【課題】複数の要素によって構成される座標入力装置において、各要素をより正確な位置関係で配置することを容易とする。
【解決手段】入射光を、入射光の入射方向へと反射する再帰反射部材が配置されたフレームと、再帰反射部材へと光を投光する投光手段、及び投光手段によって投光され再帰反射部材によって反射された光を受光する受光手段を備えるセンサユニットと、を備え、フレームとセンサユニットとが座標入力領域の周囲に所定の位置関係となるように配置された際に、座標入力領域に対する入力位置を検出する座標入力装置。フレームは、フレームとセンサユニットとが所定の位置関係となるように配置された際に、センサユニットの投光手段から投光された光を、センサユニットの受光手段へと反射するように配置された鏡面部材を備える。 （もっと読む）

【課題】段差部毎に撮像部を設置しなくても、各段差部の三次元形状を精度良く計測する。
【解決手段】受光素子２１Ｐは、サンプルＳＰからの反射光を受光する。レンズ２２Ｌは、中心線側の段差部ＷＡ１からの反射光（光軸がＲ１）を結像して受光素子２１Ｐに導く。また、レンズ２２Ｌは、段差部ＷＡ１よりも外側の段差部ＷＡ２からの反射光（光軸がＲ２）を、ミラー２３１，２３２を介して結像して受光素子２１Ｐに導く。撮像部２１の光軸ＬＡは、段差部ＷＡ１からの反射光の光軸Ｒ１の受光素子２１Ｐまでの光学距離と、段差部ＷＡ２からの反射光の光軸Ｒ２の受光素子２１Ｐまでの光学距離とが等しくなるように、サンプルＳＰに対する仰角及び方位角が設定されている。 （もっと読む）

【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ７が、測定対象１２に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部１からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象１２の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部１及び光位置センサ７間の距離を距離センサ６が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ６が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部１１に表示する構成である。 （もっと読む）

【課題】 赤外光の周波数帯域の画像を撮像することで、対象物の像を適切に撮像し、対
象物の位置検出精度を向上させる位置検出システム、表示システム及び情報処理システム
等を提供すること。
【解決手段】 位置検出システム４００は、撮像画像を撮像する撮像部５００と、撮像部
５００からの撮像画像に基づいて、対象面に設定された検出エリアでの対象物の座標情報
を求める座標演算部４３０と、を含み、検出エリアには、赤外光の周波数帯域の照射光が
出射され、撮像部５００は、撮像画像として赤外光の周波数帯域の画像である赤外光帯域
画像を撮像し、座標演算部４３０は、赤外光帯域画像に基づいて、対象物の座標情報を求
める。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】ライン状（線状）の撮像領域を用いて移動する計測対象物の撮像を行う際にも、高輝度な照明光を用いることなく明るい画像を取得することが可能な三次元形状計測装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機１００は、各々がＸ１方向に並べられるとともにＸ１方向と直交するＹ２方向にライン状に延びるライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを含み、部品１２０を撮像する二次元イメージセンサ６３と、二次元イメージセンサ６３に対してＸ１方向に相対的に移動する部品１２０に向けて正弦波状の光強度分布を有するパターン光Ｇを投影する照明部６１と、二次元イメージセンサ６３が、ライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを用いて部品１２０の領域Ｐ１を順次撮像する場合に、領域Ｐ１の画像信号を、投影されたパターン光Ｇが有する周期Ｌの２分の１の積分範囲ｄで積算する制御を行う撮像制御部７３とを備える。 （もっと読む）

【課題】演算負荷の増大を防止しつつ検知精度を向上させる。
【解決手段】乗員頭部検知装置１０は、単眼距離画像センサ１１から出力される距離画像を構成する複数の画素毎に３次元空間での法線ベクトルの逆方向に固定長の逆ベクトルを算出し、該逆ベクトルにより指定される３次元空間での位置座標を内部座標とする内部座標設定部５２と、３次元空間を構成する複数の単位空間毎に該単位空間内に含まれる内部座標の総数に係るスコア値を算出し、複数の画素毎に対応する内部座標が含まれる単位空間のスコア値を複数の画素毎に対応させて示すスコア画像を生成するスコア画像生成部５３とを備え、スコア画像を構成する複数の画像領域のうちからスコア値に基づいて車室内の乗員の頭部領域を抽出する。 （もっと読む）

【課題】乗員とチャイルドシートとの存在を精度良く判定する。
【解決手段】乗員検知装置１０は、単眼距離画像センサ１１から出力される距離画像に基づき、乗員の頭部領域を検知する頭部領域検知部５２およびシートの領域を検知するシート領域検知部５３と、シートの領域を距離画像から除去して得られるシート領域除去画像に基づき、頭部領域を有する乗員領域の体積を推定し、該体積が所定体積範囲内であるか否かを判定する体積判定部５４と、乗員領域の体積が所定体積範囲内であると判定された場合に、頭部領域の断面画像と乗員領域の断面画像とを比較し、乗員の肩部の有無を判定し、乗員の肩部が存在すると判定された場合には乗員領域には大人が存在すると判定し、乗員の肩部が存在しないと判定された場合には乗員領域にはチャイルドシートおよび該チャイルドシートに着座した子供が存在すると判定する乗員判定部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】硬貨の表面の凹凸を高精度に評価すること。
【解決手段】硬貨１００を一枚ずつ搬送し、第1の色成分を透過する第１の領域と第２の色成分を透過する第２の領域とを交互に配置したスリットパターン１１３を透過したスリットパターン光を照射する。スリットパターン光が照射された硬貨の画像をカメラ１１５が撮像し、色分離部２１１が撮像結果を第１の色成分と第２の色成分に分離する。高さ計算部２１３は、第１の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化と、第２の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化からそれぞれ高さ評価データを作成し、硬貨の三次元測定データを得る。判定部２０６は、三次元測定データに基づいて硬貨の真偽、種別（金種）、正損を判定する。 （もっと読む）

【課題】搬送中の硬貨の表面の凹凸を高精度に評価可能な三次元測定データを得ること。
【解決手段】硬貨１００を一枚ずつ搬送し、第1の色成分を透過する第１の領域と第２の色成分を透過する第２の領域とを交互に配置したスリットパターン１１３を透過したスリットパターン光を照射する。スリットパターン光が照射された硬貨の画像をカメラ１１５が撮像し、色分離部２１１が撮像結果を第１の色成分と第２の色成分に分離する。高さ計算部２１３は、第１の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化と、第２の色成分の画像データにおけるスリットパターン形状の変化からそれぞれ高さ評価データを作成し、硬貨の三次元測定データを得る。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】表面疵検査の広範囲化、高速化に対応して安定した光切断凹凸疵検出ができる、スリット光輝度分布設計方法および光切断凹凸疵検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定対象にスリット光を照射し、その反射光をスリット光源とは異なる角度から撮像し、撮像画像に基いて凹凸疵を検出する光切断凹凸疵検出方法における、スリット光輝度分布設計方法であって、輝度分布が既知であるスリット光源Ａを用いた測定対象の撮像装置方向への平均反射率を測定する平均反射率測定工程と、測定された平均反射率に基いて、前記反射光が一様な輝度として撮像されるためのスリット光源の最適輝度分布を算出するスリット光輝度分布算出工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に形成されたチップ内の直接周辺回路部の近辺に存在する致命欠陥を高感度に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置において、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから領域毎に複数の異なる欠陥判定を行い，結果を統合して欠陥候補を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】セル内に直径数μｍ〜数十μｍの粒子群を数層〜数１０層に積み上げて充填した場合でも、精度良く粒子充填量の測定を行うことができる情報表示用パネルにおける粒子充填量の測定方法を提供する。
【解決手段】情報表示用パネルにおける粒子充填量の測定方法において、一方の基板１上に隔壁４で仕切って形成したセル７内に配置した粒子群３Ｂの粒子充填量を測定するにあたり、セル内に充填した粒子群に対し、上部から波長５６１ｎｍ以下のレーザー光を照射し、セル内に充填した粒子群の高さ方向の変位量を測定し、測定した変位量に基づき、セル内に充填した粒子群の充填量を求める。 （もっと読む）

【課題】大きな表面積または変化する表面積を覆うコーティングの絶対的な厚さを定量的に測定可能な技術を提供する。
【解決手段】コーティング表面において熱パルスを発生させることができるフラッシュランプ光源１１と、コーティング表面の連続画像フレームをキャプチャすることができる画像キャプチャ１３および処理装置１６とを部分的に使用する、基材表面上のコーティング４の不定の厚さを求めるための装置を提供し、各連続画像フレームは経過時間に対応し、ピクセルアレイを含み、そのアレイの各ピクセルはコーティング表面上の位置に対応する。コーティング４の厚さを計算する方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】光センサーの光学系において光源光の使用波長が変動しても、１／４波長板が確実に直線偏光を円偏光に変換して、良好なセンサー感度を確保維持する。
【解決手段】振動検出用光センサー１は光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５及び１個の受光素子６を備える。波長板ユニットは、構造性複屈折を利用した１／４波長板７と、反射面を有する振動板８との一体構造である。受光素子はその光軸ｘ2を反射光の光軸ｘ1と平行かつ僅かにずらして配置され、入射するビームスポット形状がその中心ｃを受光面６ａの中心Ｏから僅かにずらした位置に投影されるので、検出される光量が振動板の変位に対応して増減する。 （もっと読む）

【課題】複数レイヤ試料の２つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定する方法を提供する。
【解決手段】試料の第１レイヤから形成される第１構造および第２レイヤから形成される第２構造をそれぞれ有する複数の周期的ターゲットについて、光学システムを用い、周期的ターゲットのそれぞれについて光学信号が計測される。第１および第２構造の間には既定義されたオフセットが存在する。散乱計測オーバレイ技術を用いて既定義されたオフセットに基づいて周期的ターゲットからの前記計測された光学信号を分析することによって第１および第２構造間のオーバレイ誤差が決定される。本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および／または走査角システムのうちの任意の１つ以上を備える。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド先端部に接触センサを搭載し欠陥との接触によりこれを検出する方法によっては、欠陥検出時に欠陥を引きずりウエハ表面に傷をつける可能性がある。
【解決手段】
試料の表面に照明光を照射するプリスキャン照射工程と、散乱光を検出するプリスキャン検出工程と、該散乱光に基づき該試料の表面に存在する所定の欠陥の情報を得るプリスキャン欠陥情報収集工程と、を備えるプリスキャン欠陥検査工程と、該試料の表面と近接場ヘッドとの距離を調整して該試料の表面を照射する近接場照射工程と、近接場光応答を検出する近接場検出工程と、該近接場光に基づき所定の欠陥の情報を得る近接場欠陥情報収集工程と、を備える近接場欠陥検査工程と、該所定の欠陥の情報をマージして該試料の表面に存在する欠陥を検査するマージ工程と、を有する試料の表面の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）