【課題】試験片のマクロまたはミクロの変形の測定を含め、試験片の変形特性を決定するために試験片にマークを付けて測定するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】試験片にマークを付けて測定するための方法および装置であって、エネルギー式システムを用いて試験片の変形特性を決定するために高解像度ゲージマークを形成する。 （もっと読む）

【課題】 スペース上における基板の平面状態を保持しながら、その基板を容易に搬送することができ、迅速かつ正確な検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 所定のスペース１５をおいて配列された第１のステージおよび第２のステージと、基板１３を浮上させる浮上手段２０と、基板１３を支持する支持部と、この支持部を移動させて前記基板１３を搬送する基板搬送機構と、前記スペース１５に沿って移動可能に設けられ、基盤１３を観察するための観察手段と、この観察手段に対向して配置され、前記スペース内を移動する照明部と、前記スペース１５を埋めるスペーサ４０と、このスペーサ４０を、前記スペース１５内において前記スペース１５の少なくとも一部を埋める閉鎖位置Ｌと、前記スペース１５から退避して前記スペース１５を開放する開放位置との間で移動させるスペーサ移動機構と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 物体の歪による変形量を大面積にわたって、容易に検出する方法、および、その装置を提供すること。
【解決手段】 物体の歪をする方法は、物体に検出膜を適用するステップであって、検出膜は、周期的に配列した、第１の面間隔を有する粒子と、前記粒子間の間隙を埋める弾性体とを含む、ステップと、検出膜を介して物体に光を照射するステップと、検出膜中の粒子で反射された光を受光するステップであって、物体に歪が生じていない場合、第１の面間隔を有する粒子で反射された光を受光し、物体に歪が生じている場合、歪に応じて第１の面間隔から所定の関係を満たすように変化した第２の面間隔を有する粒子で反射された光を受光する、ステップと、受光された光から物体の歪を検出するステップとを包含する。 （もっと読む）

【課題】 目視あるいは外観検査機で位置ずれの確認が容易にできる位置合わせ確認マーク、印刷物、位置合わせ検査方法を提供する。
【解決手段】 透明な基体シート上に、一定面積の外形形状を有するベタ柄からなる内側基準パターンと、位置ずれ許容量の幅を備える枠形状であって枠部の内周縁が内側基準パターンの外形形状よりも小さく枠部の外周縁が内側基準パターンの外形形状よりも大きい外側基準パターンとが、内側基準パターンの外周縁が外側基準パターンの枠部に重複して形成され、内側基準パターンと外側基準パターンとの間に許容量を超えた位置ずれが発生すると、内側基準パターンによって外側基準パターンの枠部内側が隠蔽されずに基体シートの露出部分が生じる。 （もっと読む）

【課題】熱交換器の耐圧性を比較的簡単かつ正確に検査することができる熱交換器の耐圧性検査方法を提供する。
【解決手段】内部接合部を有する複数の偏平状熱交換管が並列状に設けられており、かつ隣接する熱交換管どうしの間が通風間隙となっているとともに通風間隙にフィンが配置されている熱交換器１の耐圧性を検査する方法である。熱交換器１の内部を加圧し、加圧開始前に熱交換器１の片側から光を照射するとともに、熱交換器１の反対側からＣＣＤカメラ44で撮像し、撮像範囲を複数のドットに分割し、各ドットにおける輝度情報を所定のしきい値により白部分および黒部分に２値化して、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。また、加圧開始後連続的に上記と同様にして、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。加圧開始前の上記パターン、および加圧後の上記パターンの連続的変化に基づいて熱交換器１の耐圧性を判定する。 （もっと読む）

【課題】レーザクラッド加工における金属粉末の落下位置を物理的に計測するための金属粉末落下位置計測装置粉末落下位置計測装置を提供する。
【解決手段】仕切り板１１によって複数の空間１２に仕切られ、各空間１２には目盛り１５の付いた透明窓１４を設けて、各空間１２に投入された金属粉末量を計測できるようにした。各空間の金属粉末量の割合から金属粉末の落下入りのずれ量が計測できる。 （もっと読む）

【課題】被検出体の表面の歪みを容易に発見できる歪み検出装置および歪み検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】車両４を前方に搬送するベルトコンベア３の側方近傍には、検出用蛍光灯１５を有した光源１が固定され、光源１から照射された光が車両ボデー４１上で反射し、その反射光を検出用作業者Ｐが目視することにより、車両ボデー４１上の歪みを検出する。歪み検出前に、車両ボデー４１の表面上にグリコール系溶剤を塗布して、車両ボデー４１の表面に光沢を持たせ、光源１から黄色または黄緑色の光を車両ボデー４１へ照射する。 （もっと読む）

【課題】検査の対象とするフィルムの裏面に空気巻き込みによるトンネルおよび気泡を生じることなく均質に密着して貼り合わせることができ、好ましい検査体が形成され、塗布層の有無および均質性の判別性を明瞭に判別できる検査用基紙およびそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】検査用基紙として、表面色相が検査対象である光学用フィルムの色相と識別可能な色相、例えば、表面にカーボンブラック微粒子の含有層を形成した黒色のフィルムなど実質的に不透明で表面反射率が小さい基材層の表面に、熱可塑性エラストマーと可塑剤とを主成分とし、好ましくは、さらにカルボン酸変性熱可塑性エラストマーと架橋剤とを主成分とする接着性組成物を配合した粘着剤組成物から成る粘着剤層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 被検出体の表面の歪みを容易に発見できる歪み検出装置および歪み検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 車両４を前方に搬送するベルトコンベア３の側方近傍には、検出用蛍光灯１５を有した光源１が固定され、光源１から照射された光が車両ボデー４１上で反射し、その反射光を検出用作業者Ｐが目視することにより、車両ボデー４１上の歪みを検出する。検出用蛍光灯１５は、車両４の移動方向に対して垂直となる上下方向に延びているとともに、車両４の前側ドアＦＤｒおよび後側ドアＲＤｒの表面形状に合わせて曲げられており、その上下方向の各部位の、車両ボデー４１の表面に対する最短距離が互いに均等になるような形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ワクチン中の特定成分の含量を求める方法を提供する。
【解決手段】抗体を含むゲルに抗原を添加し、ゲル内での抗原抗体反応によって生じた沈降輪を画像取り込み手段によってコンピューターに画像として取り込み、取り込まれた画像をコンピューターによりディスプレーに表示し、画像として表示された沈降輪の端点を目視による助けを借りて決定し、その径の長さを自動で測定する方法。更に、Ｘ−Ｙテーブルを使用し、Ｘ−Ｙテーブルを自動的に移動させて順次全ての沈降輪をカメラにより画像として取り込み、順次ディスプレーに表示し、全ての沈降輪の端点を目視による助けを借りて決定し、その径の長さを自動で測定する方法。本発明の方法は、従来法に比べて要する労力を低減し、測定にかかる作業時間を短縮することができ、疲労から読み間違いを起こすことが少ない。 （もっと読む）

【課題】装置の部品積層精度評価方法に関し、部品自体の誤差を排除し、装置の積層精度を高めることを目的とする。
【解決手段】部品受け部１上に保持される被積層側部品上に積層側部品を積層して接合する装置における部品積層精度を評価するに際し、
被積層側部品に代えて、被積層側部品上に設定した寸法基準面２に位置表示マーク３を付した被積層側部品モデル４を部品受け部１に保持した後、
積層側部品に代えて、前記寸法基準面２との重合面に位置表示マーク３を付した積層側部品モデル５を前記被積層側部品モデル４上に積層し、
次いで、前記寸法基準面２を透視可能に形成された一方の部品モデル４、５側から重合面における位置表示マーク３の相対位置を観察し、
観察結果により装置の部品積層精度を評価する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの裏面におけるマクロ検査結果の正常あるいは異常判定は異物数を閾値としていたために、異物やチッピングそしてチャック痕を識別することが困難であった。
【解決手段】ウェーハ裏面を任意のエリアに分割して、チャック痕の対象となるエリア数Ｓ１の設定、Ｓ１における単位面積あたりの異物数ＰＳ１の規格値を設定することにより、ウェーハ裏面の異物とチャック痕の識別を迅速に行うことが可能である。
また、チッピング判定エリアおよびチッピング判定エリア内における単位面積あたりの欠陥数の閾値を設定することで、迅速に異物とチッピングを識別することが可能でるため、半導体装置の製造ロスを未然に防ぐことが可能である。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な検査装置を用いて、ガラスパネルのフェース部の内部欠陥の有無及び大きさと深さ方向位置とを容易に視認検出することを可能にする。
【解決手段】フェース部２の側方からフェース部２の内部に入射した第２検査光７ａ（８ａ）は、フェース部２の内部に欠陥Ｐ２があると、この内部欠陥Ｐ２の箇所で乱反射を起こして散乱光Ｐ２ａとなる。一方、外表面２ｂの側からフェース部の内部に入射した補助光１０ａは、粗面に形成された内表面２ａで反射されて反射光１０ａ１となる。そして、反射光１０ａ１により内表面２ａの位置を認識した状態で、内部欠陥Ｐ２の箇所での検査光７ａ（８ａ）の散乱光Ｐ２ａを視認する。 （もっと読む）

【課題】
軟質包装袋内に分散して存在するガスの量を迅速かつ正確に測定すること。
【解決手段】
いずれか一方の面に円形凹部を設けると共に、円形凹部に対応するいずれか少なくとも一方の面には気泡径測定用環状目盛を該円形凹部と同心円状に表示してなる透明基板からなることを特徴とする封入液体内発生ガスの気泡径測定用治具。 （もっと読む）

【課題】 多層構造を有する半導体装置の製造において、簡単に正確な層間位置合わせを実現する。
【解決手段】 第１の導体パターンを含む第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜上に形成され第２の導体パターンを含む第２の絶縁膜とよりなる積層構造上に、第３の導体パターンを形成する工程を含む半導体装置の製造方法において、前記第１の導体パターンと前記第２の導体パターンとの間の第１の位置ずれ量を計測し、前記第２の導体パターンと前記第３の導体パターンとの間の第２の位置ずれ量を計測し、前記第２の絶縁膜上に前記第３の導体パターンを、エッチングにより形成し、前記第３の導体パターンと前記第１の導体パターンとの間の第３の位置ずれ量を、前記パターニングされた第３の導体パターンと前記第１の絶縁膜中に含まれる位置合わせマークを観察することにより計測し、前記第２の位置ずれ量を前記第１および第３の位置ずれ量に基づいて補正した補正位置ずれ量を求める。 （もっと読む）