【課題】 大型軸受の内外輪などの大型部品の径を、容易に、精度良く、非接触で測定できる大型部品の寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 ヘッド支持フレーム１と、ヘッド支持フレーム１の両端にそれぞれ設けられた一対のレーザ測長ヘッド２，３と、レーザ光Ｌ１，Ｌ２を両レーザ測長ヘッド２，３の対向方向に反射させる一対の角度調整ミラー４，５と、反射板６と、受光信号の処理および投光の制御を行う制御手段７とを備える。制御手段７は、受光信号からレーザ測長ヘッド２，３間の距離を測定するヘッド間距離測定手段１２と、測定物で反射されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２から測定物と各レーザ測長ヘッド２，３との間の距離を検出する測定物・ヘッド間距離測定手段１３と、ヘッド間距離測定手段１２および測定物・ヘッド間距離測定手段１３の測定結果から測定物の寸法を計算する測定値計算手段１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置および向きを精度良く認識することが可能な対象物認識方法および対象物認識装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２１が対象物１を撮像することにより第一撮像画像を取得し、対象物１の二次元外形データと第一撮像画像とを比較することにより撮像装置１２１と対象物１との相対位置を判定し、当該相対位置に基づいて仮想空間に撮像装置１２１、照明装置１１０および対象物１の配置を設定し、当該仮想空間に基づいて第一仮想空間画像を生成し、第一仮想空間画像と第一撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定し、撮像装置１２１が対象物１を撮像する位置を変更して撮像することにより第二撮像画像を取得し、当該変更を仮想空間に反映して第二仮想空間画像を生成し、第二仮想空間画像と第二撮像画像とを比較することにより前記相対位置の判定結果の正誤を判定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、コンパクトかつ低コストで、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計の実現を目的とする。
【解決手段】
ある方向の直線偏光光を透過し、その方向と直交する方向の直線偏光光は反射する特性を持つ偏光光学素子１０２をミロー干渉計型光学配置で参照鏡として用い、半透鏡１０４の前後に１／４波長板１０３，１０５を挿入することで干渉計を構成するようにした。
【効果】
参照鏡が照明・結像光束を遮ることが無いことから、ミロー干渉計型光学配置であっても低倍率・低ＮＡの結像光学系に用いることができる。つまり、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計が実現できる。 （もっと読む）

被験物体からの試験光と参照光とを合成して、検出器上に干渉パターンを形成する光学系を含む広帯域走査干渉計システムから構成される装置。本装置は、共通の光源から検出器への試験光と参照光との間の光路差（ＯＰＤ）を走査するように構成されたステージと、一連のＯＰＤ増分の各々に対する干渉パターンを記録する検出器を含む検出系であって、各ＯＰＤ増分の周波数がフレームレートを定義する、検出系とを含む。光学系は、走査時のＯＰＤの変化を示す少なくとも２つの監視干渉信号を生成するように構成され、検出系は、監視干渉信号を記録するように構成される。本装置は、フレームレートより高い周波数において、ＯＰＤ増分への摂動に対する感度でＯＰＤ増分に関する情報を決定するように構成されたプロセッサを含む。
（もっと読む）

【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】長手方向にわたって細かく径が変化するワークを高い精度で測定が可能なワーク計測システムを提供する。
【解決手段】ワーク計測システム１は、第１ワーク台１１および第２ワーク台１３と、計測部５と、ディスプレイ４１とを備えている。第１ワーク台１１および第２ワーク台１３は、ワークＷを載置可能である。計測部５は、ワークＷを計測するための機構であって、ワークＷの長手方向に第１ワーク台１１および第２ワーク台１３と相対移動可能である。ディスプレイ４１は、計測部５からの計測データに基づいてワークＷの形状を表示する。 （もっと読む）

【課題】実時間（１フレーム）で、干渉範囲内の頂点位置等の検査と高さ計測を可能とするとともに、外部振動に対して、その影響の除去を電気信号処理で行なえるようにする。
【解決手段】時間相関イメージセンサ（カメラ１０）を使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、被測定物８が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段（変位センサ４２）と、該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段（参照信号発生手段５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】載置面に対する被観測物の傾きを簡易に観測する。
【解決手段】傾き検査装置２００は、載置面に載置された被観測物（切断装置１００）の載置面に対する傾きを検出するための装置である。傾き検査装置２００は、被観測物に光を照射または投影する光源２１０と、光源２１０と被観測物との間に配置され、第１の方向に延在する第１のスリットおよび当該第１の方向と垂直な第２の方向に延在する第２のスリットを含む遮光板２１８と、遮光板２１８を平面方向に回転可能に支持するとともに、第１のスリットが載置面に対して垂直な状態で遮光板２１８を固定する移動機構とを含む。 （もっと読む）

【課題】 回折格子が形成する面内の方向（Ｙ方向）の変位及びその面に垂直な方向（Ｚ方向）の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。
【解決手段】 第１乃至第３の回折光ｌ_１、ｌ_２、ｌ_３を発生させる第１回折格子ＧＢＳ０と、被計測物と共に移動可能な第２回折格子ＧＴ０と、第２回折格子で回折した第１及び第２の回折光による干渉光を受光する第１受光部ＰＤｘと、第２回折格子で回折した第１の回折光と、第１回折格子を透過した第３の回折光とをそれぞれ反射する反射部ＦＭと、反射部で反射され第２回折格子で回折した第１の回折光と、反射部で反射された第３の回折光と、による干渉光を受光する第２受光部ＰＤｚと、第１受光部で受光した光に基づいてＹ方向の変位を算出し、かつ第２受光部で受光した光に基づいてＺ方向の変位を算出する演算部ＣＵと、を有する。 （もっと読む）

【課題】鮮鋭度が極大値となる対象が複数あっても、測定対象の合焦点位置を他と誤認せずに得る合焦点方式、基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法を提供する。
【解決手段】鮮鋭度の各極大値と、予め得らた測定対象の極大値とを対比し、得らた測定対象の極大値と合致した各極大値中の極大値の位置を合焦点位置とする。閾値を超えた鮮鋭度の検出数が予測数に満たない場合、閾値を任意のステップで下げ、或いは、最小閾値まで閾値を下げる。対象が基板エッジ２と面取りコーナー１であり、高い極大値Ｎｏ２の位置を基板エッジの合焦点位置とする。上記合焦点方式を用いた基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法。 （もっと読む）

【課題】高精度の測定を効率よく行うことができる。
【解決手段】形状測定装置１１において、光学式センサ２２が、所定の波長域の測定光を被検物１２に照射し、被検物１２および光学式センサ２２は、測定光の波長域の光を遮断し、測定光の波長域以外の光を透過可能な透過窓３２および３３を有した筐体１４に収納されている。また、透過窓３２および３３は、測定光の波長域の光を反射または吸収することができる。本発明は、例えば、光学的な手法により物体の形状を三次元的に計測する三次元計測装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】追従部の摺動抵抗が可動部の位置精度へ与える影響を小さくすることができる同期移動装置を提供すること。
【解決手段】架台２にビーム支持体５１を介して支持されたＸ軸ビーム５２に移動可能に設けられた可動部であるＸスライダ５３と、Ｘ軸ビーム５２に回転自在に支持された送りねじ軸５４１と、これに螺合されたナット部材５４２と、Ｘスライダ５３およびナット部材５４２を連結するフローティングユニット７と、架台２に移動可能に設けられてフローティングユニット７に接続された追従部である追従スライダ８２とを備える。フローティングユニット７は、Ｘスライダ５３に固定された第１の部材７１と、ナット部材５４２に固定された第２の部材７２と、これらに介在して設けられ送りねじ軸５４１の振れ運動を吸収する中間部材７３とを有し、追従スライダ８２は第２の部材７２にワイヤ８３により接続されている。 （もっと読む）

【課題】曲面部材計測システム及び方法を提供する。
【解決手段】十字状レーザービーム計測器２０８の移動を制御する移動制御部２０６と、境界計測移動方向を決定する境界追跡制御部２０２と、移動制御部２０６により制御されるガントリの位置情報及び十字状レーザービーム計測器２０８から出力される計測値を用いて曲面部材の境界面に対する３次元計測データを算出する境界計測データ生成部２０４と、曲面部材内で内部計測のための両軸の経路を生成する内部経路生成部２１０と、内部計測移動方向を決定する内部高さ追跡制御部２１２と、移動制御部２０６により制御されるガントリの位置情報及び十字状レーザービーム計測器から出力される計測値を用いて曲面部材の内部に対する３次元計測データを算出する内部計測データ生成部２１４と、境界計測データと内部計測データを用いて曲面部材の３次元形状データを生成する３次元曲面生成部とを含む。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系を移動するだけで位置決めができ、迅速に精度よく膜厚を測定することができる光干渉計及びそれを用いた膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 波長スペクトルの狭い狭波長帯域をもつ狭波長帯域の光源１１から射出された光束は、光束分岐手段２０を経て光束分割合成手段３１に入射し、参照光路３０の光束は、参照鏡３４で反射し、光束分割合成手段３１に入射し、測定光路５０に分割された光束は、被検物６０の面で反射し、光束分割合成手段３１に入射し、光束分割合成手段３１で、参照光路３０の光束と測定光路５０の光束とが合成され、合成された光束は、光束分岐手段２０を経て光電変換手段７０に入射することを特徴とする。 （もっと読む）

装置、方法およびコンピュータアクセス可能な媒体が設けられうる例示的な実施形態は、構造の少なくとも１つの特徴の決定を容易にすることができる。例えば、第１の軸に沿う少なくとも１つの第１の透過された放射と、第２の軸に沿う少なくとも１つの第２の透過された放射とを提供するように構築された少なくとも１つの第１の構成部を用いることができる。第１および第２の透過された放射は、構造に衝突し、第１および第２の戻り放射それぞれを生成することができる。第１および第２の軸は、互いに対して０より大きい所定の角度で設けられることができる。さらに、少なくとも１つの第２の構成部は、第１および第２の戻り放射に関連付けられたデータを受信するように構成され、かつ第１および第２の軸に沿う構造と少なくとも１つの構成部との間の少なくとも１つの相対速度を決定するように構成されることができる。 （もっと読む）

【課題】
従来技術による中空形状の測定方法は、物体の中空形状を一度に得ることができず、物体や光源を回転させる必要があり、装置が複雑になるだけでなく、精度面での問題もあった。
【解決手段】
本発明に係る測定装置は、中空筒状の被測定物の内側形状を測定する測定装置であって、前記中空筒状の軸方向である第１の方向に光を送光する送光部と、前記光を前記第１の方向と略直交する方向に前記光の進行方向を変換する変換部と、前記変換部で変換された前記光が前記第１の方向において区別可能に物理的変調を与える変調部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光の合焦情報と前記物理的変調の情報とを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、被対象物に対する機械的誤差を実時間で補正しながら被対象物の表面座標を精密に測定することができる構造の基準板を用いた３次元座標測定機に関するもので、被対象物の上方に配置されてＸ軸ステージ軸上に左右に移動自在な状態で設置される測定部と、測定部の上方に配置されて固定される基準板とを備え測定部が、測定部と基準板との間の距離及び測定部と被対象物との間の距離を実時間で測定してＸ軸ステージの機械的誤差を補正して精密に測定するように設計されているものである。 （もっと読む）

【課題】光切断法による三次元形状計測において、ワークに照射されるスリット光について存在する曲がり等の形状歪みに対する処置をシステマチックにすることができるとともに、スリット光の形状歪みに起因する計測誤差を低減することができ、計測の安定性や汎用性を向上することができる三次元形状計測方法を提供すること。
【解決手段】基準平面３１を有する平面基準板３０を用い、基準平面３１に対して一定のスリット光１１を照射した状態で、基準平面３１に形成されるスリット断面線２２の撮像を、平面基準板３０の様々な位置姿勢について行うことにより、各位置姿勢についてのスリット断面線２２を取得し、これら複数のスリット断面線２２が近似的に適合する共通の曲面を導き、スリット光１１のスリット面形状を前記曲面としてモデル化し、ワークの三次元形状を計測するに際し、スリット光１１のスリット面形状を、モデル化した前記曲面とする。 （もっと読む）

【課題】 ２次元光電変換素子を利用した光切断方式の３次元形状測定において、高精度な測定を行うこと。
【解決手段】 スリット形状を有し、かつ、スリットの長手方向と垂直な方向の強度がガウス分布を有する光ビームを、被検物体に対して第１の方向から投光する投光手段と、投光手段と被検物体との相対位置を変更する変更手段と、少なくとも一部の領域の光電変換に対数特性を有する２次元光電変換素子を有し、被検物体から反射した光ビームの像を、第１の方向と異なる方向から２次元光電変換素子により撮像する第１の撮像手段と、第１の撮像手段の出力に基づいて、被検物上における光ビームの位置を検出する検出手段と、複数の異なる相対位置における検出手段による検出結果に基づいて、被検物体の３次元形状を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
従来技術による中空形状の測定方法は、物体の中空形状を一度に得ることができず、物体や光源を回転させる必要があり、装置が複雑になるだけでなく、精度面での問題もあった。
【解決手段】
本発明に係る測定装置は、中空筒状の軸方向である第１の方向に光を送光する送光部と、前記第１の方向と略直交する方向に前記光の方向を変換する変換部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部と、前記被測定物の内側の全周に亘る前記ずれの偏りを小さくする位置調整部とを設けた。 （もっと読む）