【課題】単一のマーカーを用いてマーカーの位置だけでなく姿勢を検出すること。
【解決手段】物体の位置姿勢を測定する位置姿勢測定装置であって、カラーコード化された透過パターンが形成されたパターンフィルタと、パターンフィルタの透過パターンを照明する照明光源と、照明された透過パターン像を空間に投射する投射光学系（魚眼レンズ）と、を具備するマーカー装置１００と、投射光学系により投射された透過パターン像を撮像する撮像装置１０，２０と、撮像装置１０，２０により撮像された画像データに基づいてマーカー装置の位置と姿勢を算出する位置姿勢算出装置２００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 回折限界を超える空間分解能で、ラマン散乱などの光学的分光測定を可能にする。
【解決手段】 被測定試料に対して励起光を照射し、試料から再放射される信号光を計測する光学配置において、散乱体を試料に近接させ、励起光を散乱体に照射し、該散乱体で散乱された励起光により励起される信号を計測する。その散乱体は半導体デバイスを試作するとき予め作製プロセスの中で、測定すべき箇所に作り込んでおくこともできる。また、先端部分に２個或いは４個の間隔をけた設けた複数の散乱体を保持する探針を、励起光が照射された試料表面に近接させて信号光を計測してもよい。その散乱体は長径／短径の比が1より大きい楕円体としてもよい。特に、前記散乱体として異方性をもった微粒子を用い、励起光の偏光の向きと微粒子の向きの関係によって光学応答が異なることを利用すると効果的である。 （もっと読む）

本発明は連続的な位置情報は標識検出の失敗又は標識の一時的な遮断に関係なく広い室内区域にわたって少数の標識だけを用いて算出されることが可能な、人工標識基盤位置算出と、オデメトリ基盤位置算出と、の連動を用いて位置情報を算出するシステムや方法を提供する。位置を算出するシステムは、人工標識が設置された特定空間を撮像することによって獲得される映像から移動ロボットに対する２次元映像座標系の位置に対応する前記人工標識の映像座標値を検出する標識検出部と、前記人工標識の位置座標値を前記移動ロボットの実３次元空間座標系の位置に対応する位置座標値に対する前記２次元映像座標系の位置に対応する映像座標値に変換することによって獲得された前記人工標識の予測映像値と、前記人工標識の位置座標値を検出する前記標識検出部によって検出された映像座標値と、を比較する標識識別部と、前記標識検出部から検出された映像座標値と、前記標識識別部から検出された位置座標値と、によって検出された映像座標値に基づく所定の位置算出アルゴリズムを用いて移動ロボットの現在位置座標値を算出する第１位置算出部と、前記移動ロボットのオデメトリ情報に基づく所定の位置算出アルゴリズムを用いて前記移動ロボットの現在位置座標値を算出する第２位置算出部と、前記移動ロボットの現在位置座標値に更新する主制御部と、を備える。
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【課題】動く被測定物、又は被測定物を動かしながら、その被測定物の空間情報及び時間情報をリアルタイムに取得できる電磁波測定装置を小型に実現する技術を提供する。
【解決手段】プローブ光が入力され、前記プローブ光の異なる周波数成分にそれぞれ異なる遅延を与えることによって、チャープ化プローブ光を出力するパルス伸長器４０１と、前記チャープ化プローブ光と被測定電磁波とを重畳するシリコンミラー１１５と、前記重畳されたチャープ化プローブ光と被測定電磁波とを入射され、前記チャープ化プローブ光を前記被測定電磁波の電界に応じて変調する電気光学素子１１６と、前記変調後のチャープ化プローブ光を、前記チャープ化プローブ光のそれぞれ異なる周波数成分に透過性を有するフィルタが設けられた複数の画素で検出するイメージセンサ４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】精度の高い振動検出が可能な振動検出装置を提供する。
【解決手段】本体部１から光伝送路３を介してセンサ部２へ周期的に波長が変化する第１の光信号が伝送され、センサ部２において外部から受けた振動に応じて、第１の光信号が第２の光信号に変換される。そして、変換された第２の光信号は、光伝送路４を介して本体部１へ伝送され、本体部１の光電気変換部３０で第１のパルス信号が生成される。また、本体部１において、分岐部２２により分岐された光信号が光フィルタ２４に与えられ、所定波長の第３の光信号に変換される。光電気変換部２６は、第３の光信号の入力において第２のパルス信号が生成される。パルス検出回路２８は、第２のパルス信号を基準として入力される第１のパルス信号のタイミング差を検出し、出力部３１は、その結果に基づく振動情報を検出信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】欠陥寸法の検出精度を迅速に適正化し検出精度の変動を抑制することによって半導体製造ラインのシステム安定性を向上させることができる光学式欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査用照明光１１，１２をステージ３０１上の試料表面に照射し試料表面にビームスポット３を生成する照明光学系１００と、ビームスポット３からの反射光を検出する検出光学系２００とを有する光学式欠陥検査装置において、校正用試料７００上の標準粒子の位置及び大きさを予め記憶した記憶部４１０と、校正用試料７００を検査対象とした場合に、標準粒子からの検出散乱光量を記憶部４１０に記憶された対応位置の標準粒子の既知の大きさと関連付け、検出散乱光量と真の値との相関関係を作成する校正処理部４０８と、検査ウェハを検査対象とした場合に上記相関関係に基づいて検出散乱光量を欠陥寸法に変換する信号処理部４０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査において、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術を提供することにある。
【解決手段】外観検査において、予備検査を行って、欠陥候補の検出と同時に少なくとも１ダイ分の画像情報（背景情報）を取得し、該取得した画像情報と検出された欠陥候補のダイ内座標位置情報を重ねて表示し、それらの情報（背景の類似と欠陥候補の密集状態）を基に虚報のグループを推定して非検査領域あるいは感度低下領域を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】煩雑な回転機構を使用することなく、被測定材料表面の広い範囲の厚み分布を速やかに測定する。
【解決手段】パルス状の励起レーザ光Ｌｅを全反射ミラー２Ａを介して圧延材Ｍの表面部分Ｍ１に向けて照射して当該表面部分Ｍ１から圧延材Ｍ中へ進行する超音波を生じさせる単一のレーザ光源３と、表面部分Ｍ１からの励起レーザ光Ｌｅの反射光を再び被測定材料Ｍ方向へ反射させて、圧延材Ｍの他の表面部分Ｍ２，Ｍ３へ入射させて当該他の表面部分Ｍ２，Ｍ３から圧延材Ｍ中へ進行する超音波を生じさせる全反射ミラー２Ｂ，２Ｃと、各表面部分Ｍ１〜Ｍ３へ向けて検出レーザ光Ｌｄを照射して当該各表面部分Ｍ１〜Ｍ３からの、検出レーザ光Ｌｄの反射光に含まれる超音波変調部より各表面部分Ｍ１〜Ｍ３での圧延材Ｍの厚みを測定する厚み測定回路５Ａ〜５Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】イメージ処理能力、データ処理効率及び伝送速度を向上させたポイント入力システムのイメージ処理方法の提供。
【解決手段】本発明は、前記ポイント入力システムのイメージ処理能力及びデータ処理とその伝送効率を高めるために、キャッチ装置からカラーチャネルイメージを現わしてイメージ処理を行なうことを含むポイント入力システムのイメージ処理方法である。 （もっと読む）

本出願は画像を記録するための新しい方法を開示する。本出願は、多くの科学分野及び技術分野における顕微鏡検査及び表面分析に関する。特に、本出願は、マイクロエレクトロニクス、すなわち、パターン化されていないウェハ、パターン化されたウェハ、及びフォトマスクで使用される表面の画像化及び検査に関する。本出願は、電気振幅を記録するという意味で、ホログラフィに関する。用途には、顕微鏡検査、欠陥検査、光波散乱計測、及び光学計測が含まれる。
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計測対象物の位置を高水準の精度、即ち従来は高価なレーザ式の装置でしか得られなかった精度で計測でき、その実施形態が多様なカメラ利用標的座標計測システム乃至装置と、計測対象物の位置を計測可能でその実施形態が多様なカメラ利用標的座標計測方法及びその関連方法とを提供する。例えば、本発明の一実施形態に係るカメラ利用座標計測システムは、所定の相対的三次元位置関係にて標的上に形成された３個以上の輝点と、第１軸周り及び第２軸周りで回動する１個又は複数個の回動鏡と、輝点に発し回動鏡で反射された光を受光できるよう配置されたカメラと、回動鏡の第１軸周り回動角及び第２軸周り回動角を計測する２個の角度計測装置と、最大三位置自由度及び三角度自由度に亘り標的を調べるプロセッサと、を備える。本システムでは、レーザ測距器を用いて距離を計測することなく、少なくとも一種類の基準座標系における標的の位置を計測する。
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【課題】波長走査型の光コヒーレントトモグラフィシステムにおいて、測定深度の高い光断層画像表示を実現すること。
【解決手段】波長走査型光源として面発光レーザ光源を用いる。面発光レーザ光源は単一モードで高速で広帯域の周波数走査を実現することができ、多モード型の光源に比べてコヒーレント長が長くなる。そのため干渉光学計から得られる出力をフーリエ変換して断層画面を算出する際に、測定深度を深くすることができる。 （もっと読む）

【課題】 照明系と受光系との各々に反射鏡を配置して高精度な欠陥検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射して表面を照明する照明手段１３と、表面から発生した光のうち、直線偏光の振動面に交差する偏光成分Ｌ４を受光する受光手段１４とを備える。照明手段および受光手段の各々の光路中には反射鏡３５,３６が配置される。そして、反射鏡には、基材側より順にバインダー層と反射層と保護層とが積層され、保護層の厚さは、５ｎｍ〜２０ｎｍであり、反射鏡に対する光の入射角度を１５度以下とする。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成で広いダイナミックレンジを有し、検査面自体の散乱光が多い場合でも、高いＳ／Ｎ比で表面検査が可能な表面検査方法及び表面検査装置を提供する。
【解決手段】
検査面４にレーザ光線７を照射、走査して前記検査面の異物等を検出する表面検査方法に於いて、前記レーザ光線の照射部位を所要数の検出領域に分け、各検出領域間で検出光強度が変化する様に受光器で受光し、検査部位について検出光強度の異なる所要数の出力信号を取得し、所要数の出力信号の内、飽和していない最大値を示す出力信号を表面検査信号として選択する。
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【課題】被計測物の色と３次元形状とを高精度に計測可能な３次元色形状計測装置を提供する。
【解決手段】被計測物を同一の撮像手段により撮像して得られる画像信号に基づいて、被計測物の色と３次元形状とを計測する３次元色形状計測装置であって、第１階調特性に従った第１補正により画像信号を色計測用画像信号に変換すると共に、第２階調特性に従った第２補正により画像信号を形状計測用画像信号に変換する補正手段と、形状計測用画像信号に基づいて、被計測物の３次元形状を復元した３次元モデルと、色計測用画像信号に基づいて復元した被計測物の色とを用いて被計測物の３次元画像を復元する色形状抽出手段とを有することを特徴とする３次元色形状計測装置とした。 （もっと読む）

【課題】 照明系と受光系の各凹面反射鏡の配置に応じたノイズ成分のバラツキを小さく抑えることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射して表面を照明する照明手段１３と、表面から直線偏光の入射面３Ａに沿って発生した光Ｌ２のうち、直線偏光の振動面に交差する偏光成分を受光する受光手段１４とを備え、照明手段および受光手段の各々の光路中には凹面反射鏡３５,３６が配置され、照明手段の光路と受光手段の光路との少なくとも一方には、入射面に交差する光路（例えば光路６Ｂ）が含まれる。 （もっと読む）

【課題】組立て時における作業性を向上させることができる光電センサを提供する。
【解決手段】センサヘッドは、ベース部材１２及びベース部材１２に嵌め合わされるカバー部材とから構成される筐体１１を備え、該筐体１１内には、投光部２１、受光部２２、及び筐体１１内に配置される部品に接続されると共に筐体１１外に引き出されるケーブル４の一端が収容されている。投光部２１は、その位置調整のためにベース部材１２の側方から操作される調整螺子３５を備えている。また、ベース部材１２は、筐体１１内に配置される全ての部品が配置される平板状のベース板１４と、該ベース板１４の周縁部の一部に立設されてケーブル４の一端側を保持するケーブル保持壁１６と、カバー部材をベース部材１２に嵌め合わせる前の状態の時にベース部材１２の側方に調整螺子３５を露出させる露出部１９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】点光源を有する投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に点光源から発散光を投影して拡大された影を受光部で検出して検出体の幅を測定するセンサの基準位置から投光部及び受光部までの間隔を容易に調整することができるようにしたセンサの調整構造を提供する。
【解決手段】点光源から発散光を投光する投光部２２と発散光を受光する受光幅を有する受光部２３とを備え、投光部と受光部の光軸Ｌ上の基準位置Ｓに挿入された検出体３に発散光を投影してその拡大された影を受光部で検出して検出体の幅を測定するセンサの投光部と受光部とを同一の支持部材２１上に固定し、該支持部材のみをハウジング１２の支持部材取付面１２ｃ’上で水平に移動させて基準位置に対して所定の遮光倍率となるような投光部と受光部の位置及び光軸の中心位置を位置決めして固定手段によりハウジングに固定する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及びコストの低減を図りながら、移載対象の物品の把持に適した水平方向での位置に対する対把持手段の移動位置の精度の向上を図る。
【解決手段】平面視での物品１の存在範囲における一部に相当する範囲を検出範囲として物品１の存否を上方側より検出作用する存否検出手段１５が、物品１の端部を検出したときにその物品１に対する把持手段２の水平方向での位置が把持に適する位置関係となる状態で把持手段２に装備され、制御手段が、準備用設定位置に把持手段２を移動させる把持手段２の移動を制御する準備移動処理を行い、次に、存否検出手段１５の検出情報に基づいて移載対象の物品１の平面視における端部を検出するように把持手段２を水平移動させるべく、把持手段２の移動を制御する端部検出移動処理を行い、その後移載対象の物品１を把持する把持処理を行うように構成されている。 （もっと読む）

被写体（２８）の三次元マッピング装置（２０）は、被写体（２８）上に第１次スペックルパターンを投影するよう配されたコヒーレント光源（３２）と拡散板（３３）とを有する照明アセンブリ（３０）を有する。単一の画像獲得アセンブリ（３８）は、照明アセンブリに対して相対的に、単一かつ固定の位置および角度から、被写体上の第１次スペックルパターン画像を獲得するように配されている。プロセッサ（２４）は、被写体の三次元マップを導き出すために、単一かつ固定角度で獲得された第１次スペックルパターンの画像を処理するために接続されている。 （もっと読む）