【課題】膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、基板９と受光部４との間に配置されて光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。ムラ検査装置１では、波長帯切替機構５により選択光学フィルタ５１ａが変更された場合、各光学フィルタ５１の光学特性による影響や選択波長帯の変更に伴うラインセンサ４１のＣＣＤ感度のばらつきの影響が、補正情報記憶部７６に予め記憶されている選択波長帯（選択された光学条件）に対応する補正情報に基づいて補正された後、膜厚ムラの検査が行われる。その結果、膜厚ムラをより精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物体の形状を迅速に測定するようにする。
【解決手段】 ゾーンプレート１５ａにより、レーザ１１の強度が、被測定物体２５への入射角に応じて調整され、被測定物体２５の高さが測定される。PC３０は、駆動装置２７を駆動して、結像レンズ２６を垂直方向に移動させて、結像レンズ２６のフォーカス点を測定範囲の一方の基準位置に設定し、その後、測定範囲の他方の基準位置に達するまで、観測系のレンズ２２の被写界深度に対応する分ずつ順次移動させる。PC３０は、合焦位置のそれぞれにおいて、所定の周波数のゾーンプレート１５ａを順次選択する。 （もっと読む）

【課題】少ない数のゾーンプレートで高さを測定するようにする。
【解決手段】 ステップＳ１１で、フーリエスペクトルの幅ｆvが決定される。ステップＳ１２で、ゾーンプレートの周波数γの走査ステップ（＝１／fs）が決定される。ステップＳ１３で、ステップＳ１１で算出された幅ｆvとステップＳ１２で算出されたサンプリングレートｆsとの関係の下で、キャリア縞の周波数ｆcが決定される。ステップＳ１４で、初期位相βと周波数γをリニアな関係に設定する式β＝２πｆcγに従って、周波数γと、ステップＳ１３で決定されたキャリア縞の周波数ｆcから位相βが算出される。周波数γと算出した位相βを有するゾーンプレート１５ａが生成される。 （もっと読む）

【課題】大面積の基材に塗布された透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】基材１表面に対し斜め方向から照射光Ｘを照射し、斜め方向に出射する反射光の光路上に凸レンズ２が配置されており、この凸レンズ２の作用によって基材１の像３が結像される。凸レンズ２の光軸２ａは前記基材１の表面の法線１ａに対して傾いており、像３も基材１表面の法線１ａに対し傾いた位置に結像する。そして、この像３をカメラで撮影して画素に対応する領域ごとに反射光強度を測定する。次に、測定された反射光強度から塗布ムラを検出する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、ステージの下方に面照明を配設することなく、正確に部品の外形を認識することができる部品外形認識装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明に係る部品外形認識装置は、拡散板２、斜方照明３および撮像装置４を備えている。ここで、拡散板２には、観察対象の部品（はんだリボン）５が配置される。また、拡散板２は、入射してきた光の乱反射が可能な部材である。斜方照明３は、観察位置存する拡散板２の法線に対して、所定の角度からの光の入射を行うことができる照明機器である。撮像装置４は、観察位置に存する拡散板２の法線軸上に配設される。 （もっと読む）

【課題】
WD を大きくしたときも照明光の NA 値を対物レンズの NA 値よりも大きくする必要がある。
輝度波形が突起部分の無い正常な波形が得ることによって、測定誤差が小さく、また再現性の良い測定が可能な測定または検査ができる装置を提供する。
【解決手段】
ステージと基板の間に拡散板を入れることによって擬似的に照明光の NA 値を大きくする。これによって 、WD を大きくしたときも照明光の NA 値を対物レンズの NA 値よりも大きくなるため、ステージ厚の大きい場合でも、NA 値の大きな線幅測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】精度よく空間内での位置検出を行うことにある。検出した位置情報は、測定される側の物体（小型端末、ロボット、センサーノード等）が取得する。
【解決手段】位置情報を送信する赤外線送信装置を配置し、対象物にとりつけた赤外線受信装置で位置情報を取得する。赤外線送信装置は、照射方向によって異なる情報を発信し、対象となる空間を分割する。空間をより細かく分割するためには、高密度可動鏡面デバイスを用いるのことが有効であり、高精細でありながら信号同士の重なりが少ない照射ができる。尚この装置は、既存の画像表示用プロジェクター（高密度可動鏡面デバイス使用）とほぼ同じ構成で実現できる。この装置を複数台もちいることで、３次元の位置特定も可能になる。 （もっと読む）

【課題】青色光に感受性を有する透明被膜の膜厚ムラを、自動的に、かつ、精度良く検出する方法とその方法に適用する装置とを提供すること。
【解決手段】波長５００〜５７０ｎｍの緑色光と波長５８０〜６３０ｎｍの赤色光を含む光を照射し、これら光の反射光強度を、波長ごとに、かつ、照射範囲を多数の小領域に分割してその小領域ごとに測定し、小領域ごとに、緑色光の反射光強度と赤色光の反射光強度の差を算出し、多数の前記小領域の間で前記強度差同士を比較し、周囲の小領域に比べて前記強度差が大きいまたは小さい小領域を膜厚ムラのある領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】特殊な照明を使用することなく、透明な部品を高精度に画像認識できるようにする。
【解決手段】ノズル１０に保持された透明体部品１２を、該ノズル１０に対向する正面側の所定位置から撮像するＣＣＤカメラ１４と、該透明部品１２の背面側に配された拡散反射板１６と、該反射板１６に向かって該透明部品１２のサイドから光を照射するサイド照明部１８とを有する照明手段と、撮像して入力された画像データから透明体の輪郭を抽出する手段と、抽出された輪郭に対して外接円又は内接円を演算する手段と、得られた外接円又は内接円から透明体の位置を認識する手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液晶基板などの大型基板の外観検査用投光装置において、装置の高さを押さえ、小型化を図る。
【解決手段】本発明の外観検査用投光装置は、照明光源と、この照明光源からの光を被検査部材に向けて反射させる反射光学系と、この反射光学系の反射光路に配置される集光光学系と、を具備し、前記集光光学系は少なくとも２分割され、これら分割された各集光光学系からの照明光束により前記被検査部材の全面を照射可能とした。 （もっと読む）

【課題】 反射系ガラス部品等の精度の影響を極力排除して、高集積化等の下で、ＣＣＤカメラの撮像面に結像する「光学像の歪み」を抑えること。
【解決手段】 ウェハ１４の位置に、試料（理想格子物体）を載置すると、理想格子物体の光学像がＣＣＤカメラ１８の撮像面に結像される。画像処理部１９により、結像した光学像の歪み量を算出・解析する。この際、光学像の歪みが比較的大きい場合には、画像処理部１９の解析結果に基づいて、歪みの要因となる反射系ガラス部品（落射プリズム１１、反射ミラー２１）の位置を調整する。その結果、「歪みの少ない」光学像を捜し出し、この状態で、反射系ガラス部品（落射プリズム１１、反射ミラー２１）の位置を固定する。これにより、ＣＣＤカメラ１８の撮像面に結像する「光学像の歪み」を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】熱交換器の耐圧性を比較的簡単かつ正確に検査することができる熱交換器の耐圧性検査方法を提供する。
【解決手段】内部接合部を有する複数の偏平状熱交換管が並列状に設けられており、かつ隣接する熱交換管どうしの間が通風間隙となっているとともに通風間隙にフィンが配置されている熱交換器１の耐圧性を検査する方法である。熱交換器１の内部を加圧し、加圧開始前に熱交換器１の片側から光を照射するとともに、熱交換器１の反対側からＣＣＤカメラ44で撮像し、撮像範囲を複数のドットに分割し、各ドットにおける輝度情報を所定のしきい値により白部分および黒部分に２値化して、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。また、加圧開始後連続的に上記と同様にして、撮像範囲における白部分および黒部分のパターンを抽出する。加圧開始前の上記パターン、および加圧後の上記パターンの連続的変化に基づいて熱交換器１の耐圧性を判定する。 （もっと読む）

【課題】 現状の方式では調整できない照明瞳面の「光量ムラ」を極力抑えて、高集積化や記憶容量の増加の下で、「照明光のムラ」を極力排除すること。
【解決手段】 光ファイバ４の出射端面の瞳面状態の「光量ムラ」が比較的大きい場合に、焦点切換用レンズ３１により、ＣＣＤカメラ１８の撮像面の焦点を、ウェハ１４の試料から、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面に切り換える。画像処理部１９で、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面の「光量ムラ」を算出・解析し、この解析結果に基づいて、照明光学系内で、光ファイバ４の出射端面の位置を調整する。これにより、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面を、「光量ムラ」の少ない箇所に切り換えることができる。 （もっと読む）

バイオメトリック機能を実行するための方法およびシステムが提供される。個人の対象とするスキン部位は、対象とするスキン部位の固定された位置に対し１つの照明セッションの間、別個の光学条件の下で、照明される。対象とするスキン部位からの光は、光学条件の各々に対して受け取られる。対象とするスキン部位の画像は、受け取られた光から生成される。画像は、画像のうちの少なくとも１つの画像の部分における特性としてバイオメトリック特徴を識別するために分析される。バイオメトリック機能は、バイオメトリック特徴の識別に従ってインプリメントされる。
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【課題】 安価で且つ光の照射範囲も広くした電子部品の位置認識ができるようにすること。
【解決手段】 中空円筒形状の照明部２２に隣り合う光ファイバー束２５Ａが交差するように所定間隔を存して配設された一対のものを合計２０対４０個の光ファイバー束２５Ａを配設し、各光ファイバー束２５Ａをその光線の照射範囲の開口角内に照明部２２の中心Ｃを含むように、且つその光線の主軸Ｓが前記照明部の中心Ｃを避けるように配設することにより均一の光の照射空間が円Ｅ内と大きくなる。従って、大きな電子部品Ｄでも光をムラ無く照射できることとなる。
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【課題】青果物の外観検査と内観検査との双方を行うことができ、さらに、１回の測定でこれらの検査を同時に行うことができる青果物の品質検査装置の提供。
【解決手段】二次元状に画素が配列された受光素子面を有する固体撮像装置に分光装置を接続し、一次元の被撮像領域からの光をスリットへ導きスリットを通過した一次元像を回折格子で波長毎に分散させ受光素子面の画素行方向を一次元像の位置軸とし、画素列方向を波長軸として一次元像の各位置に対応する画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得るようにし青果物を移動させながら、この移動方向と略垂直である一次元の被撮像領域からの光をスリットへ順次入射させ、これにより移動の方向へ連続し各位置における被撮像領域からの一次元像について受光素子面の画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得て検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 受光面に複数の画素を有する受光手段を用いる場合に、簡単な構成で、測定対象物の表面状態にかかわらず、受光面の集光ムラを十分に抑制できる光学センサを提供する。
【解決手段】 受光レンズ２と受光手段１間に設けられた拡散シート７により、受光レンズ２からの光を拡散させて受光手段１の受光面１ａに受光させるので、受光面１ａの光分布を均一化して集光ムラを小さくするから、簡単な構成で、測定対象物Ｍの表面状態にかかわらず、受光面１ａの集光ムラを十分に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 複数層に形成されたパターンを光学的に検出するときの最適条件を決めるために用いることができる光学測定評価方法を得る。
【解決手段】 光学測定評価方法が、積層形成された状態の二つ以上のパターンを光学的の撮影して画像を取得する第１のステップと、この画像から前記層のそれぞれにおけるパターンを含む領域を切り出す第２のステップと、切り出された領域毎について比較パターンとの相関関数を計算する第３のステップと、領域毎について相関関数のピークの鋭さを示す評価値を算出する第４のステップと、領域毎について算出された評価値を用いて相対的に測定精度を制限している層に比重が置かれるような総合指標を算出する第５のステップと、総合指標から最適値を評価する第６のステップとから構成される。 （もっと読む）

【課題】 記録材種類の判別精度を向上させる。
【解決手段】 ＣＭＯＳエリアセンサ２１１により撮像され処理された画像データに基き求めたしきい値があらかじめ設定される。印刷枚数と表面粗さ検出値とから導かれた印刷枚数としきい値との関係を表す近似式に、ＣＰＵ２１０により、計数された印刷枚数を代入して、前記しきい値を補正し、補正されたしきい値に基き、当該記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷などの物理的欠陥を確実に撮影できるようにする。
【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は，３種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明１は同軸照明装置だけを点灯する。照明２は斜光照明装置だけを点灯する。照明３はバックライト装置だけを点灯する。照明４は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて，さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して，その良否を判定する。 （もっと読む）