【課題】被写体にパターン光を照射することにより取得した画像を用いて、被写体の３次元形状を正確に計測する。
【解決手段】第１のカメラ２により被写体のプレ画像を取得し、演算部５がプレ画像上に複数の領域からなる照射範囲を設定する。さらに、照射範囲内の領域毎にパターン光照射の有無を判定する。次いで、第１および第２のカメラ２，３によりパターン光を照射しない撮影およびパターン光を照射する撮影を行い、非照射基準画像Ｇ１および照射基準画像Ｇ１′、並びに非照射参照画像Ｇ２および照射参照画像Ｇ２′を取得する。これらの画像の画像データから画像ファイルを生成し、画像ファイルのヘッダに照射範囲内の各領域におけるパターン光照射の有無の情報を記述する。 （もっと読む）

【課題】 ３次元形状の測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の３次元形状の測定方法は、データベースからフィーチャー情報を読み出し、ボードを測定位置に移動し、測定ヘッドをボードの検査領域に移動し、３次元測定のための第１光と２次元測定のための第２光とを検査領域に照射して、反射された第１反射イメージと第２反射イメージとを撮影し、フィーチャー情報と、第１反射イメージおよび第２反射イメージのうち少なくとも一つ以上とを比較して検査領域の歪曲を検査し、検査領域を再設定し、再設定された検査領域を検査することを含むことを特徴とする。本発明の測定方法によれば、３次元形状を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】移動ウェブに関する速度、変位、歪みを効率的に測定する。
【解決手段】移動するウェブ部材14の近くに第１、第2の光センサ配列16、18を設置する。第１、第2の光センサ配列１６，１８はウェブ部材14の走行方向に沿って所定距離ｄだけ離れている。第１、第２の光センサ配列16、18の双方に結合されている処理装置40は、第1、第2、第3のコード区画それぞれにより制御され、それぞれ、第１の光センサ配列16でウェブ部材１４上のパターンを検出させ、第２の光センサ配列18でウェブ部材１４上で前記検出されたパターンを認識させ、そして、ウェブ部材１４の速度、距離ｄ、および第１のコード区画に応答するパターンの検出と第２のコード区画に応答するパターンの認識との間の経過時間に基づきウェブ部材１４の歪みを計算する。 （もっと読む）

【課題】被写体にパターン光を照射することにより取得した画像を用いて、被写体の３次元形状を正確に計測する。
【解決手段】プロジェクタ４から所定方向に偏光されたパターン光を出射して被写体に照射する。被写体におけるパターン光の反射光は、フィルタ部１４，１５により所定方向に直交する方向に偏光されて、第１および第２のカメラ２，３に入射する。これにより、第１および第２のカメラ２，３が基準画像および参照画像を取得し、演算部５が画素の対応付けを行うことにより、被写体の３次元形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】測定の信頼性を向上することができる膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る膜厚測定方法は、被測定基板に光を照射し、被測定基板からの反射光を分光し、分光された光を検出して、検出した光の強度に応じた信号を出力し、出力される前記信号と理論波形との誤差に基づいて、薄膜の膜厚を算出し、測定点をグルーピングし、同一グループとしてグルーピングされた複数の測定点の測定データ内で、薄膜の膜厚及び誤差の少なくとも一方に応じて、その一部を測定エラーとして判定し、測定エラーとして判定された測定データを、統計処理を行うための統計データから除き統計処理を行う。 （もっと読む）

【課題】信号光成分が小さい一方でノイズ光成分が大きいという状態においても光学式計測装置による計測を実現可能とする技術を提供する。
【解決手段】光学式計測装置は、計測対象物体５の表面の計測対象部分に直線偏光（レーザビーム５３）を照射するレーザダイオード２０２ａと、直線偏光によって照射された計測対象部分の撮影画像が計測対象物体５の表面高さに応じて変化する方向から、計測対象部分を撮影して撮影画像を取得する２次元ＣＣＤ２０３ａと、２次元ＣＣＤ２０３ａの前段に設けられて、入射する光のうち直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光フィルタ２０３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明ないしは半透明の基材に塗液を薄く塗工するような場合にも適用可能であり、なおかつ塗工量や塗工むらの監視も可能な、インライン塗工検査方法ならびに塗工検査装置を提供するものである
【解決手段】透光性を有する基材の片方の面に塗工された塗膜の検査方法であって、前記基材と塗液供給手段との間に形成された塗液溜まりであるビードを、塗液塗工面とは反対の面の側から監視することを特徴とする塗工検査方法。 （もっと読む）

【課題】安価かつ容易に導入可能であり、装置スペースも小さく、初心者でも簡単にグラフェン原子薄膜の枚数を再現性よく確定することが可能なグラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システムを提供する。
【解決手段】単層のグラフェン又はグラフェンを複数層積層した超薄膜グラファイトを設けた基準サンプルとなる基板と計測対象サンプルとなる基板を、所定の色のフィルタを介してそれぞれ撮像し、前記撮像したそれぞれの画像から前記所定の色の輝度値に対する出現頻度特性を求め、その出現頻度特性を基板部分の前記所定の色の輝度値を１００として規格化し、両特性を比較できるようにモニタに表示する。また、上記規格化した所定の色の輝度値対頻度特性における変化の特徴の異同を判断し、計測対象サンプルにおける１層〜ｎ層（任意層）までの各層の存否を判断する。 （もっと読む）

【課題】対象物における微小な高さを測定するに際し、測定に要する時間を短くし、ケース内のＩＣの検査を可能にし、繰り返し測定精度を高め、測定装置の構成を簡易なものとする。
【解決手段】光軸に関して対称的に配設された１対の異なる色のフィルターＦ１，Ｆ２が設けられたフィルター付マスクＭと撮像用レンズＬとを備えた撮像用光学系を有する撮像装置で対象物をその基準表面に対して合焦させて撮像し、得られた画像について画像解析を行い、画像における対象物の凸部または凹部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔を算出する。一方で、この異なる色で分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数を予め求めておき、この換算計数と実際に撮像により得られた重心位置の間隔とから凸部の高さまたは凹部の深さを求める。 （もっと読む）

物体の３次元表面形状特徴および／またはテクスチャ特徴を取得するシステムおよび方法を提供する。前記物体の表面にパターンを射影する。前記物体の基本２次元画像を取得し、前記物体の２次元特徴画像を取得し、前記物体における前記射影パターンの反射により２次元表面点を前記基本２次元画像から抽出し、前記２次元表面点を用いてセンサ座標系内の３次元表面点の集合を計算して、２次元表面形状／テクスチャ特徴の集合を抽出する。 （もっと読む）

【解決手段】バーコード読み取り装置および方法であって、そこではプローブ光のスペクトルがまず空間にフーリエ変換され、バーコード上に導かれ、そしてフーリエ変換され、スペクトル的に符号化されたバーコードパターンを時間ドメインの波形に変換する。ある実装では、スペクトルドメインから空間ドメインへのフーリエ変換は分散要素によって行われ、一方でスペクトル的に符号化されたバーコードパターンから時間ドメインの波形へのフーリエ変換は群速度分散（ＧＶＤ）によって行われる。時間的に符号化されたバーコードパターンは光ディテクタによって検出され、デジタイザによってデジタル化され、およびデジタル信号プロセッサによって解析される。本発明は、１および２次元バーコードの読み取りや変位検知や表面測定や幅およびギャップの測定やフローサイトメトリや光メディアの読み取りや存在または非存在検出や他の関連分野を含む複数の分野に適用可能である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、被検査体全面において短時間で不良領域を検出でき、かつ検出結果を検査工程以降の工程に反映することのできる検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明は、基体の表面に微細な凹凸パターンを形成した被検査体に放射波を照射する照射機構と、被検査体を透過した放射波を検出する検出機構を備えた検査装置、検査方法において、前記照射機構は前記被検査体の表面または裏面のいずれか一方に配置され、前記検出機構は被検査体を介して照射機構とは相対する面に配置されており、検出機構で得られた被検査体の面内の透過率分布から凹凸パターンの不良領域を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光に対する測定対象物毎の反射率が異なることにも関らずに、三次元形状を計測することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】 形状測定装置は、第１波長帯域の光と該第１波長帯域とは異なる第２波長帯域の光を射出する光射出手段と、第１波長帯域の光に対する反射率と第２波長帯域の光に対する反射率が異なる参照面を有する参照ミラーと、第１波長帯域及び第２波長帯域の光を測定対象物に照射する測定光と参照面に照射する参照光とに分割すると共に、参照面で反射した参照光と測定対象物で反射した測定光を合成して合成光とする光分割合成部材と、合成光により形成される干渉縞画像を撮像する撮像部と、干渉縞画像を解析して測定対象物の形状を算出する形状算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 欠陥検知及び分類のための共通光路干渉イメージング用のシステム及び方法を記載する。
【解決手段】 照明光源が可干渉光を発生し且つサンプルへ向けて指向させる。光学的イメージングシステムが、該サンプルにより主に回折されていない鏡面成分と散乱成分とを包含しており該サンプルから反射又は透過された光を回収する。可変位相制御システムが、画像面において干渉する態様を変化させるために散乱成分と鏡面成分の相対的位相を調節するために使用される。その結果発生する信号は該サンプル上の同じ位置に対する参照信号と比較され、スレッシュホールドを超える差が欠陥であると考えられる。このプロセスは、各々が異なる相対的位相シフト及び各欠陥位置で複数回繰り返され、且つその差信号がメモリ内に格納される。このデータは各欠陥に対する振幅及び位相を計算するために使用される。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ分析におけるプローブに対する機械的な運動および歪みの影響を最小限にする、光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブおよびシステムを提供する。
【解決手段】光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブ１００の干渉信号ファイバカプラ１１２が、コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）分析システムから光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）信号を受信し、このＯＣＴ信号を参照光ファイバアーム１３０と信号光ファイバアーム１３２に分配する。 （もっと読む）

【課題】複数波長を搭載した暗視野検査装置では、波長に応じて回折光の位置が異なるため、全ての回折像を遮光した場合、解像度が低下する問題がある。また、液晶フィルタのような２次元アレイ状のデバイスを用いる場合、特定の偏光しか検出できず、検出する偏光と直交方向に振動する偏光特性を有する欠陥の散乱光を遮光して欠陥を見逃すことになる。このため、レンズの解像度を低下せず、欠陥散乱光の偏光特性にも依存されずに検出感度の高い欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】検出光路を波長分岐或いは偏光分岐の少なくても一つ以上の分岐を行い、分岐後に２次元アレイ状の空間フィルタを配置し、回折光のみを前記２次元アレイ状の空間フィルタにて遮光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】散乱媒体の厚さを算出することができる光学システムを提供すること。
【解決手段】光学システムであって、光を散乱する散乱媒体、および散乱媒体の下部にあり、光が入射された場合に偏光された光を入射側に戻す下部媒体を有する物体に向けて、光を照射する光照射部と、光照射部から照射されて散乱媒体によって散乱された光、および下部媒体からの光を受光する受光部と、受光部が受光した光の非偏光成分および偏光成分の少なくとも一方に基づいて、下部媒体までの散乱媒体の厚さを算出する厚さ算出部とを備える。 （もっと読む）

目的物表面の三次元モデルを計算する装置・方法を開示する。少なくとも一の指向性エネルギ源が目的物を指向的に照射する。相互に相対して固定位置で少なくとも二の空間的に離れたビューポイントを有する撮像アセンブリは目的物がエネルギ源で照射されると個々のビューポイントにおける目的物の一連の画像を記録する。所定形状フィーチャを有する少なくとも一のテンプレートは目的物と同時にビューポイントに対し可視である。ビューポイントにて記録された画像は分析され一連の画像内の個々の画像に対してテンプレートに相対する個々のビューポイントの位置及びポーズを判別する。目的物に対する測光データはビューポイントの計算された位置及びポーズと画像データを用いて生成される。目的物の初期の三次元モデルを含む形状データは光学三角測量を用いてステレオスコープ復元を実行して生成される。形状及び測光データは組み合わされ三次元モデルを構築する。
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【課題】マイクロプレートを撮像して液状試料の画像情報を読み取るに際して、煩瑣な準備作業を排除して読取作業を効率的に行うことができるマイクロプレート読取装置およびマイクロプレート読取方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ウェルに液状試料を収容したマイクロプレートを撮像して液状試料の画像情報を読み取る読取作業の実行に先立って、ＣＣＤカメラ１１の焦点位置にマイクロプレートの上面が位置した状態におけるマイクロプレートの高さ位置をプレート高さ情報として検出し、ウェルの開口部のエッジの位置を示す複数の座標データからなるウェルエッジ情報を取得してこれらのプレート高さ情報およびウェルエッジ情報を記憶部３７に記憶させておき、読取作業に際して、読み出されたプレート高さ情報に基づいてマイクロプレートを焦点位置に合わせ、ウェルエッジ情報に基づいて設定された計測エリアを用いて計測処理を実行する。 （もっと読む）

本発明は、結像ビームの経路内に配置され、かつ具体的には平行平面板媒体またはガラス板として構成され、使用される放射線に関して周囲の媒体と異なる屈折率を有する、回転可能に配置される放射線屈折物体（２）を用いて、放射の方向と垂直な、電磁放射線（１４）により伝播させられる像（８）の変位のための方法に関する。本発明は、さらに方法を実行するための装置に関する。方法および装置は、最適化された正確な像変位が達成されるという点で改良されたものにされるべきである。この目的のために、本発明は、測定のために利用される別の電磁ビーム（１８）の角度変化により引き起こされる光路長の変化が、平面反射面（２４）により反射される放射線と、入射電磁放射線との重ね合わせを評価することにより決定されることで、および放射線屈折物体（２）の表面（４４）上で反射される電磁測定ビーム（１８）の一部（４２）が、電磁放射線（１８）の入射位置に応じて電気信号（４８）を供給する測定ユニット（４６）に衝突することで、変位を引き起こす放射線屈折物体（２）の回転を測定することを提案する。
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