やワクチン製造に好適な優良卵を高い有効性で検出することが可能となる。 （もっと読む）

本方法に係る測定方法において、対象物表面の３D形状検出が標本間隔以下での標本化（標本定理に反して）によって成し遂げられ、その間、干渉計（５）に重ね合わされた二つの光束（リファレンス光束（１６）及び測定光束（１５））のうちの少なくとも一つが、二つの構成要素Ｓ及びＰに分割され、それを基に異なる干渉画像（Ｓ干渉画像及びＰ干渉画像）が二つのカメラ（９、１０）上に作られる。上記構成要素は、好ましくは互いに１８０°位相偏移される。差分画像が、カメラの二つの干渉画像から作られる。短いコヒーレント光を用いる場合、差分画像のピクセルは、リファレンス光路と測定光路との差がコヒーレンス長よりも短いＺ範囲においてのみ、ゼロとは異なる輝度を有する。Ｚ−座標の関数として、差分画像のビューピクセルが、著しく波動する輝度曲線を示し、包絡曲線又は標準偏差も、ガウス型ベル曲線に従う。曲線極大は、差分画像のビューピクセルが関連する表面点に対してｚ−測定値を設定する。本方法は安定で速く且つ精確である。
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【課題】 半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の比率等の相関関係に基いて浅いスクラッチと異物とを弁別しすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】写真測量を用いた測定対象の三次元形状の測定において、処理を自動化することによって手間を省略するとともに、より正確に測定する
【解決手段】複数の撮影装置で撮影された撮影画像から測定画像を作成する測定画像作成部３３ｂと、測定画像からそれぞれの撮影装置に対応する対応点座標を抽出する対応点抽出部３３ｃと、前記対応点座標から前記測定対象の三次元形状を求める形状測定部３３ｄと、前記対応点座標に対し前記測定対象の撮影位置と前記設計データによって決定されている前記測定対象の基準位置との誤差補正を行い、前記測定対象の三次元形状を補正する位置補正部３３ｅと、前記位置補正部により補正された三次元形状と前記設計データを比較することによって、前記測定対象の変形箇所の位置と変形量とを算出する変形量算出部３３ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】三次元物体を、より効率的に検出する。
【解決手段】一対の撮像手段で三次元物体を撮像し、画像を細分した各領域について視差データを算出する。該視差データに基づき、撮像手段からの距離を表すグレースケール値を算出し、各領域が対応するグレースケール値を持つグレースケール画像を生成する。三次元物体はモデル化され、該モデルと該グレースケール画像中の画像領域との類似度を表す相関値を算出する。モデルは、撮像手段が位置する方向から三次元物体を見たときの形状的特徴を有する二次元画像であるとともに、該二次元画像を細分した各領域は、三次元物体の対応する部分の該撮像手段からの距離を表すグレースケール値を有している。該相関値は、該モデルのグレースケール値と、該グレースケール画像中の該画像領域のグレースケール値とに基づいて算出される。該モデルと最も高い相関値を持つ画像領域を、該グレースケール画像において検出することにより、三次元物体を検出する。 （もっと読む）

【課題】干渉光の検出感度を向上させて、良好な精度の信号強度や位相情報を用いて被測定物体を計測できる光画像計測装置を提供する。
【解決手段】光画像計測装置１は、光ビームを分割して信号光Ｓと参照光Ｒを生成する。波長板７は参照光Ｒの偏光特性を変換する。参照鏡９は参照光Ｒを反射する。参照鏡９は、参照光Ｒの光路方向に移動可能とされている。ハーフミラー６は、被測定物体Ｏを経由した信号光Ｓと参照鏡９を経由した参照光Ｒ（偏光特性が変換されている）とを重畳させて干渉光Ｌを生成する。偏光ビームスプリッタ１１は、干渉光ＬをＳ偏光成分Ｌ１とＰ偏光成分Ｌ２に分ける。ＣＣＤ２１はＳ偏光成分Ｌ１を検出し、ＣＣＤ２２はＰ偏光成分Ｌ２を検出する。信号処理部２０は、これらの検出結果に基づいて被測定物体Ｏの画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】複写機等の電子写真を用いた画像形成方法による定着装置、画像形成装置における、省エネルギー化と、画像の光沢ムラ防止を図る。
【解決手段】無端状の定着ベルト２３と加圧ベルト２５の間に記録紙２８を挟んで搬送し、その表面のトナー像を加熱、放熱させた後に定着ベルトからトナー面を分離する。定着ベルト２３からの分離時にトナー像は凝固しているため、１００℃程度で溶融するトナーを用いても定着ベルト２３側に低粘度トナーがオフセットすることが防止され、低温度定着が容易になる。このため良好な省エネルギー定着システムが得られることになる。このようなシステムにおいて懸架された一対のベルト２３、２５に一定の張力をかけ、記録紙２８の挟持を密着状態に保つ。ベルト２３、２５の面のうねりは光反射型センサ３１、３２で検出し、テンション調整によりうねりを無くす。 （もっと読む）

【課題】２台の撮像装置によって撮像された対象物の画像から三角測量の原理を用いて対象物の位置を３次元的に計測する際に要する時間を短くする。
【解決手段】視覚センサ１０は、２台の撮像装置１２ａ，１２ｂと画像処理装置２６とを備える。画像処理装置２６は、２台の撮像装置の各受像素子２２ａ，２２ｂから出力される画素データのうちから、予め教示された対象物の特徴情報に一致する画素データを抽出し、抽出された画素データの範囲内において一方の撮像装置から出力された画素データと他方の撮像装置から出力された画素データとの間で一致する画素データを検出することによって、２台の撮像装置において対象物の同一の微小部分が結像した受像素子を特定し、特定された受像素子の位置に基づき、三角測量の原理を用いて微小部分の３次元的な位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】FBG方式（ファイバグレーティング方式）の光ファイバセンサで変位測定装置を構成することにより、１台の変位測定装置によって被測定物の傾斜角度のみならず、傾斜方向をも同時に計測することが可能な変位測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、変位測定装置であり、筐体と、筐体内部の天井面から吊下された吊り下げ部材と、吊り下げ部材に接続された錘と、錘を筐体側面の複数方向同一高さ位置から引張支持する複数本の錘引張支持材と、各錘引張支持材のひずみを計測する計測部と、 を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明を詳細に調整する必要なしに、検出対象物を簡単かつ精度良く検出できるようにする。
【解決手段】カメラ１の周囲４方向に設けられた光源２１〜２４を順に点灯させるとともに、点灯の都度カメラ１を駆動して、ワークＷの画像を４枚生成する。さらに、これらの画像間で座標が同一になる画素の組毎に、その組に属する各画素の明るさと、あらかじめ求めた各光源に対応する照明方向ベクトルとを用いて、法線ベクトルを算出する。さらに、画素毎の法線ベクトルを、空間座標系に対する当該ベクトルの関係を示す一次元情報に変換し、その算出結果を表す画像を生成した後、所定の特徴抽出処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】複数のアライメントマークの中からターゲットアライメントマークを識別する。
【解決手段】アライメントスコープの視野ＭＦ内に複数のアライメントマークが存在する。これらの中から、複数のアライメントマークの間の距離又は複数のアライメントマークの配置に基づいて、ターゲットアライメントマークを識別する。 （もっと読む）

【課題】組立が容易で、感度の高い変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置において、導入された検出用の光を第１の端面３ｂから射出する光ファイバ３と、第１端面から射出された光を対象面５に照射するとともに、その反射光を第１端面に照射する第１の集光素子４と、第１端面から光ファイバに入射した反射光に基づき、対象面の変位を示す信号を出力する検出信号出力手段６〜８と、検出用の光を発する発光部１と、発光部からの光を光ファイバの第２の端面３ａに照射して検出用光の導入を行う第２の集光素子２とを設ける。 （もっと読む）