【課題】 プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにする。
【解決手段】 プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面に異物が存在するか否かを検査する。
【解決手段】 基台１上に設けられた口金部２と、図示しない駆動源によって所定方向に往復動可能な基板支承台３と、基板支承台３に吸着状態で支承される基板４と、口金部２と平行に半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器５と、この半導体レーザー光を受光する受光器６とを有している。 （もっと読む）

【課題】例えば溝形成装置や切断装置などの各種加工装置で所定の加工処理を行っている際に、当該各種加工装置にセットされた対象物の表面形状を非接触で且つ直接測定する。
【解決手段】ガイドローラ６の表面に形成された複数のＶ溝８の表面形状を非接触で且つ直接測定する溝形状測定機構と、複数の切削刃１８の表面形状を非接触で且つ直接測定する切削刃形状測定機構とが設けられている。溝形状測定機構及び切削刃形状測定機構は共に、複数のＶ溝８及び切削刃１８の表面形状を光学像データとして取り込んで、当該光学像データに基づいて各Ｖ溝８及び各切削刃１８の表面形状を測定することができる。 （もっと読む）

物体の表面形状又は物体までの距離は、スリット形状の断面と、該スリットの幅方向（＝走査方向）の強度分布とを持つ照明ビーム（２）で表面（３）を走査し、多数の画素（５１）を有するイメージセンサ（５）上に前記表面を映すことによって正確に決定され得る。センサ画素がいつ極大放射線強度を受け取るかを決定することによって、前記センサ画素と関連する照明される表面領域（３１、３２）の前記走査方向（ｘ）における位置が、決められることができ、この領域の高さが三角測量計算によって測定され得る。
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レーザビームの焦点位置を検出するために、まずレーザビーム（４）により複数のラインパターン（Ｌ１〜Ｌ９）をパターン基板（５）の表面に形成し、このときレーザと基板表面との間隔（Ｚ）をステップごとに変化する。その後、個々のライン（Ｌ）の幅（ｂ）を測定し、幅（ｂ５）が最小のライン（Ｌ５）を検出する。最小のライン幅に所属する高さ調整を機械の焦点調整として評価し、記憶する。
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【課題】 本発明の目的は固定側と回転側間の信号伝達を非接触で行うことのできる検出器回転型の表面性状測定装置を提供することにある。
【解決手段】 固定側（１２）に対して非接触で回転運動する回転側（１４，１６）に設置され、被測定物の表面の凹凸による変位情報を検知する変位検知手段（１８）と、
固定側（１２）に設置され、光源（２２）からの光を測定光と参照光とに分割し、測定光を変位検知手段へと送り、光路長変化として変位情報を取得した変位測定光と参照光とを干渉させて光路長情報を取得する光波干渉手段（２０）と、
回転側（１４，１６）に設置され、変位検知手段と光波干渉手段とを結ぶ光の通路となる導光路と、を備え、
光波干渉手段からの測定光は導光路を通り変位検知手段へと至り、変位検知手段にて前記変位情報を取得した変位測定光とされ、変位測定光は再び導光路を通り光波干渉手段へと戻り、そこで検知した干渉縞情報から変位情報を得ることを特徴とする表面性状測定装置（１０）。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、テープになるべく余分な力を付与せずに、湾曲、幅変動などのテープ形状を測定可能とするテープ形状測定装置を提供する。
【解決手段】 磁気テープＭＴの形状を測定するテープ形状測定装置Ｓ１であって、磁気テープＭＴを吸着するため、帯電可能かつ平坦な吸着面１０ａを有する吸着台１０と、磁気テープＭＴと吸着面１０ａとの間で吸着面１０ａに沿って磁気テープＭＴの長手方向にスライド自在であり、磁気テープＭＴを吸着面１０ａから離間させて磁気テープＭＴの吸着を案内する案内部材２１と、吸着した磁気テープＭＴを押圧し、磁気テープＭＴと吸着面１０ａとの間の空気を押し出す空気押出手段３０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】フォーカス調整装置を備える顕微鏡と光波干渉計とを備えた光学的測定装置においてより高い精度の測定が実現すること。
【解決手段】 顕微鏡が共焦点オートフォーカス顕微鏡として形成されるとともに、光源から発したフォーカスビームが対物レンズ１２を経て物体１とフォーカス検出器８とにフォーカスされるとともに、フォーカス調整装置１８とフォーカス検出器８とに連携しているフォーカス制御装置１７に前記フォーカス検出器８が測定信号を出力することで、この測定信号に応じてフォーカス制御装置１７が物体１の測定点が対物レンズ１２の焦点に位置するようにフォーカス調整装置１８を制御するように構成され、かつ光波干渉計はフォーカスビームをつくり出すための光源である。 （もっと読む）

【解決手段】アイテムの未切断選択セグメントの重量又は価格を表示する装置及び方法は、位置指示部材を、支持面上に位置するアイテム上方を通過させることを含む。位置指示部材は、一つ以上のセンサを有し、そのセンサが、上記部材が基準位置からアイテム上方の選択された他の位置まで横断される際に、アイテムの連続する横断面輪郭に対応し、アイテムの選択セグメントを規定する信号を生成する。同時に、好ましくは一つ以上の微小構造電子機器（ＭＥＭＳ）加速度計装置から構成された作動検出器配置構造は、アイテムに沿って位置指示器支持部材が移動したときにその作動に対応する信号を生成する。これらの信号は、指示部材の選択された連続位置間に位置するアイテムの未切断選択セグメントの体積を決定すべく、信号処理装置で処理される。これらの累積的な体積決定のそれぞれは、数値重量に変換される、又は、特定のセグメントをアイテムから切断する前に、重量又は価格の情報が見ている顧客に同時に提供される。可視光帯は、センサ・バーからアイテムの特定のタイプの密度要素に基づく部分価格値上に投影され、それにより、部材が上記アイテムに沿って横断されたときに数値的な重量又は（重量に基づく）価格値が表示され、したがってアイテムのオペレータが数値表示に対応する選択セグメントの境界を観察者に明確に示すことが可能となる。 （もっと読む）

コンポーネントの光精密測定装置及び方法。本方法では、光プローブがコンポーネントに対してある場所に設けられ（１２０）、光源ビームがコンポーネントに向けられる（１２２）。偏差が検出され（１２０）、コンポーネント特性データセット内に記憶される（１２６）。光源はコンポーネントに対して他の場所に移動され、追加的なデータが得られる（１３０）。本装置は、光源ビーム（３８）をもたらす光プローブ（２４）と、光プローブ（２４）をθ軸について回転するよう動作可能なプローブステージ（２２）と、コンポーネント（２８）をφ軸について回転するよう動作可能なコンポーネントステージ（２６）と、位置反応検出器とを含む。プローブステージ（２２）は、光源ビーム（３８）をコンポーネント（２８）に向け、光源ビーム（３８）は、コンポーネント（２８）から結果として生じるビームを生成し、位置反応検出器は結果として生じるビームを検出する。

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物体の三次元モデルを構築するための走査システム及び方法であって、走査システムは走査装置（２）と走査テンプレート部材（４）とを含む。走査装置（２）は光を投影するためのエミッター（２０）と像を撮像するためのセンサー（２２）とを有し、エミッターとセンサーが使用時に相対的に固定された位置に配置される。走査テンプレート部材（４）は既知の二次元テンプレート（４２）を有する。処理手段は、データを生成して走査装置（２）と走査テンプレート（４２）との間に配置された物体（８）の三次元モデルを構築することができ、使用時に走査テンプレート（４２）に対する物体（８）の情報を生成し、この情報はエミッターによって投影光が投影される同一の像から生成される。測定は同一の基準面に対して行われる。 （もっと読む）