本発明により、両面微細構造化製品を製造する方法、及びこの方法のために使用することができる位置決め構造が提供される。この方法には、基板シート５０の第１の表面に一次製品フィーチャ８０を提供するステップ８００と、反対側の表面に二次製品フィーチャ９０を提供するステップ８１０と、位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の相互位置合わせを表示するステップ８２０と、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の準備を位置合わせさせるステップ８３０が含まれている。位置決め構造は、第１の表面に集束エレメント２０の位置決めアレイを備えており、また、反対側の表面に、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０と位置合わせされた、製品フィーチャの８０、９０の位置合わせを推定するために基準オブジェクト３０のホログラフィ表現１０を提供する、基準オブジェクト３０の位置決めアレイを備えている。
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少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】搬送角度を容易に求めることが可能な画像検査装置、画像検査方法および検査用画像作成方法を提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数のレンズを有するレンズシートＬに印刷されている検査用画像を用いて搬送角度を算出する画像検査装置であって、検査用画像は、特定のラインを基準ラインとし、この基準ラインから一方側および他方側のそれぞれに向かって離間するラインごとに、当該基準ラインに対する傾斜角度が所定の角度ずつ増大するように、各ラインが配置されていて、この検査用画像が印刷されているレンズシートＬに光を照射し、このレンズシートＬから反射される光を読み取って、該レンズシートＬに対応する読み取り画像を出力するスキャナ手段１１Ｂと、読み取り画像から、レンズシートＬの搬送角度を算出する算出手段１１Ｃと、を具備している。 （もっと読む）

【課題】製造した透明基板の板厚のむらを容易に確認できるようにする透明基板の検査方法を提供する。
【解決手段】板厚分布の状況が既知である第一の透明基板と、検査対象となる第二の透明基板とを準備し、第一の透明基板と第二の透明基板の平均板厚の差を５０μｍ以内とする。第一の基板と第二の基板の基板間隙を０．１ｍｍ以上とする。ピーク輝度に対する半値幅が５ｎｍ以上である光を照射する。第一の透明基板および第二の透明基板を通過する光の干渉強度分布によって、第二の透明基板の板厚分布の程度を判断する。 （もっと読む）

【課題】 主に燃料噴射弁からの液漏れ量測定装置等に、測定管として用いられている透明な管の内径寸法を、比較的簡単な装置と演算により高精度に求める事が出来る透明管の内径測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象である透明管を、高い容量精度、再現精度が保証された測定液注入器に連結し、一定量の測定液を注入した際に上昇する液面高さを測長手段によって読み取り、注入液容量を液面上昇量で除して得られる内径断面積により確度の高い内径寸法値が得られる。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜におけるピンホール等の検査方法を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に調光薄膜を接合し、水素ガスを電解質膜の他方の面側から供給する。電解質膜にピンホール等の欠陥部があると、水素ガスが電解質膜の一方の面へ漏洩するから、該一方の面に調光薄膜を接合しておけば、欠陥部の漏洩水素ガスで調光薄膜が水素化して反射率が局部的に変化する。すなわち調光薄膜の局部的な反射率の変化の有無を目視等して電解質膜の欠陥部の有無を迅速に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】ＴＶカメラ自体が有する画素分解能よりも高い分解能を有する映像を作成することにより、欠陥の視認性を向上させた検査画像を得構造物の検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物１００を撮影するＴＶカメラ１０１と、ＴＶカメラ１０１を検査対象物に対して走査運動を行わせるＴＶカメラ駆動装置１０２と、ＴＶカメラ１０１の映像をデジタル画像として取り込む画像取込装置１０５と、ＴＶカメラ１０１の走査運動を測定するカメラ運動測定装置１０４と、画像取込装置に取り込まれた複数のデジタル画像とカメラ運動測定装置１０４で測定したＴＶカメラ１０１の走査運動データからＴＶカメラ１０１が有する画素分解能よりも高い画素分解能を有する高精細画像を作成する高精細画像作成装置１０６と、高精細画像を表示する表示装置１０７と、検査対象物の位置情報を記録保存する記録装置１０８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 塗装工程前の自動車ボデーからホコリを除去する工程において、自動車ボデー表面に付着したホコリをより明確に可視化する装置を提供する。
【解決手段】 スリット光を発生可能なスリット光発生手段２と、スリット光発生手段２が照射するスリット光を反射させてワークＷへ照射させる反射鏡３と、スリット光発生手段２から照射されるスリット光をワークＷ上に３３Ｈｚの周期で照射するように反射鏡を振動可能な反射鏡振動手段４とからなり、
ワークＷ上に照射されたスリット光がホコリによって散乱光を発生し可視化する。 （もっと読む）

【課題】露光装置のステージ移動軸の直交度を露光処理中に正確に検出することが可能な露光方法を低コストに提供する。
【解決手段】半導体ウェハWFにおいて、各セルCLａ，CLｃはステージ移動軸のＸ軸方向に隣接し、セルCLａには描画パターン形成領域１５および検査用パターン１６が形成され、セルCLｃには描画パターン形成領域１５および検査用パターン１７が形成されている。各検査用パターン１６，１７は、各セルCLａ，CLｃの間に設けられたスクライブ領域SLに形成され、検査用パターン１６がノギスの主尺を構成し、検査用パターン１７がノギスの副尺を構成する。そのため、バーニアの原理に基づいて、各検査用パターン１６，１７の直線棒状のパターンを目盛りとし、各検査用パターン１６，１７の位置ズレを目視計測でき、それに基づいて各セルCLａ，CLｃの配列のズレを検出できる。 （もっと読む）

【課題】面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体Ｓを載置するＸＹステージ１０と、被検体Ｓを光学的に観察するための観察光学系２０と、被検体Ｓに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系３０と、被検体Ｓを照明する落射照明光学系４０と、指標投影光学系３０と落射照明光学系４０の光量の比率を連動して切り換える光量調節部５０とを有している。 （もっと読む）

【課題】Fe-Ni合金スラブの最大非金属介在物の大きさを推定することにより、表面品質に優れたFe-Ni合金板を製造する方法を提案する。
【解決手段】極地統計法により、スラブ段階における最大非金属介在物の大きさを測定し、その大きさ√area_maxが200μｍ以下であるFe-Ni合金スラブを用いて常法に従う熱間圧延および／または冷間圧延を行い、履歴の明らかなFe-Ni合金板を製造する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物の自主管理を容易にする。
【解決手段】管理者端末２０、自主管理支援サーバ３０及びネットワーク４０からなるコンクリート構造物の自主管理支援システムであって、管理者端末２０は、コンクリート構造物のひび割れ幅を光学的な測定により定量化する携帯型のひび割れ幅測定装置を用いて管理者が定期的に測定したコンクリート構造物のひび割れ幅データを自主管理支援サーバ３０に対して送信し、自主管理支援サーバ３０は、管理者端末２０から送信されたひび割れ幅データを受信すると共に、受信したひび割れ幅データを時系列に記憶し、さらに、定期的に測定されたひび割れ幅データの経時変化に基づいて、コンクリート構造物の劣化度を判定すると共に、劣化度判定結果を管理者端末２０に対して送信する。 （もっと読む）

【課題】基板保持機構および基板検査装置において、基板を円滑かつ確実に保持することができるようにする。
【解決手段】基板保持機構が、被保持物である薄板状のガラス基板Ｗが略一定の配置領域である基板受け部２０ａに供給されるホルダベース２０と、ホルダベース２０において配置領域の外側と外縁部との間で進退可能に設けられ、配置領域の外縁部に進出時にガラス基板Ｗを保持する複数の吸着ホルダ２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査作業者の負担軽減を図ることが可能な目視検査用の拡大観察装置を提供すること。
【解決手段】所定の観察領域内の検査対象を撮像する撮像部１２と、撮像部１２により撮像された撮像画像の画像データを記憶する記憶領域１４ａと、記憶領域１４ａに記憶された画像データに基づいて撮像画像を表示する表示装置２０と、を備える目視検査用の拡大観察装置において、表示装置２０の画面上に付加情報を書き込む入力部１５ａ及び入力装置１５ｂと、付加情報を、撮像画像の画像データとは別に記憶する記憶領域１４ｂと、を備え、表示装置２０は、記憶領域１４ｂに記憶された付加情報を読み出し、該付加情報と検査対象の撮像画像とを重ねあわせて表示する。 （もっと読む）

【課題】基板検査を行う際に、欠陥の位置を確実に特定できるようにする。
【解決手段】基板検査装置１は、照明装置３から照明光をガラス基板Ｗに照射して観察者が目視で欠陥の有無を検査するように構成されており、ガラス基板Ｗの観察面に画像を投影可能なプロジェクタ１５が取り付けられている。プロジェクタ１５は、制御装置１２に接続されており、制御装置１２は、欠陥の位置を示すポインタを作成し、プロジェクタ１５から投影させる。また、ポインタの種類や大きさは、操作部２６によって選択できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 誤品検査を行う作業者の集中力を回復させることができる物品検査装置を提供する。
【解決手段】 部品コード（物品識別情報）に対応して部品の外観形状を示す情報を記憶している外観形状データベース（記憶手段）２１と、部品に付されている部品ＩＤを入力する部品ＩＤ入力手段３１と、部品ＩＤが入力された際に、入力された部品ＩＤに対応して外観形状データベース２１に記憶されている外観形状情報から得られる真正物品の外観形状、又は、入力された部品ＩＤから相違する非真正物品の外観形状を表示する表示器４０を備えている。そして、表示器４０が真正物品の外観形状を表示する頻度は、非真正物品の外観形状を表示する頻度よりも高い。 （もっと読む）

【課題】大型の基板を検査する場合においても、構成が簡単で高コスト化を招くことなく、検査者が基板に近づいて観察可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】光を基板２に照射するマクロ照明部１と、光が基板２に照射されるように基板２を保持する基板保持部４とを備える外観検査装置Ａにおいて、基板保持部４は、基板２の表面２ａが略垂直となるように基板２を保持するものとされ、マクロ照明部１は、検査者７が基板２からの反射光または透過光を観察可能な観察台３が設けられ、基板保持部４に基板１が略垂直に保持された状態で、マクロ照明部２と観察台３とが基板面に沿って二次元方向に相対移動可能とされている。 （もっと読む）

【課題】被検査物を外観的に検査する外観検査装置の検査処理速度は、画像データ比較による自動判定で一致しないとされた被検査物の状態を、さらに人間の目視によって判定することが避けられないために、その間の処理が停止し、検査時間を短縮することができないという問題があった。
【解決手段】本願発明は、人間による目視判定処理と自動判定処理との間で、それら各処理をそれぞれ独立して行えるようにすることにより、撮像カメラ４の移動から撮像、および撮像後の被検査物画像と正画像の画像処理による一つの被検査物に対する自動判定までの一連の動作を完結させ、目視による検査者が目視判断を終了することを待たずに次の被検査物の検査に移ることができるようにして上記検査時間の短縮を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 カメラ映像に基づいて複雑な計算を行うことなく、簡便に作業位置、寸法計測を実施できる作業位置計測方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 作業対象面５０との相対距離と相対角度を一定に保持することが可能であり表面に位置計測用の参照点を有する移動体１１を接触させ、カメラ２０と照明２１を有する監視装置１８を作業対象面５０との相対位置が既知である任意の基準点に設置し、移動体１１と監視装置１８とが任意の相対角度または相対距離における両者の相対距離と、映像上での前記被撮影体表面上の距離寸法と、を一対一に相関させる相関データをあらかじめ求めておき、被撮影体と監視装置との相対角度を測定し、監視装置１８のカメラ２０により移動体１１を撮影し、その映像上の前記参照点間の寸法距離と、測定した相対角度に一致する前記相関データとを照合することにより、監視装置１８と移動体１１の間の相対距離から作業位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】多色印刷において、見当合わせを行うための見当マークの相対位置を目視で容易に測定できる方法、見当マーク、見当マーク生成装置を提供する。
【解決手段】見当マーク１８５を構成する本尺見当マーク１８５ａと副尺見当マーク１８５ｂの形状データを記録する見当マークデータ１８０と、色版オブジェクトを記録する製版データとを記憶する記憶手段と、見当マーク位置指定に含まれる見当マークの位置座標から、本尺見当マークまたは副尺見当マークの位置座標を生成して、生成した本尺見当マークの位置座標と本尺見当マーク形状データまたは、副尺見当マークの位置座標と副尺見当マーク形状データを含んだ色版オブジェクトを作成する見当マーク指定手段と、生成された色版オブジェクトを、製版データに追加して、見当マーク付製版データを生成する手段と、を備えた印刷見当マーク追加装置。 （もっと読む）