【課題】作業者によるばらつきをなくして安定した溶接品質を有する面直度計測方法及び該方法を行うスポット溶接機を提供する。
【解決手段】被溶接部材Ｗに対して空気を噴出するとともに、該噴出した空気の背圧Ｐ１、Ｐ２を計測する背圧計測工程（ステップＳ２）と、背圧Ｐ１、Ｐ２−隙間δ１、δ２特性マップに基づいて、前記計測した背圧Ｐ１、Ｐ２に対応した隙間δを求め、該隙間δ１、δ２に基づいて面直度θを算出する面直度算出工程（ステップＳ３〜Ｓ５）とを備えている。 （もっと読む）

表面測定用の流体近接センサである。この流体近接センサは、測定ノズル（２０５）を備える測定チャンバ（２１０）と、基準ノズル（２２５）を備える基準チャンバ（２２０）と、基準チャンバと測定チャンバとの間のインターフェイスを形成するダイアフラム（２１５）を有する。測定ノズルおよび基準ノズルを取り囲むシュラウド（２８０）によって、シュラウドと測定されている加工面２９０との間の周辺ギャップ（２９５）が設けられる。部分真空源または部分流体源をシュラウドに接続することによって、シュラウドの内圧を上昇または低下させることができ、それによって、近接センサのゲイン−周波数動作レジームが最適化される。差圧変化に応じたダイアフラムの動きは、光学的、容量性、または誘導性手段（２７５）によって検知することができる。 （もっと読む）

【課題】改善された応答時間したがって改善された帯域幅をもったガス計器近接センサを実現する装置および方法を提供する。
【解決手段】注入チャンバ２２０から測定チャンバ２１０へ逆流方向にガスを供給するガス計器近接センサ２００である。逆流方向にガスを供給することで、センサの過渡挙動がいっそう高速で安定するようになり、結果として帯域幅の増大が生じる。場合によって、スカベンジャチャンバ２５５を使用して、スカベンジャチャンバ２５５のスカベンジャ開口２６０を注入チャンバ２２０の出口開口２２５の直ぐ近くに位置付けすることによって余分なガスを除去することができる。コモンモード誤差を減少させるために、注入チャンバ２２０の出口開口２２５に近い位置からガス流を受け取る基準チャンバを備えるブリッジ近接センサを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内で使用するために、ウェーハのプロファイルの局所的相違を測定する感度が上昇した気体ゲージを提供する。
【解決手段】気体ゲージは、オブジェクトまでの距離を割り出すように配置された気体送出管を有する。気体送出管は気体導管を含み、これを通して適切な測定気体が供給される。測定気体は、圧力下で出口を介して気体送出管を出て、相互作用領域内のオブジェクトに衝突し、跳ね返った気体の圧力が圧力検出器によって測定される。小さい原子番号を有する気体を使用することができる。圧力センサは気体出口で、又はその付近で気体導管を少なくとも部分的に囲む気体送出管内に配置された薄膜を含むことができる。圧力センサは気体導管の周囲に配置された薄膜ディスクを含むことができる。圧力センサは、実質的に共通の面に配置され、気体導管から隔置されるが、それでもそれを囲むことができる適切な複数の圧力要素を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】適切な周波数応答を有用な低圧で、かつ、有用な感度で出力し、また、チャンバ圧力の遠隔センシングを容易にするガスゲージ近接センサを提供する
【解決手段】圧力センサに結合された流体支援ガスゲージによれば、広い帯域幅で近接測定を実施することができる。ガス充填測定チャンバおよび流体充填伝達チャンバを備え、かつ、これらの２つのチャンバを分離しているダイヤフラムを備えた２チャンバガスゲージによって被測定表面にガスが排気され、その一方で非圧縮性流体によって圧力センサに圧力が伝達される。ガスゲージのガス体積を最小化することによって応答時間が短縮される。さらに、非圧縮性流体を使用することにより、応答時間性能を犠牲にすることなく、測定点から離れた場所に圧力センサを配置することができる。一実施形態では、流体支援ガスゲージの差動ブリッジバージョンが同相モードの影響を小さくしている。 （もっと読む）

【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】測定結果をデジタル表示することができるエアマイクロメーターを提供する。
【解決手段】圧力センサ２１からのセンサ値をアナログデジタルコンバータ３１でデジタル化センサ値に変換して出力し、デジタル処理部３２は、デジタル化センサ値に基づくデジタル表示用デジタル値を形成して液晶表示部４１に出力するとともに、デジタル化センサ値を調整データで調整しアナログ表示用デジタル値としてデジタルアナログコンバータ５１に出力する。液晶表示部４１は、デジタル表示用デジタル値を数値化して液晶パネル６５に表示し、デジタルアナログコンバータ５１は、アナログ表示用デジタル値をアナログ化表示値に変換してメーター７１に出力して指示針８１で表示する。デジタル処理部３２は、液晶表示部４１によるデジタル表示とメーター７１によるアナログ表示とが相関するように調整データを修正する。 （もっと読む）

【課題】 輸送時や取り付け時等に外力が作用しても、検出精度に影響を及ぼすことがなく、しかも低コスト化を実現する位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_３と三方切換弁Ａ_１〜Ａ_３とを連結する連結ブロックＸを設けるとともに、この連結ブロックＸには、エア供給源Ｐに接続する接続ポート１５と、この接続ポート１５に連通する２以上の連結ポート１６ａ，１６ｂとを設け、上記連結ポート１６ａには供給通路１を接続した状態で連結ブロックＸと圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_３とを一体的に連結するとともに、他の連結ポート１６ｂにはブロー通路３を接続した状態で当該連結ブロックＸと三方切換弁Ａ_１〜Ａ_３とを一体的に連結する。 （もっと読む）

【課題】 ブローを停止してからワークの着座状況を検出するまでに要する時間を短くし、しかも誤信号を出力しない位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧縮検出エアを導く検出流路２２と、圧縮ブローエアを導くブロー流路２３と、テーブルに形成した噴出口に接続する共通流路２８と、検出流路２２およびブロー流路２３のいずれか一方を共通流路２８に連通させ、いずれか他方を共通流路２８から遮断する切換弁２９と、検出流路２２の圧力を検出する圧力検出部Ｓと、検出流路２２、ブロー流路２３および共通流路２８のいずれか１または複数を大気に連通するとともに、当該流路内に滞留する圧縮ブローエアを大気に排出する排気手段３０とを備えた位置確認装置において、上記切換弁２９を、制御機器からの信号に応じて切り換え動作する電磁切換弁で構成する。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）

【課題】 検出圧やブロー用エアを停止した際に、ノズル詰まりや錆が発生することがなく、また、耐圧性が高く、さらにはサイクルタイムの短い位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧力源２５に接続する上流ポート２４およびテーブル２０に設けた検出孔２１に接続する下流ポート２２を連通する検出圧通路２３と、この検出圧通路２３に設ける検出オリフィス２６と、この検出オリフィス２６の前後の差圧を検出する差圧検出手段２７とを備え、この差圧検出手段２７は、上記テーブル２０に設けた検出孔２１とそのテーブル２０に載せた被検出体Ｗとの隙間に応じて変化する検出オリフィス２６前後の差圧を検出する。 （もっと読む）

【課題】 鋳型の衝合面に生じた隙間を、鋳型を傷つけることなく確実かつ迅速に検査することができる。
【解決手段】
互いに気密的に衝合されて、上型６１と下型６２を衝合して構成された鋳型６を収納し鋳型衝合面６ａを含む外周に外気から遮断された第１空間Ｓ１を形成する一対の容器形成部材１，２を備える。容器形成部材２には、下型６２の外側面のに開口する湯口６２２を囲んで外側面の少なくとも一方に気密的に当接して、湯口６２２に臨みかつ外気および第１空間Ｓ１から遮断された第２空間Ｓ２を形成するシール部材３２を設け、かつ容器形成部材１に、第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２の間に空気を流通させる排気装置５６を、容器形成部材２に、空気の流量に応じて変化する流速を検出する風速計５１を設ける。 （もっと読む）

【課題】例えば、内接歯車ポンプのアウターロータは、インナーロータとの間のチップクリアランスを高めることが要求され、歯数が偶数のロータについては、対角位置の歯先間寸法の良否検査を全歯について行っている。その検査を効率的かつ定量的に行えるようにすることを課題としている。
【解決手段】ワークＷをゲージ１の外側にセンタリングと周方向相対位置の位置決めを行ってセットした後、ワークＷの各歯ｃに対応させてゲージ１に設けたエアー孔１１にエアーを流して対角上の、出口が歯先中心に位置決めされた２箇所のエアー孔から流出するエアーの流量を計測し、予め求めたエアー流量と隙間の関係と照合してワークの対角位置に設けられた歯ｃの歯先間寸法の良否を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、近接センサヘッドのドリフトが該近接センサの精度に及ぼす影響を低減するための自己補償メカニズムを含む格納式の近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの間の差を検出する格納式の近接センサを、近接センサハウジングが支持する構成によって解決される。 （もっと読む）

【課題】耐久信頼性を向上することができるとともに、コストを低減することができる機械の旋回運動精度測定装置を提供する。
【解決手段】工作機械のベッドに設けたワーク支持テーブルに対し基準リング３４を取り付ける。工作機械の主軸装置に装着した主軸２２にエア噴射ノズル２５を取り付ける。エア噴射ノズル２５から基準リング３４の基準内周面３４ａにエアを噴射しつつ、主軸２２を旋回軸線Ｏ３を中心として旋回半径Ｒ２２で旋回するとともに、主軸２２を回転させてエア噴射ノズル２５を基準内周面３４ａの法線方向に指向する。エア噴射ノズル２５の先端部２５ａの先端面から基準内周面３４ａまでの隙間Ｇの距離Ｄｇを前記エア噴射ノズル２５から噴射されるエアの圧力変動によって測定する。前記隙間Ｇの距離Ｄｇの変化によって主軸２２の中心軸線Ｏ１の旋回軌跡Ｋの旋回運動精度を演算する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの位置合わせにかかる時間を低減させることができるワーク保持位置検出システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係るワーク保持位置検出システムは、設定位置に保持されたワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接する位置に配置された流体吹き出し口１２と、流体吹き出し口１２から流出する流量を検出するセンサと、このセンサで検出された流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを判断する演算ユニットと、を備えている。ワークＷが設定位置に保持されていると、流体吹き出し口１２はワークＷの外壁ＷＳに当接又は近接しているので、流体吹き出し口１２から流出する流量は少ない。従って、この流量に基づいて、ワークＷが設定位置に位置しているか否かを演算ユニットで判断することができる。 （もっと読む）

【課題】エアゲージが常に有利な離隔距離で作動し、そのパフォーマンス及び有益な測定範囲を最大にするように、測定を行える方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】対象の表面までの距離を検知するように構成されたエアゲージと、エアゲージの相対位置、及び対象の表面の相対位置を含むグループのうち少なくとも１つを測定するように構成されたセンサとを有しており、エアゲージ及びセンサの各出力側は、結合されたエアゲージリーディングを形成するように結合されている。 （もっと読む）