【課題】透明な大型平板状製品の欠陥を容易に検査する。
【解決手段】検査対象の平板状透明製品１５を挟んで配置される一対の偏光子１，２と、一方の偏光子１を通して検査対象１５を照明する照明光源４と、一方の偏光子１と検査対象１５との間に配置される位相子３と、照明光源４から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子２から出射する透過光を検出する検出手段８と、検査対象１５を保持すると共に検査対象１５を平行移動させる移動手段５０と、検出手段８が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が増大する方向に偏光子１の光学軸の角度θ１と位相子３の光学軸の角度θ２とを独立に制御する演算手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】２種類の半導体レーザーを光源として、それら各々の光を干渉用鏡と段差のついた試料基板との間で干渉縞を生じさせる。干渉縞は干渉縞作成具を用いて微調整を行う。
【解決手段】干渉縞式膜厚計は、波長の異なる二種類以上のレーザー光源と、該レーザー光を透過させる回転している摺りガラスと、前記レーザー光を入射する、干渉縞調整テーブルと干渉用鏡の間に測定試料を挟みこんだ構造の試料台と、干渉縞を拡大観察する顕微鏡と、顕微鏡像を画像としてパーソナルコンピュータに取り込むためのＣＣＤカメラと、取り込んだ画像から所定のプログラムで膜厚を計算するパーソナルコンピュータとからなる。 （もっと読む）

【課題】表面にパターンが形成された試料の場合でも前記パターンの影響を受けず、かつ、高さ情報の分解能に比べて広い有効計測面積が可能となる表面測定装置を提供すること。
【解決手段】表面測定装置は、試料３に光を照射するための光源１と、前記試料３と前記光源１との間の光路中に設けられ、光を直進する第１の光束と一方向に回折する第２の光束との２つに分割するための非対称回折格子パターンを含む非対称回折格子パターン素子１０と、前記試料３の表面で反射した前記第１および第２の光束に基づいて、前記試料３の前記表面の高さ情報を取得するための手段４，５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】プリント基板のスルーホールの壁面に対する擬似エラーの検出を飛躍的に低減させて、スルーホールの壁面の欠陥の有無を高精度に検出可能な、プリント基板のスルーホール壁面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板載置手段と、プリント基板を所定速度で検査位置Ｓを通過するように搬送する搬送手段と、検査位置Ｓに位置するプリント基板に形成されたスルーホールの壁面を照射するライン状照射手段２と、ライン状照射手段を介して照射されたスルーホールの壁面の像を撮像するように、スルーホールの中心軸Ｙ方向に対して光軸が所定角度傾斜して配置されたライン状撮像手段３を有し、ライン状照射手段２から出射した光を拡散する拡散手段４が、検査位置Ｓにおけるライン状照射手段２から出射した光のスルーホールの入射側近傍に配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上の所定の位置に所望の量の機能液の液滴が吐出されたか否かを特定することが可能な液滴測定方法を提供する。
【解決手段】照明装置１３による照明光Ｒの照射が停止（光源の消灯）後、所定の時間後に撮影が行われる様にした。そして、照射光Ｒを照射した液滴Ｌ全体の発光の画像を、撮像装置１２によって撮影するようにした。そして、その画像データを処理することで液滴Ｌの液滴量を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象ワークに光沢がある被検査電子部品に対して、照明の発光部下に小型孔がある拡散板を用いることで、ハレーションを防止させ、容易に表明状態（異物、傷）を検出する表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象ワーク５に照明３を照射してカメラ１により上記検査対象ワーク５の光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明３と上記検査対象ワーク５の間に設けたハレーション９を防止する拡散板４の小型孔６を、上記検査対象ワーク５に隣接させ、上記照明３の光を上記小型孔６を通過させて上記検査対象ワーク５に照射し、上記検査対象ワーク５の表面を検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、エンボスキャリアテープに被検査物を収納してカバーテープ貼付後でも、鮮明な検査画像を撮像可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明なエンボスキャリアテープ１２に収納され透明なカバーテープ１６が貼付された電子部品である被検査物１４を有し、被検査物１４の外観や輪郭を検査するカメラ２４を設ける。カメラ２４側から被検査物１４を照らすリング照明器２０と、エンボスキャリアテープ１２の底面下方から照射可能に形成された透過照明器１８を備える。カメラ２４が撮像した画像から外観形状の良否を判定処理する判定装置２６を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な構成で、高精度な暗視野照明を実現して、高精度なパターン判定を実現し得るようにすることにある。
【解決手段】撮像部３０の撮像中心Ｏから離れる方向に大きな間隔を有して並設配置されて、照明光を透過してウエル２の下面に案内する複数の光透過部２７を有した瞳プレート２５を通して、暗視野照明を行うようにしていることにより、ウエル２毎に反応パターンをコントラスト良く、しかも、ウエル２に収容した液量により撮像部３０の対物レンズ３１で見た光透過部２７の中心位置がずれて見えても照明装置２２からの照明光がウエル２内に漏れたりすることが防止される。 （もっと読む）

移動するシート上のクレープパターンを直接測定する画像に基づく測定技術は、照明、光学素子、及び撮像装置の好適な配列を使用することでシート表面のデジタル画像を得る。この画像の解像度は、クレープのスケールにおいてティッシュのクレープ折り目を示すのに十分な解像度である。画像の一部又はすべてをスペクトル解析することで、クレープ折り畳みピッチが求められる。場合により画像をさらに解析することによって、クレープ折り目の配向角分布、及び折り目の直線長さの分布などの他のクレープ構造パラメータが求められる。クレープ構造の変化に応じて、修正措置を行うことができる。クレープのピッチは、クレープパターンを表す主要パラメータであり、さらに、勾配演算子を使用して画像を解析することによって、クレープ折り目の配向、フード側のクレープ溝の角度分布、又は同様にシリンダ側のクレープ継ぎ目の角度分布に関する情報を得ることができる。
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【課題】 薄膜膜厚計測方法及び薄膜膜厚計測装置に関し、数１００ｎｍ以下の薄膜の膜厚或いは膜厚分布を簡単な構成で精度良く測定する。
【解決手段】 薄膜からの光の反射角度ごとに光の強度を複数の波長帯成分に分離して取得し、取得した光強度の各波長帯成分から各波長帯成分ごとの反射角度特性を取得し、次いで、取得した反射角度特性と予め取得しておいた別の反射角度特性との間で各波長帯成分ごとの類似度を表す相関係数を求め、各波長帯成分ごとの相関係数の積の最大値から薄膜の膜厚を決定する。 （もっと読む）

【課題】
レーザードップラーを用いた速度測定装置において、速度測定装置とレーザー光源とを分離して、速度測定措置のみを飛しょう体に搭載することによって、製造コスト削減、及び、小型化を目的とした速度測定装置。
【解決手段】
被測定物にレーザー光を照射し、ドップラーシフトした被測定物からの投光ビームの反射光の強度を反射光の周波数に応じた強度に変換し、変換された強度と投光ビームとの強度とから速度を算出することを特徴とする速度測定方法。さらに、その速度分布情報から被測定物の形状を識別する。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いずに、一括に広範囲を露光すると共に、下層の露光パターンの位置と上層パターンを形成するための露光位置との位置ずれを、高速かつ高精度に補正し得る露光装置および露光方法を提供する。
【解決手段】 ２次元的に並び配された複数のミラー素子からなるＤＭＤ５の各ミラー素子にパターンデータを入力することによって、所定領域に対する所望のパターンを一括的に露光できる露光ヘッド１ａと、露光ヘッド１ａと基板１１とを相対的に走査させるためのステージ１２とを備え、走査しながら露光を行う。基板１１に形成された下層配線パターンを光の照射にてモニターすることにより下層配線パターンの位置を検出し、かつ検出結果に基づいて、ＤＭＤ５の各ミラー素子に入力するパターンデータを補正することにより上層パターンを形成するための露光位置を補正するコンピュータ７を有する。 （もっと読む）

【課題】 撮影画像にスケールを写し込むカメラと、撮影時の被写体との距離を特定するための装置とを別体として構成する。
【解決手段】
撮影レンズを備えたカメラ１００と、カメラ１００に着脱自在の画像投影装置２００とを備える。画像投影装置２００は、所定の撮影距離だけ離れた面で焦点が合うように、所定の画像を投影する画像投影手段と、撮影距離を示す情報を前記カメラへ送信する送信手段と、を備える。カメラ１００は、像撮影装置２００から撮影距離を示す情報を受信する受信手段と、撮影レンズの焦点距離及び前記撮影距離により決定される撮影倍率に基づいて定まるスケール画像と、撮影した撮影画像とを重ね合わせた合成画像を記録媒体に記録する記録手段と、を備える。
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【課題】簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、Ｏリング１００の開口部１００ａの開口方向に配置されたカメラ４と、Ｏリング１００とカメラ４との間において、カメラ４から見て開口部１００ａの外周側に配置され、開口部１００ａの内周面１００ｂの鏡像を映し出す鏡部２と、カメラ４により撮像された鏡像の画像に基づいてＯリング１００の欠陥の有無を判別する処理部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】静的部品のみの簡単な構造で、取り扱いが容易であり、しかも精度良く半導体ウェハの輪郭を検出できるコンパクトなウェハ輪郭検出装置を提供する。
【解決手段】非光学活性体である半導体ウェハ３００の一方の面側から、所定方向の偏光Ｒａを照射する光照射部１と、前記一方の面側からみてウェハ３００の外輪郭を含んでその外側まで拡がるように、当該ウェハ３００の他方の面側に配置されるとともに、前記光照射部１からの偏光Ｒａを回転又は軽減して反射する反射部材２と、前記ウェハ３００及び反射部材２からの反射光を受光可能な位置に配置され、その反射光のうちの、前記所定方向の偏光Ｒａのみ又はその偏光Ｒａを除いた光のみを検出する光検出部３と、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で露光装置のスループットを向上可能な位置計測方法及び位置計測装置を提供する。高集積度のデバイスを効率及び歩留まりよく製造可能な露光方法及び露光装置、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のフォーカス位置で、各フォーカス位置毎にＲＡマークＲＭの中心線パターンＲＭｃの像を撮像して得られた複数のマーク信号に基づいて、ＲＡマークＲＭの位置を計測するのに最適なフォーカス状態を特定する。複数のマーク信号の中から、特定された最適なフォーカス状態下もしくはその近傍のフォーカス状態下に相当するマーク信号を抽出し、該抽出されたマーク信号に基づいてＲＡマークＲＭの位置計測を行う （もっと読む）

【課題】 ダイアライザーの外観を高い検査精度で検査する。
【解決手段】 ダイアライザー検査装置は、外形が略円筒形状のダイアライザー１００の外観を検査する装置であって、円筒の中心軸と円筒の頂面とを接続した法線を含む平面上には、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０と、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０を挟むように設けられた３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０が設置されている。２台のラインセンサカメラ３１０，３２０は、法線に対して３０度ずつ左右に対称になるように配置される。また３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０は、その１台が法線上に、残りの２台が６０度ずつ法線を対称として配置される。 （もっと読む）

受け取る光の強度に応じた出力信号を出力する撮像デバイスの位置を検出する位置検出装置であって、光を発生する光源と、光源が発生する光を、撮像デバイスの上に照射する照射レンズと、照射レンズを介して受光した光に応じて撮像デバイスが出力する出力信号に基づいて、照射レンズに対する撮像デバイスの相対位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した相対位置に基づき、撮像デバイス及び照射レンズの少なくとも一方を移動させることにより、撮像デバイスの相対位置を、予め定められた位置に変化させる移動部とを備える。
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【課題】 均一でむらのないスリット光を生成できるスリット光照射装置を提供
する。
【解決手段】 本発明になるスリット照射装置は、パターン検査方法およびパタ
ーン検査装置に用いられるスリット光照射装置であって、光を照射する発光部と
、この発光部から照射された光を均一に拡散する光拡散部と、この光拡散部で得
られた均一な拡散光を受けて平行光を生成する第一の平行光生成部と、この第一
の平行光生成部からの平行光を受けて予め決められた幅のスリット光を生成する
スリット光生成部と、このスリット光生成部からの予め決められた幅のスリット
光を受けてそのままの幅の平行光を生成する第二の平行光生成部と、を具備する
ことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 ウィンドウガラスの全周でのプライマの塗布状態検査を効率よく、かつ、高い精度で行うことできるようにする。
【解決手段】 湾曲板形状ウィンドウガラス１０の周縁部に沿ってプライマを塗布する塗布工程において、情報処理装置１００及びウィンドウガラス１０の周縁部を複数のエリアＡ-１〜Ａ-８に分けて撮像可能なデジタルカメラ３００-１〜３００-８を用いて、プライマの塗布状態を検査する塗布状態検査方法であって、情報処理装置１００が、デジタルカメラ３００-１〜３００-８を用いて、プライマを塗布する前の各エリアＡ-１〜Ａ-８の画像データを取得した後、塗布工程の進行に伴って、プライマの塗布が完了したエリアの画像データを順次取得し、各エリアについて塗布後画像データと塗布前画像データとを比較する。 （もっと読む）