【課題】回折を用いる場合に所望の次数の回折光の全ての波長を検出に利用できるようにする。
【解決手段】反射光のうちワーク１表面付近で焦点を結んだ光以外の光の通過を規制する光ファイバ１２１と、光ファイバ１２１を通過した反射光を同一平面内に広がる回折光に分岐させる回折光学素子１２２と、回折光に含まれる１次回折光と高次回折光とのうちで１次回折光のみを検出する１次回折光検出手段１３０とを有する高さ検出手段１２０を備え、１次回折光検出手段１３０は、回折光を集光する回折光集光レンズ１３１と、集光される回折光を、同一平面外の方向へ波長毎に異なった角度で屈折させる波長分散フィルタ１３２と、１次回折光が集光される箇所にのみ検出部を有し、１次回折光のみの波長毎の光強度を検出する波長検出センサ１３３と、色収差レンズ１０２によって集光される白色光の各波長の焦点距離を記憶した制御マップを格納するメモリ１３４とを含む。 （もっと読む）

【課題】近距離から遠距離までのワイドレンジの被写体までの距離を精度良く測定すると共に近距離においても広角レンズで広い視野を確保する。
【解決手段】第１の撮像部２の第１の撮像レンズ２１と第２の撮像レンズ２２を近接して光軸が平行になるように配置し、第２の撮像部３の第３の撮像レンズ３１と第４の撮像レンズ３２を近接して光軸が平行になるように配置し、第１の撮像部２と第２の撮像部３を所定距離だけ隔てて配置し、４個の撮像レンズ２１，２２，３１，３２から画像を取り込むから、通常のステレオカメラのように２台のカメラを使う場合に比べてワイドレンジ又は広い視野を確保する。 （もっと読む）

【課題】 光源から放射される光ビームを、板ガラスのような透明材料を透過させてスクリーンに投影し、透明材料内の欠陥を検出する検査装置において、光学倍率、光源からスクリーンまでの距離、または光源の光度を変えることなしに、種々のサイズの透明材料の検査を可能にする。
【解決手段】 スクリーン２６上に投影される光ビームを遮る光学素子２４を光源２２とスクリーン２６との間に配置して、光ビームの少なくとも一部分の光度を変えて、ほぼ一様な照度分布をスクリーン２６上に生成させ、透明材料３０内の欠陥を検出する。 （もっと読む）

タイヤを、測定ステーション上を回転通過させるか或いは測定ステーション上に置く；該タイヤのトレッドを、少なくとも１つの測定ライン上で、タイヤ回転方向に対して横断する方向で光学的に感知する；この際に、光源から広がる扇状光線が前記タイヤ表面で反射され、反射した扇状光線の信号がセンサにより記録される、そして、前記反射した扇状光線の前記信号を三角測量法により評価する、タイヤが車両に装着された状態で車両タイヤのトレッド深さを決定する方法において、前記信号が前記タイヤ表面に対して非直交的に記録される方法。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第１多波長光源２００ａと、第１多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第２多波長光源２００ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ６と、第２多波長光源２００ｂからの光束を反射する参照面７と、第１多波長光源２００ａからの光束を反射する被検面８と、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の干渉信号を分光する分波器９ａ、９ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置１０ａ、１０ｂと、検出装置１０ａ、１０ｂからの信号を処理して参照面７と被検面８との間の光路長差を算出する解析装置１１とを有する。 （もっと読む）

レーザスキャナ１０を用いて環境を光学的に走査および測定する方法であって、レーザスキャナ１０が、中心Ｃ₁₀を有し、走査を行うために、光ビーム１８、２０を用いてその環境を光学的に走査および測定し、制御および評価ユニットを用いてその環境を評価し、中心Ｃ₃₃を有するカラーカメラ３３が、走査ｓとリンクさせなければならない環境の着色画像ｉ₀を取り込み、カラーカメラ３３が接続されたレーザスキャナ１０の制御および評価ユニット２２が、共通の基準表面上への着色画像ｉ₀の投影ｉ₁および走査ｓの投影が最善の可能な形で互いと適合するまで、各着色画像ｉ₀に対して繰り返しカラーカメラ３３を仮想的に動かすことによって、そしてカラーカメラ３３のこの新しい仮想位置および／または向きに対して着色画像ｉ₀の少なくとも一部を変形することによって、走査ｓと着色画像ｉ₀をリンクさせ、中心Ｃ₁₀に対するカラーカメラ３３の中心Ｃ₃₃および／もしくは向き、ならびに／またはレーザスキャナ１０の向きの偏差を補正する方法が提供される。
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【課題】深い測定の深度と高い測定の分解能の双方を両立することができる形状測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を平行光にし、その平行光を２つに分岐し、分岐した光の１つを円錐レンズにより距離に亘って光軸上のエネルギー密度が極大になる光（ビーム）に変え被測定物の表面に照射し、分岐した光のもう１つは参照ミラーに照射し、被測定物の表面に照射した光（ビーム）の後方散乱光と、参照ミラーからの反射光の干渉光を検出することで被測定物の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バンドパスされて一定の波長帯域内に入射される光の場合、波長帯域内で積分する方式を利用し、薄膜層により反射される光の反射度分布曲線をモデリングすることで、実際の測定により得られる反射度分布曲線に実質的に近接する反射度分布曲線を数学的にモデリングすることのできる反射度分布曲線のモデリング方法及びこれを利用する厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射計を提供する。
【解決手段】本発明は、反射度分布曲線のモデリング方法およびこれを利用する厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射系に関するものであって、本発明による反射度分布曲線のモデリング方法は、一定の厚さの薄膜層に対して光の波長の変化に伴う薄膜層の反射度分布をモデリングする反射度分布曲線のモデリング方法であって、光の波長の変化に伴う上記薄膜層の反射度分布を示す反射度分布曲線を用意する反射度分布曲線用意ステップと、白色光を特定波長に対してバンドパスし、上記の特定の波長を中心に一定の波長帯域で光の強度分布を示す強度分布曲線を用意し、上記の強度分布曲線を上記の波長帯域内で積分して上記特定波長の入力強度として設定する入力強度設定ステップと、上記反射度分布曲線と上記強度分布曲線を結合した複合強度分布曲線を上記波長帯域内で積分して上記特定波長の出力強度として設定する出力強度設定ステップと、上記特定波長の出力強度を上記特定波長の入力強度で割った値を、上記特定波長に対する上記薄膜層の積分反射度として設定する積分反射度設定ステップと、上記特定波長を変化させながら、上記入力強度の設定ステップ、上記出力強度の設定ステップ、および上記積分反射度の設定ステップを繰り返して、波長の変化に伴う上記積分反射度分布を示す積分反射度分布曲線を生成する積分反射度分布曲線の生成ステップと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】統計的干渉計測法の円滑な実施を可能にする微小変位計測装置を提供する。
【解決手段】分岐したレーザ光を被測定物体１０の２点に照射し、その散乱光より得られるスペックル干渉画像から被測定物体の変位を求める計測装置であり、光線の位相を位相可変手段１７で違えて作成した第１、第２の基準スペックル干渉画像（基準画像）と測定対象のスペックル干渉画像（計測画像）との間の位相差を統計的干渉計測法で求める対基準画像位相差算出部３２と、各計測画像の位相差から計測画像間の変位を表す位相差を求める変位位相差算出部３３と、基準画像を更新する基準画像更新部３４とを有する。基準画像の更新により、統計的干渉計測法を用いて微小変位を計測する際の測定レンジを拡大することができる。 （もっと読む）

半導体ウエハの端部を検査する装置に関し、照明用経路（１０）と解析用経路（２０）を有する共焦点色顕微鏡（７）を有し、照明用経路（１０）は多色光源（１１）とスロット（１２）と少なくともアッベ数５０未満の材料からなるレンズからなる軸上色収差対物レンズ（１５）とを有し、解析用経路（２０）は対物レンズと、色フィルタスロット（２２）と光強度センサ（２４）をこの順番に有し、照明用経路のスロットおよび解析用経路のスロットは検査されるウエハの端部からの光学距離がほぼ同じ場所に設けられている。 （もっと読む）

【課題】欠陥散乱光の偏光特性に依存されずに欠陥像を顕在化する空間フィルタリング技術と正常パターンの明るさ飽和を抑制して欠陥捕捉率を向上する欠陥検査方法とその欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは／及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。 （もっと読む）

【課題】短い測定時間で達成できる立体物の形状検出方法（立体物形状測定方法）およびその装置を提供する。
【解決手段】測定物で散乱および／または反射および／または放射する光の伝達時間は、光強度変調としてコード化され、光強度または光強度分布が測定される。測定物の立体形状は、光強度分布測定値に基づき決定される。 （もっと読む）

【課題】下方から照射された光により透明基板上に塗布した点塗布マークを読み取る際に、該点塗布マークの厚みに起因した輪郭のぼやけの無い 鮮明な画像を認識することができる高精度な位置検出装置の提供を提供する。
【解決手段】ガラスプレート３０（光透過プレート）の下方に該ガラスプレート３０上の塗布マークＭに下側から光を照射するＬＥＤ照明３２（照明）を設け、さらに該ガラスプレート３０の下面に、認識用カメラ２０の光学的軸線と平行となるようにＬＥＤ照明３２から発せられた光の光軸を調整する液晶プレート３１を積層する。 （もっと読む）

【課題】 対象物への反射部材の装着や取付けを行うことなく、撮影により、対象物を検出できる物体検出装置を提供することである。
【解決手段】 スクリーン１５に取付けられ、受けた光を再帰反射する再帰反射シート１７−１〜１７−３，１９−１，１９−２と、これら再帰反射シートを撮像する撮像ユニット７と、撮像により得られた差分画像を解析するＭＣＵ３３と、を備える。ＭＣＵ３３は、差分画像から、プレイヤ２５の足により再帰反射シートが遮蔽された部分に対応する遮蔽領域を検出する。遮蔽領域の検出は、プレイヤ２５の足を検出することに相当する。足が再帰反射シート上に位置する場合、その部分は差分画像に現れず、遮蔽領域となって現れるからである。足への再帰反射シートの装着や取付けを行うことなく、撮影により、足を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】物体が拡散媒質内に配置されているときに物体の位置および／または形状を遠隔測定する比較的簡単なセンサを提供する。
【解決手段】センサと物体との間の距離に対して短いコヒーレンス長を有する光源１１０と、送られたビームを入射ビーム１２６と基準ビーム１２３とに分割するビームスプリッタ１１２と、基準ビーム１２３と、入射ビーム１２６により照射された物体１２０から反射されたビーム１２７との干渉受光時にホログラムを生成し、基準ビーム１２３の作用による異方性回折によりクリスタルガラスから送り返される回折ビーム１２４でホログラムを再生する光屈折クリスタルガラス１１４と、回折ビーム１２４の受光時に情報を生成する検出装置１１６とを含み、それによって、検出装置１１６は、クリスタルガラスから回折ビーム１２４だけを受け取る。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単で、しかもＡＥ、超音波応答や振動に対する応答信号の信号ノイズ比を改善可能な振動又は弾性波検出装置を実現する。
【解決手段】受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の反射波長域を含む広帯域光を、受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２に入射し、受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の透過光または反射光の強度変化から受信部ＦＢＧ１が受ける振動又は弾性波を計測する振動又は弾性波検出装置において、受信部ＦＢＧ１がひずみまたは温度変化を受けても受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の反射光分布が常に交差するように受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２を被検体７に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】２つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１００は、第１ＰＬＣ１１０と第２ＰＬＣ１２０の２つのＰＬＣを接続して構成されている。そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。ＭＺＩ回路１０１は、一部が第２ＰＬＣ１２０に形成され、他の部分が第１ＰＬＣ１１０に形成されている。ＭＺＩ回路１０１を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Ｄを高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】偏光イメージングの精度を向上させる算出装置、撮像装置、算出方法、方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】偏光状態が異なる光をそれぞれ透過する複数の偏光フィルタをそれぞれ含む複数の偏光フィルタユニットを有する偏光パタニング素子と、前記偏光パタニング素子の前記複数の偏光フィルタを透過した光をそれぞれ受光する複数の画素を有する撮像素子とが重ね合わされた受光部に、所定の偏光状態の光を照射する照射工程と、前記所定の偏光状態の光が照射された場合の前記撮像素子の画素の画素値から、前記偏光パタニング素子と前記撮像素子との重ね合わせのズレ量を示すズレ量情報を算出するズレ量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）