【課題】誤測定しやすい測定領域が存在する測定対象物であっても、物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供することである。
【解決手段】物体形状評価装置は、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の前記測定点データと前記基準点データとに基づいて前記測定対象物の形状を評価する形状評価手段６とを備えている。位置合わせ処理手段５０は、測定点データから測定対象物のエッジに対応するエッジ点を検出するエッジ検出部によって生成されたエッジ点群と、エッジ基準点群とを位置合わせするエッジ位置合わせを行い、当該エッジ位置合わせによって得られたエッジ合同変換パラメータを用いて測定点データ全体の測定点が基準点に向かう位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ容易にワークの変位量を検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】非接触変位計測装置は、ワーク１２を載置可能に構成された測定テーブル１３と、ワーク１２の変位量を計測する第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃと、Ｙ軸に沿って測定テーブル１３から相対移動可能に構成され、Ｚ軸方向に広がり且つＸ軸方向の測定テーブル１３の両端に端部を有するゲート形状を有する第１ゲート状駆動部１４Ａとを備える。第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃは、ワーク１２に光を照射すると共にその光に基づく反射光を受光し且つその反射光に基づきワーク１２の変位量を計測する。第１ゲート状駆動部１４Ａは、ワーク１２に対して少なくとも２方向からの光を照射させるように第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃを配置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に機能層が形成されたウエーハの内部に機能層を損傷することなく変質層を形成することができるレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】基板の表面に機能層が積層された基板の内部にレーザー光線を照射し、基板の内部にストリートに沿って変質層を形成するレーザー加工方法であって、レーザー加工装置のチャックテーブル上にウエーハを基板の裏面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、保持されたウエーハの基板の裏面側から照射し、基板の裏面および表面で反射した反射光に基づいてチャックテーブルの上面から基板の裏面までの第1の高さ位置およびチャックテーブルの上面から基板の表面までの第２の高さ位置を計測する高さ位置計測工程と、計測された第1の高さ位置と第2の高さ位置との中間部にレーザー光線の集光点を位置付けて照射することにより基板の内部に機能層に達しない変質層を形成する変質層形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の特徴である可干渉性を利用して被測定物の厚みを高精度に測定する厚み測定方法及び厚み測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る厚み測定方法及び厚み測定装置によれば、測定光を分割し、第１測定光を被測定物６の第１測定点Ｓ１に照射し、第２測定光を裏面に位置する第２測定点Ｓ２に照射する。そして、これらの干渉光の明部のピーク位置とその位置における干渉光の対称性に基づいて、第１測定光、第２測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。そして、その位置に基づいて被測定物６の厚みｔを測定する。よって、レーザ光の可干渉性を用いた高精度な厚み測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】自己位置推定機能と足元の障害物検出機能とを良好に両立させること。
【解決手段】非接触式の距離センサ１７と、移動状況に関する所定の条件に基づいて、足元の障害物検出処理か自己位置推定処理のいずれの処理を実行するか判定する判定部５８と、足元の障害物検出処理を実行する場合に、距離センサ１７からの測定信号の方向を足元付近に向けて変化させ、自己位置推定処理を実行する場合に、測定信号の方向を遠方の対象物を測定可能となる向きに変化させる反射部１９と、距離情報に基づいて足元の障害物を検出する足元障害物検出部５７と、距離情報に基づいて自己位置を推定し、移動量から求めた自己位置を、推定した自己位置を用いて補正する自己位置推定部５５と、検出した障害物情報と、補正した自己位置とに基づいて、移動装置２３の制御を行う走行制御部５９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ＧＰＳが利用できないトンネル内において、距離メータなどの機械的計測により得た入力データに対してＧＰＳや距離メータ等に起因する誤差を正確に補正する。
【解決手段】 走行する車両に搭載された距離メータやジャイロ装置などの位置検知手段２１０により測定した原座標系の位置データと、車両に搭載された壁面検知手段１２０により位置データと同期させた原座標系のトンネル内面点群データをデータ入力部１２０を介して入力する。入口被検知板３１０に関するＧＰＳでの計測データと既知の位置データの差分からＧＰＳの誤差を補正し、出口被検知板３２０に関する距離メータの計測データと既知の位置データの差分からトンネル内で距離メータの誤差により蓄積したトンネル内計測誤差の総計を算出し、キロポスト上の任意の点に対してはトンネル内計測誤差を按分して補正する。 （もっと読む）

【課題】 視準校正のための誤差を高精度、容易かつ短時間に確認できるレーザ視準校正システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ視準校正システム１は、視準校正のための誤差６９を算出及び表示する。レーザ視準校正システム１は、レーザユニット１０が配設され、レーザ光線の照準を設定するためのレチクル２０ａを有する照準ユニット２０と、レチクル２０ａに対応するレチクル３０ａを有し、レチクル２０ａがレチクル３０ａと同軸上に配設され、レチクル２０ａとレチクル３０ａとによって照準が設定された状態でレーザ光線を受光する受光ユニット３０と、照準が設定された状態で、受光ユニット３０が受光したレーザ光線の受光ユニット３０における受光位置を基に、レーザ光軸の視準校正のための誤差６９を算出し、算出された誤差を表示する算出表示ユニット５０とを有している。 （もっと読む）

【課題】測定対象５が受ける光の照度や照射方向の変化の影響を受けない、安定した計測ができる、ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４は、測定対象５の所定領域６を表面高さ計測器２で計測して得られた当初表面高さ分布から、所定領域６の点Ａ，Ｂをそれぞれ包含する微小領域ａ，ｂの表面高さ分布を抽出する微小領域抽出手段、所定領域６の、経時後表面高さ分布上の、前記微小領域ａ，ｂに最も近似する微小領域ａ’，ｂ’内にあって、前記微小領域ａ，ｂにおける前記点Ａ，Ｂに対応する点Ａ’，Ｂ’の座標を算出する座標算出手段、及び測定対象５の線分ＡＢ方向のひずみを算出するひずみ算出手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】夜間または濃霧などの視界の悪い状況下で、車両前方の路面領域を画像表示することができ、これにより舗装路、未舗装路を区別することなく移動体を操縦することができる車両操縦用画像表示装置および方法を提供する。
【解決手段】車両１に搭載された赤外線カメラ１０により車両前方の特定範囲の赤外線画像２を撮影し、車両に搭載された３次元形状測定装置２０により前記特定範囲の３次元形状３を計測し、演算処理装置３０により３次元形状から車両が通りやすい路面領域４を検出し、赤外線画像２上において路面領域が滑らかに見えるように画像処理した補正赤外線画像５を形成し、表示装置４０により補正赤外線画像５を表示する。 （もっと読む）

【課題】測定者に負担を掛けることなく、傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物を良好に測定可能な光学式変位測定器を提供。
【解決手段】測定面から反射フォーカシング光に基づいて対物レンズ１７０の焦点位置を測定面に一致させる手段を備えた光学式変位測定器。フォーカシング光とは異なる波長の参照光を発する参照光用光源３１０と、参照光を測定面に照射するとともに測定面からの反射参照光をフォーカシング光と分離する波長分岐型ビームスプリッタ３３０と、分離参照光に基づいて測定面の傾き方向を検出する傾き方向検出手段３４０と、フォーカシング光および参照光の光路中において参照光を透過するとともに、フォーカシング光を遮光するフォーカシング光遮光体４１０と、傾き方向検出手段によって検出された測定面の傾き方向に応じて回転駆動機構４２０を介して遮光体を回転させる制御手段５００を備える。 （もっと読む）

【課題】鋼管の横断面内の複数箇所における外径や肉厚を簡易にかつ十分な測定精度で自動測定を行う。
【解決手段】外径、肉厚測定用の第１の外側、内側レーザ距離計１，１Ａを第１の直線１３上に、位置合わせ用の第２の外側レーザ距離計２を第１の直線１３と直交する第２の直線１４上に、かつこれらを同心円上に、配置して、枠体３で支持し、枠体３を枠体回転手段、枠体移動手段、および、前後進手段で、全てのレーザ距離計の同心回転、第２の直線１４の方向、および、同心円の直交方向の移動を可能とした。 （もっと読む）

【課題】角度分解能を損なうことなく微小な被測定物の傾斜角度を広い角度範囲で高精度に測定することができる角度測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物６に光ビーム１３を出射する光出射手段１１と、被測定物６からの反射光ビーム１３Ａを受光する光受光手段１２と、光出射手段１１から出射した光ビーム１３を被測定物６に照射し、被測定物６の測定面からの反射光ビーム１３Ｂを光受光手段１２に導く光ファイバ１４と、光ファイバ移動機構１９と、被測定物移動機構２１と、光ビーム１３のスキャン角度と結像位置の関係に線形性を付与するレンズ２０と、光受光手段１２によって受光した反射光ビーム１３Ｂの強度から被測定物６の傾斜角度を算出する測定部１５等を備えている。レンズ２０としては、テレセントリックＦ−θスキャンレンズが用いられる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの回転に影響されることなく実装対象物および被実装対象物にそれぞれ設けられたアライメントマークを上方から認識手段により読取りつつ、ヘッドを回転することにより実装対象物および被実装対象物の回転方向における相対的な位置調整を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】空間ＯＳにヘッド２と非接触状態で２視野光学系レンズ１４ａが挿入されてアライメントマーク２０ａ，２２ａが上方から光学的に読取られるため、ヘッド２が回転しても、２視野光学系レンズ１４ａによる光路の変換方向がＣＣＤカメラ１４ｂに向かう方向からずれないため、ヘッド２の回転の影響を受けることなくアライメントマーク２０ａ，２２ａを上方から上下マーク認識手段１４により読取りつつ、部品２０および基板２２の回転方向における相対的な位置調整を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置の測定精度を少ない工数で容易に確認することができる精度判別方法、精度判別装置及び精度判別基準治具を提供する。
【解決手段】一定の広さの視野内に位置される被測定体に線状光発生手段３からの線状光４を照射して被測定体を撮像する精度判別において、線状光４が照射される照射面を線状光４の延長方向に沿うように連続した凹凸部１０ｊで形成された基準治具１０を視野内の目標位置に位置させるように、基準治具１０を保持して駆動する治具駆動手段３０と、基準治具１０の照射面に線状光４が照射されるように線状光発生手段３を保持する保持手段４０とを備え、この線状光４が照射された凹凸部１０ｊを撮像手段５で撮像し、表示手段７で撮像された凹凸部１０ｊを変換テーブル６ｆで実寸法に変換された画像断面図形としてモニタ表示して、この表示された画像断面図形と実際の凹凸図形を対比して形状測定装置の精度判別をするようにした。 （もっと読む）

【課題】表面に凹面が生じているような被測定物にも対応でき、外部の基準原器を用いることなく被測定物の外形情報を得る。
【解決手段】被測定物２を回転台１の上にのせロータリーエンコーダ４により回転台１の回転角を計測しつつ外部に設置した非接触距離センサ５により被測定物２の表面までの距離を計測して１回目の計測結果を得、被測定物２を任意に移動させた後に同じ計測を行って２回目の計測結果を得、パーソナルコンピュータ７で１回目と２回目の計測結果から得られる被測定物２のそれぞれの外形形状が一致するように１回目と２回目の計測結果を演算処理して被測定物２の外形情報を求める。 （もっと読む）

【課題】大気圧の変動に拘わらず高精度な撮像が可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】三次元形状測定装置１に搭載された撮像装置１０は、測定対象物体２からの光を受光して結像させる撮像光学系１５と、撮像光学系１５により結像した測定対象物体２の像を撮像する撮像素子２０と、大気圧を測定する大気圧測定部２５とを備え、撮像光学系１５の少なくとも一部を密閉状態にする密閉部３１と、大気圧測定部２５により測定された大気圧に基づいて、撮像光学系１５における密閉部３１に密閉された部分の気圧を制御することにより、大気圧変動に伴う撮像光学系１５の撮像倍率の変化を補正する圧力制御部３２とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】検査速度及び検査信頼性を向上できる印刷回路基板の外観検査システム及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の外観検査方法は、検査対象物の全体検査領域を第１領域と第２領域とで区分する段階と、異なる照明を使用する第１カメラと第２カメラとで検査対象物の全体検査領域を撮像する段階と、上記第１カメラから獲得された第１イメージを有して第１領域の良好或いは不良の可否を判断し、上記第２カメラから獲得された第２イメージを有して第２領域の良好或いは不良の可否を判断する判別段階を包含する。 （もっと読む）

【課題】腺管構造の３次元的な構造を解析し、該腺管構造を有する計測対象の内部状態を所望の色調を反映させたカラー画像により容易に診断する。
【解決手段】ＯＣＴプロセッサの処理部２２は、光構造情報検出部２２０、腺腔抽出手段及び色調切り替え手段としての腺腔抽出部２２１、閾値格納部２２２、抽出領域設定手段としての抽出領域設定部２２３、領域情報演算手段としての領域情報演算部２２４、平行断層画像生成手段としての平行断層画像生成部２２５、カラーマップ格納部２２６、色調編集手段としての色調編集部２２７、表示制御部２２８及びＩ／Ｆ部２２９を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 大型軸受の内外輪などの大型部品の径を、容易に、精度良く、非接触で測定できる大型部品の寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 ヘッド支持フレーム１と、ヘッド支持フレーム１の両端にそれぞれ設けられた一対のレーザ測長ヘッド２，３と、レーザ光Ｌ１，Ｌ２を両レーザ測長ヘッド２，３の対向方向に反射させる一対の角度調整ミラー４，５と、反射板６と、受光信号の処理および投光の制御を行う制御手段７とを備える。制御手段７は、受光信号からレーザ測長ヘッド２，３間の距離を測定するヘッド間距離測定手段１２と、測定物で反射されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２から測定物と各レーザ測長ヘッド２，３との間の距離を検出する測定物・ヘッド間距離測定手段１３と、ヘッド間距離測定手段１２および測定物・ヘッド間距離測定手段１３の測定結果から測定物の寸法を計算する測定値計算手段１４とを有する。 （もっと読む）