【課題】被写体の３次元位置を高速、かつ、安定的に算出する。
【解決手段】少なくとも２つの異なる視点から被写体１５０を撮像する撮像装置１００、１１０で撮像された被写体１５０の各画像の色情報に基づいて各画像を複数の領域に分割する領域分割手段と、各画像上に設定された走査線と、領域分割手段で分割された各画像の領域の境界線と、の交点の近傍の領域に基づいて、交点の特徴量を算出する交点特徴量算出手段と、交点特徴量算出手段で算出された交点の特徴量に基づいて各画像の間の対応点を求める対応付け手段３０００と、対応付け手段で求められた対応点の視点に対する３次元位置を算出する３次元位置算出手段４０００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】生産現場環境で使用して工具摩耗を監視することができるポータブル摩耗定量化システムを提供する。
【解決手段】ポータブル摩耗定量化システムは、手持ち式のイメージ収集装置１２と固定治具１４とを含む。固定治具１４は、イメージ収集装置１２に結合された第１の端部２６を含む。光源２２が、放射軸線に沿って光線３６を放射する。ビームスプリッタ２４が、イメージ収集装置１２の視界軸３４に対して斜めに配置されて、光源２２からの光線を被検体の一部分に向けて導く。固定治具１４の第２の端部３２が、ビームスプリッタ２４の第１の端部２６とは反対側に設置される。第２の端部３２は、固定治具１４を被検体に対して位置決めするように構成されたプラットフォーム４４を含む。チャネル３０が、イメージ収集装置１２の視界軸３４に沿って第１の端部２６から第２の端部３２まで延在する。 （もっと読む）

【課題】試料中のターゲットの深さ位置を、大容量のメモリを必要とすることなく検出すること。
【解決手段】画像処理装置２０は、ステージ１１をＺ方向へ移動させながら撮像素子３０を露光させることで、蛍光マーカＭを示す第１の輝点を含む試料ＳＰＬの第１の画像を取得し、ステージ１１をＺ方向へ第１の速度で等速移動させるとともにＸ方向へ第２の速度で等速移動させながら撮像素子３０を露光させることで、上記蛍光マーカＭを示す第２の輝点を含む第２の画像を取得し、第１の画像と第２の画像の合成画像内で、第１の輝点と第２の輝点との間の距離Ｄを算出し、当該距離Ｄと、上記第１の速度及び第２の速度とを基に、試料ＳＰＬ中の蛍光マーカＭの高さｈを算出する。 （もっと読む）

【課題】車両等にターゲットなどを設けることなく、低価でかつ簡易な処理プログラムによって非接触で車両等の寸法を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】車両の左右側面及び上面を含む外周面全体に渡って複数のレーザ光を間断のない線状となるように照射することによって、この照射箇所を線状光として認識することができるようになる。この線状光を光切断線としてカメラ装置などで検出することによって車両の外形寸法を測定するようにした。また、測定された車両の外形寸法が車両限界内にあるのか否かの判定を行なう。さらに、車両限界の超過箇所を視認可能に表示する。 （もっと読む）

【課題】従来の光アナログ法は、画像情報の並列実時間処理には適するが光学装置の小型化が困難で装置構成に利便性を欠いていた。そのために複数画像の識別に、小型で並列画像処理を可能とする光アナログ画像処理法と装置を提供する。
【解決手段】識別物体導入手段または識別物体形状写出手段を、フーリエ変換レンズの前側で前焦点面に限定することなく設置し、多重マッチトフィルタ作成光学系の光路を短縮し、鮮明な光回折パターン取得光学系で多重マッチトフィルタの作成を容易にした。複数形状の同時並列実時間識別の小型簡便な方法と装置を提供した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データの所定領域内における色に基づき前記ガラス基板の素材を判別する判別手段と、前記ガラス基板の板厚を算出する板厚算出手段と、前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出された光を２つの光束に分割し該２つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動を観測することによって被検物の変位を計測する干渉計測装置は、複数の部分領域を有する受光領域を備え、前記複数の部分領域のそれぞれで前記干渉光を受光する受光部と、前記複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて、前記受光領域における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数種類の画像において被写体の対応位置を容易に認識し得る光学素子及び撮像装置を提供できるようにすることを目的とする。
【解決手段】外郭15内に中心部Oを中心に当該中心部Oを含んだ内側領域ER１に可視光・近赤外光透過レンズ12を設け、中心部Oを中心にして内側領域ER1を囲むように形成された外側領域ER2に遠赤外光透過レンズ13を設けることで、可視光・近赤外光透過レンズ12の光軸と、遠赤外光透過レンズ13の光軸とを一致させることができるので、これら可視光・近赤外光透過レンズ12と遠赤外光透過レンズ13を透過した可視光Laと遠赤外光Lbから被写体画像の対応位置が一致した色画像及び温度画像を生成でき、各色画像及び温度画像において被写体の対応位置を容易に認識し得る。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ高感度の形状測定を実現できるフリンジ投影法による形状測定方法及び装置、並びに歪み測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】光源部１１からの光２２を格子板１２に照射し、格子板１２を透過した光２３を被測定物１４上に格子像として投影し、その格子像を撮影して格子像の歪みから被測定物１４の３次元形状を計算して数値化する。三次元形状の数値化は、格子像の画像データ取り込みステップ、取り込んだ画像データの二次元フーリエ変換ステップ、ｎ次のピーク信号取り出しステップ、位相分布を含む信号の逆フーリエ変換ステップ、及び三次元形状数値化ステップをその順で含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】フォトスペーサの形状に左右されることなくその高さを正確に測定できるようにする。
【解決手段】焦点位置を示すピーク値を検出できない輝度信号、すなわち輝度信号の最大値が所定の閾値以下のものについては、高さ測定処理を行なわずに、その箇所のデータを排除することにした。これによって、円柱状のスペーサのエッジ部分における異常な高さを示す信号を除去し、エッジ部分以外の高さを測定することによって、円柱状のスペーサの高さを正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）

【課題】計測対象に対する撮像装置の相対的な位置や姿勢を一定に保つことが容易な、あるいは、計測対象に対する相対的な位置や姿勢を容易に調整できる変位／ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置２と画像解析装置から構成されて、撮像装置２で計測対象物を撮像した画像を画像解析装置で解析して、当該計測対象物の変位又はひずみを算出する変位／ひずみ計測装置において、撮像装置２に、１個の固定当接部材１３と、２個のマイクロメータ１４を取り付けて、固定当接部材１３とマイクロメータ１４のスピンドル１４ｂの先端を計測対象物に当接させる。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】インコヒーレント光源から放射された光束の平行度を少ない測定回数で測定できる光束平行度測定装置を提供すること。
【解決手段】光束９に含まれる光線成分のそれぞれを光軸Ｋに対する入射角度θに応じた距離Ｌだけ前記光軸Ｋから離れた位置に結像するレンズ部２０と、前記光束９の結像位置Ｐを検出する二次元検出器２２と、を有し、前記光軸Ｋから前記結像位置Ｐまでの距離Ｌを前記入射角度θに変換し、前記光束９に含まれる光線成分の入射角度分布を出力する解析装置１２を備える光束平行度測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】
車体歪みによる基準レーザ光の上下変動の範囲を抑えることで車両の床下と車体フレームとの間に車体歪み測定装置を設置することが可能でかつ検測車の床上には多くの機器、測定装置を搭載するスペースを確保することができる検測車の車体歪み測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レーザ投光器と第１の受光器との間にレーザビームを受けてその光軸の角度を調整する角度調節器を設けることで歪みによるレーザビームの光軸の変動、特に、上側への変動を角度調節器で調節できるようにして検測車の床下に設ける第１，第２の受光器の高さを低く抑え、この角度調節器とレーザ投光器と第１および第２の受光器とを検測車の車体フレーム上でかつ検測車の床下に配置することができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】露光工程のスループットを高め、基板の複数のパターン形成領域に互いに異なるパターンを露光できるようにする。
【解決手段】シート基板Ｐの露光装置であって、シート基板Ｐを走査方向Ｄ１に移動する基板駆動装置１０と、マスクＭ１〜Ｍ３を保持して上面ＭＢａに沿って移動するマスクステージＭＳ１〜ＭＳ３と、駆動対象のマスクステージＭＳ２の走査方向Ｄ２の位置情報を計測する干渉計３３ＸＡ，３３ＸＢと、この計測結果に基づいて、マスクステージＭＳ２を走査方向Ｄ２に移動する駆動装置と、マスクステージＭＳ１〜ＭＳ３の走査方向Ｄ２の位置を相互に入れ替えるステージ入れ替え装置２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。
【解決手段】
欠陥検査装置を、本来同一の形状となるべきパターンが繰り返して形成された試料上の異なる領域に異なる光学条件で同時に照明光を照射する照射手段と、照明光を照射した領域からの反射光を異なる領域ごとに検出する検出手段と、検出した反射光の検出信号を処理して異なる領域ごとに異なる光学条件の元での欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、異なる光学条件の元で抽出した欠陥候補を統合して欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、抽出した欠陥の特徴量を求めて該求めた特徴量に基づいて前記欠陥を分類する欠陥分類手段とを備えて構成した。 （もっと読む）