【課題】高精度な位置の測定を行う。
【解決手段】露光装置１００には、レチクルステージＲＳＴの位置情報を測定するため、エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xを備えるエンコーダシステム１６が設けられている。エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xのプローブ部１９_Y1、１９_Y2、１９_Xから発生られるレーザプローブは、スケール１８₁上のパターンの配列方向に沿って振動し、その位置情報を含み、プローブの振動により変調された信号を出力する。変調された信号は、振動周波数の高調波によりその位相が検出され、その検出結果に基づいてレチクルステージＲＳＴの位置情報が検出される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で光軸ずれを迅速に調整して検査対象の表面形状を求めることができる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検査対象の表面検査を行うための検査光を発光する光源４と、前記検査光を検査対象物に照射する照射手段５と、検査対象物の検査部位から反射する検査光を受光する受光手段８と、前記受光手段８の共焦点を生成しその共焦点位置における検査光の形状を計測する形状検出手段２６と、前記受光手段８を検査対象面Ｄの垂直方向に走査する垂直方向走査手段２０と、前記受光手段８を走査して計測される検査光の形状から検査部位の表面形状を求める形状演算手段１９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ＯＣＴ計測において光ファイバを用いた場合であっても光ファイバの波長分散による分解能の劣化を防止する。
【解決手段】 光源ユニット２から射出された光Ｌが光分割手段３により測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割され、光路長調整手段１０により参照光Ｌ２の光路長が調整される。一方、測定光Ｌ１はプローブ２０により測定対象Ｓまで導波される。そして、測定光Ｌ１が測定対象Ｓに照射されたときの測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とが合波され、その干渉光Ｌ４が干渉光検出手段８において検出される。この干渉光検出手段により検出された干渉光Ｌ４から測定対象Ｓの断層画像が画像取得手段９により取得される。ここで、プローブの光ファイバによる波長分散は分散補償手段により補償される。 （もっと読む）

記載無し。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状計測方法及び三次元形状計測装置において、簡略化した構成を提供することを目的とする。
【解決手段】 投光部１０１（点光源）から発せられた照明光は、第１照明光変換部１０２によって構造化され、第２照明光変換部１０３によって再構造化されたのち、被写体２００に投影される。第１照明光変換部１０２と第２照明変換部１０３は平行に配置され、撮像部３００は、投光部１０１から発せられ、構造化された照明光が被写体２００に投影されている状態を撮像することができる。また、撮像部３００と投光部１０１との位置関係は予め測定しておき、移動装置１０４は、第２照明光変換部１０３を第１照明光変換部１０２とを平行に保ち、第１照明光変換部１０２と第２照明光変換部１０４との距離を保持する方向に移動させることができ、撮影スイッチ３０１を押下すると撮影を開始する。 （もっと読む）

【課題】部品の厚さに関係なく、焦点の合った部品画像を取得できる部品の画像取得方法及び装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズル１ａで吸着した部品３０が、撮像装置２０上方から撮像装置の合焦面Ｆ２に向けて下降され、部品の下面が、合焦面より所定距離Ｌ１上方にある検出面Ｆ１を通過したか否かが検出される。部品下面が検出面Ｆ１を通過後、吸着ノズルを更に所定距離Ｌ１下降させて停止させ、その停止位置で部品を撮像する。このような構成では、部品の厚さに関係なく、部品の被撮像面（下面）を撮像装置の合焦面に一致させて部品を撮像することができるので、部品の厚さが変わっても、常にピントの合った部品画像を取得でき、部品認識精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において外乱光および光源の散乱光の影響を除去した周期パターンムラ検査装置を提供する。
【解決手段】撮像側平行光学系３１を備え画像を撮像する手段を具備する撮像部３０と、検査対象基板５０を載置し、Ｘ軸及びＹ軸方向に駆動する手段を具備するＸＹステージ２０と、先端に固定した照明側平行光学系１１が設けられ照明側平行光学系を、ＸＹステージに載置した検査対象基板に対し上下方向角度及び平行方向に駆動が可能でありかつ載置した検査対象基板に対して照明の照射位置が一定である様に制御可能な照明光源を備えた照明駆動部１２を具備する斜め透過照明部２０と、照射側平行光学系とＸＹステージの間に配された偏光フィルター３５’及び反射防止膜３６’と、ＸＹステージと撮像側平行光学系の間に配された偏光フィルタ３５ー及び反射防止膜３６とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 非接触式測定装置において、測定対象物のエッジを、より正確に測定できるようにすること。
【解決手段】 測定部１１２の光源１１３から出力した測定用光は、光反射部１０８の反射ミラー１１１によって測定対象物３０１の測定点方向に反射され、測定対象物３０１の測定点で反射した測定用光は反射ミラー１１１によって反射されて光検出素子１１４によって検出される。光反射部１０８は測定対象物３０１に沿って移動駆動され、測定対象物３０１までの測定距離の直前測定値と今回測定値の変化が所定値以下の場合（領域Ａ、Ｃ）、反射ミラー１１１は測定用光を測定対象物３０１に対して垂直方向に反射して測定を行い、エッジ３０３、３０４の存在によって前記変化が所定値を越える場合（領域Ｂ）には、移動速度を所定値以下にすると共に、モータ１０９によって反射ミラー１１１を所定角度ずつ回転させることによって光軸３０５を傾けながら測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学装置本体３０は光を出射する投光部３１と、コリメータレンズ３５と、対物レンズ３７とを備えるとともに、イメージセンサ５１、受光ピンホールアレイ５５並びに、導光手段４１を備える。そして、ワークＷの３次元的な形状を計測するのに、光をワークＷ上に走査させているが、この走査をコリメータレンズ３５を進退させて行なっている。そして、このときには、コリメータレンズ３５と同期したタイミングでイメージセンサ５１を進退させる必要があるが、本実施形態ではコリメータレンズ３５とイメージセンサ５１とがスライダ６３によって連結され一体的に進退するから、同期をとるための機構を必要としない。従って、比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学装置本体３０は光を出射する投光部３１、対物レンズ３９、イメージセンサ５１、受光ピンホールアレイ５５並びに、第一の導光手段４１、第二の導光手段４５を備える。そして、ワークＷの３次元的な形状を計測するのに、光をワークＷ上に走査させているが、この走査を投光ピンホールアレイ３５を進退させて行なっている。そして、このときには、投光ピンホールアレイ３５と同期したタイミングで受光ピンホールアレイ５５を進退させる必要があるが、本実施形態では受光ピンホールアレイ３５と投光ピンホールアレイ５５とがスライダ６３によって連結され一体的に進退するから、同期をとるための機構を必要としない。従って、比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】 コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。図から明らかなように、光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。このようにして、位置計測の基準となる光ビームの振動中心位置が、検出ヘッドに対して常に一定に保たれるので、雰囲気温湿度が変化したような場合でも、光ビームの振動中心位置変動に伴う測定誤差が発生することが無くなり、精度が悪化することがない。 （もっと読む）

【課題】 載物ガラスの平面度を保ちつつ載物ガラス上の被測定物を鮮明に透過照明できる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 載物部２２０は、開口２４０する収納空間２６０を有する基台部２３０と、上面にワークが載置される載置面２８１を有し、かつ、基台部２３０の開口２４０を覆う位置に配設された載物ガラス２８０と、収納空間２６０内において移動自在に配設されているとともに載物ガラス２８０を通してワークを透過照明する照明手段２９０と、開口２４０を横切って架け渡され載物ガラス２８０を支持する支持板３００と、を備える。支持板３００は、厚み寸法ａに対して高さ寸法ｂが大きい扁平形状であり、かつ、その高さ方向（ｂ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に垂直な方向とするとともにその厚み方向（ａ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に平行な方向として配設されている。 （もっと読む）

【課題】装置構成の低コスト化と省エネルギー化を図り、複数の撮像条件の撮像を１度の副走査で行えると共に、複数の被観察物に対して同時に表面検査が行えるようにする。
【解決手段】回転する感光体ドラム１２に対して光源１１から間欠的に光を照射し、その正反射光部である輝線１２ａからの反射光を第１の撮像素子１４が撮像して得られる情報を照射タイミング調整部１６に送り、光源１１の照射タイミングを調整する。その際、観察条件変更部１５は、感光体ドラム１２の回転振れや表面形状変換による反射方向の輝線１２ａの変動に対して、一定の検出感度を実現するために、定常的に副走査方向に光源１１や撮像素子を周期的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 金属板の表面全体において鮮明な撮像画像を得ることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】 撮像手段２の撮像方向を変更し、その変更量を示す撮像方向変更量信号Ｓ１を撮像方向変更手段４及び演算手段１４へ送信するコントローラ１２と、撮像方向変更量信号Ｓ１に基づいて撮像手段２の撮像方向を変更する撮像方向変更手段４と、撮像方向変更量信号Ｓ１に基づいて、光源６による光の照射方向が撮像手段２の撮像方向に対する正反射方向となる光源６の位置及び光の照射方向の変更量を演算し、光源位置変更量信号Ｓ２を駆動部１８へ送信するとともに照射方向変更量信号Ｓ３を照射方向変更手段１０へ送信する演算手段１４と、光源位置変更量信号Ｓ２に基づいて光源６の位置を変更する駆動部１８と、照射方向変更量信号Ｓ３に基づいて光源６による光の照射方向を変更する照射方向変更手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ上のパターンを検査装置から得られる画像から製作することによって、実際のウエハ上で問題となる欠陥のみを抽出して検査を行なう。
【解決手段】 パターンの設計データと取得した画像パターンとを比較して該被測定試料に形成されたパターンの欠陥を検査する方法と装置において、該被測定試料は、所謂ホトマスクであり、該パターンの設計データはホトマスクを製作する時に製作された設計パターンを用いて、該取得画像と比較する事によって検査が実行される過程で、設計データはホトマスクを実際にウエハ上にパターン形成する際に用いられるステッパを通して形成される像（今後、ウエハ像と呼ぶ）に、適切な方法で変換するとともに、同時に実際に測定された取得画像を適切な変換方法でウエハ像に変換し、その両者を比較することによって欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 騒音が小さく、リブのトップ面の突起部を正確に除去することが可能なパターン修正方法を提供する。
【解決手段】
このパターン修正方法では、その先端部が研磨テープ４０の裏面に当接される研磨ヘッドピン４１をＺ方向に移動可能に設けておき、上方からリブ１３の正常なトップ面５５に向けて研磨テープヘッドを下降させ、研磨ヘッドピン４１が基準位置よりも上方に移動開始したときのＺ座標Ｚ１を検出し、そのＺ座標Ｚ１に基づいて、突起部５６を上方から正常なトップ面５５まで研磨する。したがって、研磨テープ４０を用いるので、騒音は小さい。また、正常なトップ面５５の高さＺ１を正確に検出できる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等、微小なセル状の領域に薄膜が形成された被測定物の膜厚を分光反射干渉法で測定する際、正確な測定位置決めを行い、セル領域の色の測定への影響の無い膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】測定するセル近傍に測定ヘッドを配置し、撮影用光源で照明して近傍を撮像し、撮影画像データから微細な位置ずれを計算して位置修正を行った後、照明光源を９００ｎｍ以上の波長の赤外光の微小スポット測定用光源に切り替え、その反射光を測定して膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体微細加工により半導体集積回路装置、ＭＥＭＳなどの素子を形成する際に、簡単に素子の形状の良否を判定できるようにする。
【解決手段】 予め、半導体微細加工により水晶、ガラス、半導体等の基板（半導体基板２）上に形成された所定形状の素子（三次元素子２ａ）の振動の挙動を求めてこれを素子形状判定のための判定基準とし、この判定基準に前記基板と同じ半導体微細加工により他の基板上に形成された素子の振動の挙動を対比して両者が合致したときに、この素子の形状が判定基準とした素子の形状と同じであると判定する。 （もっと読む）

【課題】 安定して正確な形状の識別が可能であり、しかも、破損損傷しやすい、例えば、みかんなどの青果類など浮皮の有無を識別する場合においても、青果類の表面を破壊することなく、青果類に対して、接触せずに連続的に正確な形状の測定が可能であり、しかも見た目にも歪曲していびつな外観をした青果類の選別が可能な青果類の形状選別装置および形状選別方法を提供する。
【解決手段】 被測定青果類に対して測定用光を照射する照射部と、前記被測定青果類に照射された測定用光を受光する受光部と、前記受光部により受光された測定用光を数値化し、予め用意されている正常な青果類の形状データとを比較することにより形状を判定する演算装置とを備える青果の形状選別装置により、精度良く形状を判定する。 （もっと読む）

【課題】 散乱光の集光のための素子を要せずに高解像度で表面の凹凸を測定可能な表面測定装置および表面測定方法を実現する。
【解決手段】 本発明の表面測定装置は、測定面１７をｘ方向またはｙ方向に動かしながら、レーザー光源２１から光を測定面１７に当て、その反射光を受光部の受光面３１に照射する。照射点である点Ｑ（Ｘ、Ｙ）の座標を測定し、そこから、測定面１７の各点における、ｘ方向やｙ方向の角度を計算し、ｘ方向・ｙ方向の幅データも用いて微小な高さを求める。その微小な高さを、目標地点まで足し合わせていって、その地点の高さ（凹凸）を得る。 （もっと読む）