【課題】従来の３次元形状計測装置は、三角測量を用いるものはオクルージョンが起こり複雑な形状のものの計測が困難であった。一方、デフォーカス量から計測するものは、高い精度を出すことが困難であった。
【解決手段】デフォーカス量から距離を計測する手法を応用することで、投光系と受光系の光軸を同一にし、オクルージョンを抑えるとともに、位相シフト法の投影パターンを用いることで、各画素独立に高精度で投影パターンの場所を特定しデフォーカス量を高精度に計測することで、高精度３次元形状計測を可能とした。 （もっと読む）

本発明は、光学式接触感応装置ならびに光学式接触感応装置に接触する対象物の位置および位置変化を測定する方法に関する。特に、本発明は、光学式タッチパッドならびに光学式タッチパッドに接触する対象物の位置および位置変化を測定する方法に関する。本発明による接触感応装置は、光源と、接触感応導波路と、検出器アレイと、第１の光方向転換部材とを備えていてもよく、検出器アレイの特定の位置に向かって伝搬する光の少なくとも一部が、対象物が対応する特定の接触点で接触感応導波路の接触感応面に接触している場合は、前記検出器アレイの特定の位置に入射するのを妨げられる。
（もっと読む）

【課題】非接触で、加工途中のワークなどを精度高く、かつ、リアルタイムで輪郭形状を数値的に測定可能とする光学的なエッジ検出装置を提供すること
【解決手段】本発明のエッジ検出方法は、光源モジュール１１と、０次光の光量を遮光するアンチピンホールフィルタ２５とを備えた投影光学系を備えるレンズ鏡筒１３と、撮像素子２６と、コンピュータとを用い、光源モジュール１１の平行光を遮るように置かれたワーク１７の投影画像を撮像素子で撮像し、コンピュータは、エッジ近傍の信号強度を判定し、２本の帯状の高輝度の部分に挟まれた低輝度の線状部分をエッジと判定するエッジ判定の手順を実行する。そのため、ワークのエッジを正確に検出でき、これを画像処理により数値処理することでＣＡＤやＮＣ制御と連動させることができる。 （もっと読む）

【課題】対象物における二次元のセンシング領域を高感度でかつ高速にセンシング可能で、低コストの面状センサを提供する。
【解決手段】面状センサ１０は、波長λ１〜λ３の光信号を送出する光源１と、光源１から送出される光信号が伝搬する光路b1〜b5と、光路が交差する交差部a1〜a4と、対象物２に複数の光路b1〜b5が二次元的に配置された光センサ部３と、光センサ部３からの出力光を受けて、波長λ１〜λ３の光信号を波長毎に検出する波長計４とを備える。光センサ部３は、複数の光路b1〜b5の各々に、波長の異なる一つの光信号或いは波長の組合せが異なる２以上の光信号が伝搬するように、交差部a1〜a4に分波器或いは合波器のいずれかを設けてある。 （もっと読む）

【課題】高い光透過率を有するガラス基板のエッジ位置を、比較的簡素で安価な構成によって、精度よく且つ非接触で測定することができる透明基板の位置測定装置、及び、基板を高精度で位置決めすることが可能となる位置測定装置を備える露光装置及び基板製造方法並びにプリアライメント装置を提供する。
【解決手段】測定対象物である基板Ｗの法線Ｎに対して傾斜した方向から測定光を出射する投光部３１と、基板Ｗを挟んで投光部３１と反対側に対向配置された受光部３２とを備え、受光部３２によって受光される基板Ｗを透過した測定光と、基板Ｗのエッジ外を通過した測定光との受光量の差から、基板Ｗのエッジ２０、２１の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】パターンのムラと、欠陥等の検査を１台の検査装置により実現すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置１０は、試料３０上に形成されたパターンを検査する検査装置であって、試料３０に照明光を照射する光源１１と、試料３０のパターンに対する光学的なフーリエ変換面に配置され、試料３０からの回折光又は散乱光を反射するデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）１３と、ＤＭＤ１３と共役な位置に配置され、ＤＭＤ１３で反射された光を受光する光検出器１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線基板に形成された配線パターンの欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】配線基板１に光を照射し、その反射光により配線基板１に形成された配線パターン２を表示する配線パターン表示装置において、波長の異なる複数の光を発生して配線基板１に対して複数の異なる所定の方向から光を照射する複数の照射手段と、照射手段から配線パターン１に照射した光の反射光の波長を分離する波長分離手段と、波長分離手段により分離された波長の光に応じて配線パターン１を表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】鏡面と拡散面とが混在するような被検物においても、精度良く表面形状を測定する。
【解決手段】投光板２は、異なる配光特性の光源１−１乃至１−３の光を、大凸部２ａ，小凸部２ｂで拡散させて被検物４に投光する。角度測定部５ｂは、配光特性毎に、撮像部３により撮像された被検物４に映り込んだ投光部２の大凸部２ａにより反射されてくる光の強度比に基づいて、投光角θＬを算出する。三角法測定部５ｃは、基線長Ｌｂ、撮像角θｃ、および投光角θＬで、三角法により被検物４の表面形状を測定する。光切断法測定部５ｆは、被検物４に投光するスリット光発光部７を制御して、スリット光を発光させ被検物４上の陰影より測定する。選択部５ｅは、被検物４に映り込んだ小凸部２ｂの認識の有無で表面が拡散面または鏡面を判断し、光切断法または三角法を選択して、表面形状を測定させる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

本発明は、物体（１）を支持板（１３）に対して位置決めし、あるいはアライメントさせるための方法および装置、または支持板（１３）とともに位置決めし、あるいはアライメントさせるための方法および装置であって、光が物体（１）へと照射され、特に位置決めすべき物体（１）の少なくとも１つのマーキング（３）の領域に照射され、位置決めすべき物体（１）から反射され、特にマーキング（３）および／または支持板（１３）から反射される光が、記録装置（７）において記録され、場合によっては評価され、記録および場合によっては評価された反射光にもとづいて、物体（１）の位置が割り出され、さらに／あるいは物体（１）の位置またはアライメントが修正される方法および装置に関する。照射に使用された光が、特にマーキング（３）の領域に発光物質（１５）を使用することによって異なる波長の光へと変換され、異なる波長の光が、記録装置（７）において記録され、場合によっては評価される。これにより、位置決めすべき物体（１）について、高度に正確な位置決めおよびアライメントが実現でき、特にさらなる工程において加工不良となる物体を少なくすることができる。
（もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて対象物上の照射領域の大きさおよび形状を高精度に検出する。
【解決手段】膜厚測定装置１０の分光エリプソメータ１では、基板９の測定面９１にて反射された反射光が、受光部４の検光子４２により、所定の偏光方向の直線偏光成分である第１偏光光と、第１偏光光に垂直な偏光方向の直線偏光成分である第２偏光光とに分割される。そして、第１偏光光を利用して反射光の波長毎の偏光状態が測定され、第２偏光光を利用して基板９の測定面９１上の照射領域の大きさおよび形状が検出される。分光エリプソメータ１では、照射領域の大きさおよび形状の検出が、測定面９１からの反射光のうち、偏光状態の測定に利用されない偏光成分である第２偏光光を利用して行われることにより、反射光の偏光状態の測定精度を高く維持しつつ基板９の測定面９１上の照射領域の大きさおよび形状を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定精度をより改善できる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の３次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第１方向にＮ回入射した後、測定対象物に格子イメージを第２方向にＮ’回入射する投影部と（Ｎ及びＮ’は２以上の自然数）、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の３次元状態を算出する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】表面を斜めの検査角度において高い解像度で検査できるようにする方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(19８)が結合される。 （もっと読む）

【課題】光ケーブル用スペーサに付与した着色トレーサの異常を全長にわたって確実に検出する。
【解決手段】着色トレーサ異常検出装置は、撮影カメラ１１、照明１２、背景用反射板１３、演算装置１４、およびモニター１５を備える。演算装置１４は、撮影カメラ１１で撮影した画像から、着色トレーサのヤケカスやブツの異物を検出する。この演算装置１４では、撮影カメラ１１で撮影した画像を取り込み、その画像データに対して光ケーブル用スペーサ１の進行方向に微分処理を行い、さらに所定のしきい値を用いて二値化処理を行って、得られた二値化データに従って着色トレーサの異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】半田ごてなどの半田溶融手段で溶融された半田を正確に検出しながら半田付けする半田付け方法及び半田付け装置を提供する。
【解決手段】半田付けが行われる半田付け領域に半田ごてなどの半田溶融手段を配置し、半田溶融手段に半田を供給して行う半田付け方法及び半田付け装置において、半田溶融手段で溶融された半田をカメラで所定のタイミングで逐次撮影して、半田から反射してきた赤色よりも長波長の光による画像データを生成し、画像データのうち、撮影のタイミングが異なる少なくとも２つの画像データの差分をとって差分画像データを逐次生成し、差分画像データを逐次互いに重ね合わせて合成して合成画像データを生成し、合成画像データの半田付け領域における半田の面積を検出し、半田の面積に基づいて半田溶融手段に供給された半田の供給量を検出することとする。 （もっと読む）

【課題】円柱透明体中のコアの形状を、非破壊かつ非接触で測定するとともに、高い測定精度で測定することが可能な円柱透明体中のコア形状測定装置及びコア形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、コア形状を測定する検出器と光源と光学フィルタと円筒透明体の位置関係を円筒透明体の形状を補正しながら、一定に保つように制御することによって、マッチングオイル等を使用することなく、非接触、非破壊で高い測定精度を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焦点調節機能を有し、しかも検出精度の高い位置検出装置を提供することを目的とする。また、本発明は、高性能なウエハ重ね合わせ装置及び露光装置などを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の位置検出装置は、対物レンズ（６）が捉えた光束を基に物体（M１）の像を撮像面（１０）上に形成する結像レンズ（９）と、指標（１５）からの光束を前記結像レンズ（９）の物体側へ入射させ、その結像レンズ（９）を介して前記指標（１５）の像を前記撮像面（１０）上に投影する投影用レンズ（１６）と、前記対物レンズ（６）、前記結像レンズ（９）を光軸方向に移動させる合焦機構とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪み及び／又は温度をより高精度で測定可能な分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る、ブリルアン散乱現象を利用して歪み及び／又は温度を測定する分布型光ファイバセンサでは、メイン光パルスと、メイン光パルスに先立ち、最大光強度がメイン光パルスの光強度よりも小さく、エネルギーが立ち上がりからメイン光パルスの立ち上がりまで最大光強度で一定の光パルスにおけるエネルギーよりも小さいサブ光パルスとが検出用光ファイバ１５に入射され、連続光が検出用光ファイバ１５に入射され、そして、検出用光ファイバ１５から射出されるこれら光の相互作用によって生じるブリルアン散乱現象に係る光に基づいて検出用光ファイバ１５に生じた歪み及び／又は温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】 測定空間内の周囲温度の変動や構成する各部品に製造時の特性ばらつきがある場合でも、正確に遮蔽物のエッジ部分を検出できるエッジ検出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】 単色光を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からの単色光を単色平行光に変換する投光レンズと、該単色平行光を放射する投光窓とからなる投光部と、前記投光窓に対向して設けられた受光窓と、該受光窓から侵入する前記単色平行光を所定の範囲で拡散する光拡散素子と、該拡散させた単色光を受光する複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したラインセンサとからなる受光部と、前記ラインセンサの受光量分布を解析して前記単色平行光の光路に存在する遮蔽物の前記受光セルの配列方向におけるエッジ位置を検出する検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト法により測定対象物の３次元形状を測定する場合において、測定対象物の反射率が場所によって異なっても精度よく形状測定を行うこと。
【解決手段】 ３次元形状測定装置１は、複数の強度の光を測定対象物ＯＢに照射してそれぞれの強度の光ごとに測定対象物ＯＢ上に縞模様を形成し、形成された縞模様から複数の強度の光で照射した各々の場合ごとに位相値および評価データを算出する。評価データを評価することによって、各々の強度の照射光で照射された場合について算出された位相値の中から、その照射光の照射位置における反射率に最も見合った強度の照射光で照射された場合に算出された位相値を選択する。このように選択した位相値を用いて測定対象物の３次元形状を測定することにより、測定対象物ＯＢの反射率の変化による３次元形状データの測定精度の悪化を防止あるいは抑制することができる。 （もっと読む）