本発明は、半導体ウェハ（１００）上に堆積または形成された膜（１０４）の光学特性を測定するためのシステム（２０１）および方法を提供する。膜の試験領域（２０６）内にあって、互いに重なり合わない複数の位置（２１６）において、上記膜の化学線照射量よりも低い放射線照射量で光学特性を測定する。この結果、上記測定によって上記膜内に化学変化が引き起こされることはない。従来技術による方法に対して上記測定を較正して、その結果を調整係数または較正係数によって調節してもよい。
（もっと読む）

【課題】 イン・ラインの測定および制御ツール、テスト・パターンおよび評価方法を含む統合された測定システムを提供する。
【解決手段】 基板上で寸法を測定するための方法を記載する。ターゲット・パターンは、主周期ピッチＰで反復する公称特徴寸法を備え、主方向に直交する所定の変動を有する。基板上に形成されたターゲット・パターンは、少なくとも１つの非ゼロ次回折が検出されるように照射する。公称寸法に対する転写された特徴寸法の変動に対する非ゼロ次回折の応答を用いて、基板上で限界寸法またはオーバーレイ等の対象の寸法を求める。本発明の方法を実行するための装置は、照射源と、非ゼロ次回折を検出するための検出器と、ターゲットからの１つ以上の非ゼロ次回折を検出器において検出するようにターゲットに対して照射源を位置付けるための手段と、を含む。 （もっと読む）

被検査体の表面に形成されたパターンに発生する複数種類のムラ欠陥
を高精度に検出できること。
単位パターン５３が規則的に配列されてなる繰り返しパターン５１を表面に備えたフォトマスク５０に光を照射する光源１２と、上記フォトマスクからの散乱光を受光して受光データに変換する受光部１３とを有し、この受光データを観察して上記繰り返しパターンに発生したムラ欠陥を検出するムラ欠陥検査装置１０において、複数の波長帯の光から所望の波長帯の光を一または複数選択して抽出する波長フィルタ１４を有し、この選択して抽出された波長帯の光を用いて上記繰り返しパターンのムラ欠陥を検出することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】対話型ディスプレイシステムは、画素ベースの表示面と、ライトペンとを含む。
【解決手段】表示面にパターンシーケンスが投影される。このパターンシーケンスは表示面の各位置に対して一意の光強度シーケンスを有する。パターンシーケンスを投影している間に、ライトペンによって任意の位置における光強度が検知される。この光強度は復号化されて、その任意の位置の座標が求められる。
（もっと読む）

本発明は、照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法の提供を目的とする。そのため、被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１，１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９，１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送される対象物を平面分光器を用いて、高い分解能で異種品の検出を可能とすること。
【解決手段】本発明では、搬送手段（11）と、近赤外線の照射手段（４）と、反射光を平面分光する平面分光手段（２）と、撮像手段（３）と、反射光のスペクトルデータを得て主成分分析手法を用いて異種品を検出する解析手段（５）とを備え、前記解析手段（５）は、前記スペクトルデータを平均化および標準化する前処理、波長軸平均化処理、ラグランジェ補間する補間処理、測定位置最適化処理、空間軸平均化処理、一次・二次微分および平滑化する変換処理、予め取得したローディングベクトルデータに基づいて主成分得点を算出する主成分得点算出処理、および異種品の判定を行う判定処理を行う。 （もっと読む）

本発明は、
-像焦点面における物体の基本的な表面の光学フーリエ変換像を形成する手段と、
-検出手段によって提供された情報から少なくとも１つの物体の寸法的および／または構造的な特徴に関連するデータを生成する処理手段と、
を含むことを特徴とする、物体の寸法的または構造的な特徴を測定するための装置に関する。
（もっと読む）

放射散乱／反射要素の位置を判定するための方法及びシステムであって、放射透過性要素面で放射入射する面に放射エミッタが設けられる。この入射放射は散乱／反射要素により散乱／拡散／反射され、透過性要素により、この要素位置を判定できる検出器に向けてガイドされる。
（もっと読む）

走査システムは、対象物（４０）の定性的及び定量的不規則性を検出する１以上の立体カメラ（１０）を有する。各立体カメラセット（１０）は、２つのカメラ（１２，１４）と投影器（１６）とを有する、各カメラ（１２，１４）は、ＣＣＤマトリックス配列（１８）の配列不良による歪みと光学システムの欠損とを補正するために較正される。投影器（１６）は、測定されるべき対象物（４０）に絶対符号パターン（３２，３４，３６）を投影し、赤外、可視、紫外スペクトルの電磁気エネルギーを放射可能である。複数のカメラセット（１０）は、３次元空間（２６）の対象物（４０）の不規則性を検出可能な走査システムマトリックス（４２，４４）と結合され得る。３次元空間（２６）は、立体カメラセット（１０）の数に応じて、任意の所望の寸法であり得る。カメラ（１２，１４）からのデータは、測定の表示用にデジタル信号プロセッサ（６６）を介してコンピュータインターフェース（６４）に送信される前に、ゲートアレイ（６２）により予備処理される。結果的に、送信されるデータ量は、簡素化され、従って動作時間を減少させ、走査システムが非常に短い時間で対象物（４０）の不規則性を非常に正確に測定することを可能にする。
（もっと読む）

【課題】 一般的なタイプの測定装置を、カラー測定に適するように改良すること。
【解決手段】 二次元の測定対象物をピクセル毎に光電測定するための装置は、測定対象物（Ｍ）を二次元ＣＣＤイメージセンサ２２上に結像するための投影手段３，２１と、イメージング光路に設けられ且つイメージセンサ上に衝突する測定光の波長選択フィルタリングを行なうフィルタ手段６６と、イメージセンサによって形成された電気信号を処理するとともに、その電気信号を対応する生のデジタル測定データ７１に変換する信号処理手段２３と、生の測定データを、測定対象物の各画像要素の色を示す画像データ７２に処理するためのデータ処理手段７とを有している。 （もっと読む）

【課題】 被写体の視覚情報である２次元画像情報と赤外線により被写体の距離情報である３次元画像情報を検出する３次元画像検出装置において、各検出を迅速かつ常に合焦された状態で行う。
【解決手段】 ＣＣＤの色分離フィルタＦに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各波長を中心にした狭い帯域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタと赤外領域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタを用いる。ＲＧＢの色フィルタが設けられた画素に対してコントラスト方式の焦点調節を行う。２次元画像情報を検出後、メモリ２４に記録されたデータに基づいて、レンズ駆動回路２７を駆動し光学系の焦点面を所定距離移動させる。赤外線レーザをレーザダイオード１４ａから照射して３次元画像情報として検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、白ねぎのぼけ部の端部の検出を定量的に行うことができる白ねぎのぼけ部検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 白ねぎ３を拡散照明する蛍光管７および拡散板８と、赤外線を吸収し青色の光のみ透過する光学フィルタ４と、拡散照明された白ねぎ３の反射光を光学フィルタ４を介して入力し、白ねぎのぼけ部３Ｂおよびその近傍を撮影するＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５の画像信号により、白ねぎの軟白部３Ａよりぼけ部３Ｂに移るぼけ部端部を検出する検出装置11を備える。この構成によれば、ぼけ部３Ｂの輝度データから、常に同一のしきい値によりぼけ部３Ｂの端部が検出されることにより、選別過程で等級選別に大きく係る軟白部３Ａの長さＬが自動で定量的に検出され、人間の主観に依存することなく、均一な白ねぎ３の等級の判定が可能となり、白ねぎ３の品質を安定して均一に維持できる。 （もっと読む）