基板及び被覆膜を有するオブジェクト及びフォトリソグラフィ装置の一部分の互いに対する位置を決める装置は、フォトリソグラフィ・システムと、ポジショナーと、光学システムと、プロセッサと、を備える。フォトリソグラフィ・システムは、オブジェクトの一部分を第１光パターンで照射するように構成され、かつ基準表面を含む。ポジショナーは、フォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えることができる。光投影装置は、第２光パターンをオブジェクトの被覆薄膜に投影するように構成されている。光学システムは、基板によって拡散散乱される第２光パターンの光を撮像する。プロセッサは、オブジェクトの空間特性を拡散散乱光に基づいて求め、かつポジショナーを動作させてフォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えさせるように構成されている。
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本発明の様々な実施形態では、オンチップ測定情報を、順番にではなく、ランダムに出力することができ、三次元画像を必要とするオブジェクト追跡、及び他の情報のためのオンチップ信号処理を、すぐに遂行することができる。システム全体は小さく、強固で、かなり少ないオフチップの別個の構成要素を必要とし、かつ、検出信号特性の改善を示す。オンチップ回路は、そのようなTOFデータを使って、場面内の一つのオブジェクト、又は全てのオブジェクト上の全ての点の距離及び速度を、同時に、容易に測定することができる。同様に、オンチップ回路はまた、検出センサ内の各画素における検出画像の分光組成を特定することができる。有利なことに、その個々の画素が分光組成を特定することができるセンサを使用して、さらに、TOF情報を特定することもできる。
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パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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【課題】好適に円形エッジを有する物体の品質を、物体のエッジの確実で再現可能な検査を非常に高精度で可能なように、光学的に試験するための冒頭に記載したタイプの方法と装置を改良しさらに展開すること。
【解決手段】好適に円形エッジを有する物体の品質を、該円形エッジに光を当てる光学的に試験するための方法において、反射、屈折及び／又は回折により該物体から放射する光が測定ユニット（１）により検出され、該物体の表面及び／又は内部の欠陥が検出画像信号によって判定されることを特徴とする、物体の品質を光学的に試験する光学的試験方法。 （もっと読む）

【課題】 照射角度を、照射されたパターン光の光量の情報から求める光学的形状測定方法において、光量のＳ／Ｎの劣化を防止して、形状測定精度が劣化するという問題を解消した光学的形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 互いに重なりのない複数のスリット状の部分領域に分割された測定領域１５の各々を照明する照明手段４と、各測定領域毎の反射光を検知する検知手段１０と、この検知手段１０で検知した各反射光の光量１３から、前記照明手段４と検知手段１０の視差を利用して前記各測定領域１５−１〜１５−６の形状データを推定する形状推定手段１１と、推定された測定領域の形状データ１６における部分領域の曖昧さを除去して各部分領域の曖昧さのない形状データ１４を求める形状補正手段１２とからなる光学的形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】 一般的なタイプの測定装置を、カラー測定に適するように改良すること。
【解決手段】 二次元の測定対象物をピクセル毎に光電測定するための装置は、測定対象物（Ｍ）を二次元ＣＣＤイメージセンサ２２上に結像するための投影手段３，２１と、イメージング光路に設けられ且つイメージセンサ上に衝突する測定光の波長選択フィルタリングを行なうフィルタ手段６６と、イメージセンサによって形成された電気信号を処理するとともに、その電気信号を対応する生のデジタル測定データ７１に変換する信号処理手段２３と、生の測定データを、測定対象物の各画像要素の色を示す画像データ７２に処理するためのデータ処理手段７とを有している。 （もっと読む）

高周波成分をＳ₁＝ｃｏｓ（ω・ｔ）と理想化できる変調された周期的波形を有する光エネルギーを放射してターゲットを照射することにより、距離及び／または輝度を測る、好ましくはＣＭＯＳで実施可能な方法とシステム。放射された光エネルギーの一部分は、ターゲットにより反射され、複数の半導体光検出器のうち少なくとも一つにより検出される。光検出器の量子効率は、検出した信号を処理してターゲットと光検出器を隔てる距離ｚに比例するデータを作り出すために変調されている。検出は、放射された光エネルギーと反射された光エネルギーの一部分の間の位相変化の測定することを含む。量子効率は固定位相法または可変位相法により変調でき、高められた光電荷収集、差動変調、空間的マルチプレクシング及び時間的マルチプレクシングを用いて高めることができる。光検出器の容量と動作周波数において共振するインダクターを使って、本システムの必要電力条件を削減することもできる。本システムはチップ上の光検出器、関連エレクトロニクス、処理を含む。 （もっと読む）