本発明は、サンプル（５）を検査する撮像光学検査装置に関する。前記検査装置は、照射面内でサンプル表面の指定の部分を非平行光（４）で照射する光源（３）と、前記部分から反射される反射光（４’）の経路及び／又は前記サンプル部分内のサンプル（５）の厚さ全体を通って進む透過光（４”）の経路内に配置された、少なくとも照射面内に延びる少なくとも１つのピンホール（７）と、前記ピンホール（７）を通過する光（４’、４”）の経路内に配置されて前記光（４’、４”）を遮断するように構成された、少なくとも１つの線に沿って光強度分布を感知することが可能な少なくとも１つのスクリーン及び／又は少なくとも１つの位置敏感型検出器システム（８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定空間内の周囲温度の変動や構成する各部品に製造時の特性ばらつきがある場合でも、正確に遮蔽物のエッジ部分を検出できるエッジ検出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】 単色光を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からの単色光を単色平行光に変換する投光レンズと、該単色平行光を放射する投光窓とからなる投光部と、前記投光窓に対向して設けられた受光窓と、該受光窓から侵入する前記単色平行光を所定の範囲で拡散する光拡散素子と、該拡散させた単色光を受光する複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したラインセンサとからなる受光部と、前記ラインセンサの受光量分布を解析して前記単色平行光の光路に存在する遮蔽物の前記受光セルの配列方向におけるエッジ位置を検出する検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】多数の基準面を格子の投影に利用して、輝度分布が余弦波状でない格子や不等間隔格子でも精度良く形状計測を行い得る形状計測方法および形状計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置は、基準面１２を含む基準平板１１と、基準平板１１を法線方向に移動させるステージ１３と、平行移動の各位置で格子パターンを投影するプロジェクタ１４と、各位置で基準面１２に形成される格子を撮影した第１撮影画像と、各位置で基準面１２の投影格子を撮影した第２撮影画像と、試料物体１７に投影した格子を撮影した第３撮影画像を得るカメラ１５と、第１撮影画像の格子および第２撮影画像の投影格子の解析をそれぞれ画素毎に行って、基準平板１１の移動量と格子の２次元座標とから成る空間座標と投影格子の位相θとを対応付けたテーブルを形成し、該テーブルと前記第３撮影画像とに基づいて試料物体１７の空間座標を求める解析装置１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】欠陥を漏れなく精度良く検査するとともに、検査結果を分かりやすく正確に表示し、検査に必要な各装置を自在に増設して、効率良く外観検査を行うシステムを安価に提供する。
【解決手段】外観検査システム１０で扱うレンズ１７は、検査トレイ１６に配列され、外観検査装置２２で良，不良，再検査の何れかに各々評価される。レンズ１７の評価や検査に用いた画像は、サーバ２１のデータベース２８に登録される。レンズ１７を配置した検査トレイ１６がトレイ保管庫２６に保管されている間に、再検査装置２３でサーバ２１から検査時の画像等が読み出され、再検査のレンズ１７は良又は不良に分類される。検査結果表示装置２４には検査時のままレンズが配列された検査トレイ１６が配置され、サーバ２１から取得した各々のレンズ１７の評価が各々のレンズ１７に直接的に表示され、レンズ１７は選別される。 （もっと読む）

【課題】ウエハ（６）縁部の上部表面（６ａ）、端面（６ｂ）及び下部表面（６ｃ）の欠陥を簡単な方法で検査できる装置及び欠陥画像撮像方法を提供すること。
【解決手段】本装置は、ウエハ（６）の縁部領域の欠陥をユーザが評価するか、自動で行うことができる。特に本装置は、３つのカメラ（２５、２６、２７）を含み、各カメラは対物レンズ（３０）を備え、第１のカメラ（２５）はウエハ（６）の上部縁部領域（６ａ）に相対するように配置され、第２のカメラ（２６）はウエハ（６）の端面（６ｂ）に相対するように配置され、第３のカメラ（２７）はウエハ（６）の下部縁部領域（６ｃ）に相対するように配置される。 （もっと読む）

【課題】表面に保護フィルムを貼付したウェハからにる検出対象物の上記保護フィルムおよびウェハの各エッジ位置をそれぞれ簡易に、しかも高精度に検出するに好適なエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】透過照明された検出対象物を結像光学系を介してラインセンサにより撮像し、このラインセンサの出力レベルを所定の閾値で弁別して前記ラインセンサの画素セル配列方向における前記検出対象物のエッジ位置を検出するものであって、前記ラインセンサから読み出される出力信号に対するゲインおよび／またはバイアスを可変設定すると共に、ゲインおよび／またはバイアスが可変設定された前記出力信号のレベルを、互いに異なる複数の閾値にてそれぞれ弁別して前記検出対象物における複数箇所（保護フィルムとウェハ）のエッジ位置を並列に検出する。 （もっと読む）

【課題】反りや撓みが生じたウェハであってもそのエッジ位置を正確に検出して予め定められた位置に精度良く位置決めするに好適なウェハの位置決め方法を提供する。
【解決手段】レーザ平行光エッジセンサと結像光学系エッジセンサとを用い、各エッジセンサによりテーブルに載置したウェハの同一部位におけるエッジ位置を複数箇所に亘ってそれぞれ検出し、検出したエッジ位置において前記レーザ平行光エッジセンサにて求められた受光パターンの傾きからその検出距離ＷＤそれぞれ求めることで前記ウェハの反りおよび／または撓みを検出し、検出した反りおよび／または撓みに従って前記結像光学系エッジセンサにて検出したエッジ位置を補正して前記ウェハの位置合わせに用いる。 （もっと読む）

【課題】平行光による被測定物のシルエットを撮影し画像処理して形状寸法を測定する場合に、光の強弱の変化や揺らぎの影響を受けずに容易に画像処理でき、形状寸法を容易にかつ再現性よく測定できるようにする。
【解決手段】被測定物１を支持する設置部２を挟んで、被測定物２を含む測定範囲に平行光３を発する光源４と、平行光３による被測定物１のシルエット１０を投影する半透明の投射幕５とを対向配置しておき、被測定物１のシルエット１０を投射幕５に投影して、投射幕５の裏面に投影されたシルエット１０を撮像手段としての受像カメラ６により撮影し、撮影したシルエット像を２値化してその輪郭形状を測定対象の画像として処理し、この処理画像に基づいて演算処理を行って必要部分の計測を行う。 （もっと読む）

【課題】コークス炉の操業を妨げることなく効率良く連続して複数の窯の炉壁形状計測を行うことを可能にするコークス押出ラムの先端位置検出方法、及びそれを適用したコークス押出ラムの先端位置検出装置を提供する。
【解決手段】コークス炉のコークス押出機に設けられた押出ラムの先端位置を検出する方法であって、押出ラムの先端部に取り付けられ、光拡散反射部と低反射部とからなるターゲット板を撮像する工程と、前記撮像手段の撮像信号に基づいて押出ラムの先端位置を検出する工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】３線テンソルを使用して、ローカル３Ｄ表面形状を再構築する。
【解決手段】システムは、３ビュー光学ヘッドと、機械式マニピュレータと、ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットと、表面形状スティッチユニットとを含む。３ビュー光学ヘッドは、物体の少なくとも一部分の少なくとも３つのビューを生成するように動作可能である。機械式マニピュレータは、物体の第１の部分が見える第１の相対的向きから、第１の部分とオーバラップする部分が見える第２の相対的向きまで、物体と光学ヘッドとの向きを変更するように動作可能である。ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットは、光学ヘッドによって生成された第１および第２の部分の３つのビューのうちの少なくとも２つに基づいて、表面形状のローカル再構築を生成するように動作可能である。表面形状スティッチユニットは、物体の第１および第２の部分の相対位置を決定するように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】電子部品のリード線位置の検出精度を向上させる。
【解決手段】第２ミラー部２３には、第１照明部２４から第１ミラー部２２を介して、電子部品１のリード線２の影響を受けた光が入る。同様に、第１ミラー部２２には、第２照明部２５から、第２ミラー部２３を介して、電子部品１のリード線２の影響を受けた光が入る。撮像部２６は、第１ミラー部２２と第２ミラー部２３に写された画像を２次元データとして取得する。制御装置１９は、撮像部２６のデータと第１，第２ミラー部２２，２３の成す角度情報より、リード線位置の演算を行う。電子部品１のリード線２の位置を対象部品等の回転誤差の影響なしに高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高価なハードウェアを必要とせずに機能する物体の位置及び定位検出システムを提供する。
【解決手段】物体の位置及び定位検出システム、特に視認された３次元の動きを記述できるシステムが提供される。１例では、同心リングをもつ球体のパターンを形成するマーカーが１または複数のデジタルカメラを用いて撮像され、その像がパターンを形成するマーカーが取り付けられる物体の位置及び定位を決定するために処理される。本システムで使用される光学追跡方法により運動を６自由度で決定することができる。適切なディスプレイに接続して、投影器、会話型のホワイトボードまたは類似の応用が実現可能である。 （もっと読む）

【課題】基本的にはドーム型照明方式の考え方を用い、ローアングル光照明方式の不具合を解消しながらも、その場合に生じ得る照度不足や照度ムラといった新たな問題点を解決し、配線基板の検査をより精度良く行えるようにする。
【解決手段】光透過性及び光拡散性を有し、検査用カメラ３００が撮影する検査領域２０ａを覆うように近接配置される概略平板状又はドーム状をなす光拡散部材２と、その光拡散部材２の外側に離間して配置され、前記検査領域２０ａに当該光拡散部材２を透過させて光を照射する複数の光照射部材４と、前記光拡散部材２に設けられた撮影用観測孔２ａの周囲からカメラの方向に延びる筒状体３と、を備え、前記カメラが、それら筒状体３及び観測孔２ａを介し前記検査領域２０ａを撮影できるように構成するとともに、前記筒状体３のカメラ側開口に、前記光照射部材４からの直射光が入らないように構成した。 （もっと読む）

【課題】簡易に、且つ効率良く形状測定を行うことができる形状測定方法及び形状測定装置を提供することである。
【解決手段】光源部１０から照射された光がアパーチャ２０を介して被測定物体２００を照射してできる光の輪を、撮像部５０で撮像し、画像処理部６０によって、撮像された写像の光強度分布より被測定物体２００の一断面形状の算出を行う。 （もっと読む）

【課題】ノズルに吸着される電子部品を適切に透過照明して高精度で認識可能な電子部品の認識装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズル２の吸着面側に光拡散性のテーパー面５が形成され、このテーパー面を介して電子部品１が第１の光源７により透過照明される。ここで、前記第１の光源は吸着ノズルを包囲する面に複数個設けられており、第１の光源はテーパー面が均一に照明されるように疎密に配置されているので、簡単な構成で最適な透過照明を行なうことができ、良好な認識を高精度で行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ミラー面１１に測定光２８を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光２８がミラー面１１で反射することにより形成された反射光１３が投射光点として投射される投射部１７と、反射光１３が投射光点として投射された投射部１７を撮像する撮像部１８と、ミラー面１１の傾きを制御する制御部３１と、撮像部１８によって撮像された投射部１７の画像に基づいて、制御部３１によって制御されたミラー面１１の傾きの変更に伴って移動する投射光点の移動量を測定する測定部３３とをそなえたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撮像素子検査装置の各光学部品の芯出しを簡単に精度良く行う。
【解決手段】機枠４１の光源取付位置に第１基準治具５１を取り付ける。第１基準治具５１に円柱治具５２を介しレーザポインタ５３を嵌合させ、レーザポインタ５３をオンにする。機枠４１内のミラー４７で反射されたレーザ光を、載置台３１にセットされる撮像素子ウェハ１６に照射し、その中心位置にレーザ光が位置するように、機枠４１の取付位置を微調整して第１の芯出しを行う。次に、円柱治具をレンズホルダ６３に嵌合させ、円柱治具の先端部を撮像素子本体１８の中心位置に合せて、レンズの光軸と載置台３１の中心線とを合せる第２の芯出しを行う。次に、第１基準治具５１に芯出し治具を嵌合させて、その先端部の位置合せ板により、インテグレータ及び絞りの中心線を光軸に合せ、第３及び第４の芯出しを行う。 （もっと読む）

【課題】莢果の等級に基づき莢果を適切に選別する。
【解決手段】莢果選別装置１０では、莢果２２がベルト４０上の搬送路４８内を搬送されて、フラッパエジェクタ７６の板バネ７８へ落下する。さらに、搬送路４８内を搬送される莢果２２が透過光カメラ６４によって撮像されて莢果２２の等級が判別され、莢果２２が不良品であると判別されると板バネ７８が当該莢果２２を弾くことで、莢果２２が良品と不良品とに選別される。ここで、ベルト４０が網目状にされているため、ランプ安定器５８がベルト４０を介して透過光を莢果２２へ照射できて莢果２２を透過した透過光によって透過光カメラ６４が莢果２２を適切に撮像でき、莢果２２を適切に選別できる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタが存在する領域とカラーフィルタが存在しない（背景）の抽出を可能とし、カラーフィルタの形状の不均一性を簡便に検査できる方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査装置において、光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に前記カラーフィルタを載置し、前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動手段と、前記載置台上の前記カラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像手段と、前記撮像された画像を提示する提示手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）