【課題】１つのＳＡＷデバイスによって、歪みと温度の両方を測定できるＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１を測定物２０の一面２０１上に配置し、ＳＡＷデバイス１の基板下面１０２のうち伝搬路１３の真下に位置する領域１０２ａを測定物２０に固定し、基板下面１０２のうち駆動電極１１および反射器１２の真下に位置する領域１０２ｂ、１０２ｃを測定物２０に固定しない構造とする。この構造では、測定物に歪みが生じると、基板上面の伝搬路１３のみに歪みが生じることとなり、反射器１２で反射した弾性表面波に位相変化が生じる。このときの位相変化は温度変化の影響をほとんど受けないので、この位相変化から測定物の歪みを測定できる。また、この構造では、ＳＡＷデバイス１の共振周波数は、温度変化によって変化し、測定物の歪みの影響を受けないので、共振周波数変化から温度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】音響波型の位置検出装置において、複数の物体が接触対象の面上をドラッグしているとき、物体がこの面上に実際に接触したか否かを正確に検出可能とする。
【解決手段】物体の接触対象である面２ａに沿って音響波を伝搬させるとともに、この伝搬した音響波を検出して電気的な検出信号Ｓ３、Ｓ４を得、音響波が物体によって遮断されたときの検出信号Ｓ３、Ｓ４の減衰に基づいて、該物体の前記面２ａ上の接触位置を検出するように構成された音響波型位置検出装置１００において、面２ａ上を複数の物体がドラッグしている際に出力される前記減衰の状態を示す信号の振幅並びに、該信号の立ち上がり部の長さ、ピーク間距離および波形の少なくとも１つに基づいて、物体の前記面２ａへの接触の有無を検出する検出手段２１、２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 なるべく少ない発信器及び受信器によって、複数の搬送路を搬送されるシートを検知する。
【解決手段】 画像形成部へ搬送される記録材が通る第１搬送路及び第２搬送路と、第１搬送路及び第２搬送路を搬送される記録材に向けて超音波を発信する発信手段と、発信手段から発信され記録材を通過した超音波を受信し、受信された超音波に対応する信号を出力する一の受信手段と、受信手段の出力する信号に基づいて記録材に画像を形成する画像形成条件を制御する画像形成装置であって、第１搬送路と第２搬送路の間に配置された反射板を有し、発信手段は第１搬送路を挟んで反射板に対向して配置された一の発信器であって、受信手段は第２搬送路を挟んで反射板に対向して配置された一の受信器であり、発信器が発信した超音波は第１搬送路を通過して反射板で反射され、第２搬送路を通過して受信器へ到達することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長距離を移動する移動体の位置を精度良く検出できる位置検出システムを提供する。
【解決手段】両面に反射面が形成された反射板６が、クレーン本体２の移動経路に沿って、間隔が全て異なるようにして複数配置される。反射板支持フレーム５に内蔵される姿勢状態検出装置は、各反射板６の姿勢状態を検出する。測距装置３は、クレーン本体２と共に移動し、移動経路における前後方向に測定波を出射し、各方向について、反射板６によって反射された測定波の反射波を検出することで、当該反射板６までの距離を計測する。制御装置７は、測距装置３の計測結果と、姿勢状態検出装置の検出結果と、に基づいて、クレーン本体２の現在位置を求める。反射板６は、クレーン本体２が接近した際、測定波を反射可能な姿勢からクレーン本体２の通過を妨げない姿勢に切り替わる。 （もっと読む）

【課題】 複数の地点の肉厚データを総合的に評価して管が正常であるか否かを自動的に判定できるようにする。
【解決手段】 内部超音波探傷法で管の各地点の肉厚を測定して、それを記憶装置に記録する。その記録データをコンピュータに読み込んで評価を開始する。所定の肉厚しきい値を割り込んでいる肉厚データに関して、軸方向の複数の肉厚データに基づいて軸方向の評価をして、正常であるか再評価が必要であるかを決定する。また、同様の肉厚データに関して、周方向の複数の肉厚データに基づいて周方向の評価をして、正常であるか再評価が必要であるかを決定する。さらに、最小肉厚部の応力を評価して、正常であるか再評価が必要であるかを決定する。再評価が必要であるとされた肉厚データについては、孔食評価を実施して、最終的に、管が正常であるか異常であるかを判断する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成で大型化を抑制すると共に精度良い位置検出を実現する。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータ１は、駆動用の弾性表面波を励振する駆動用励振手段２を有した圧電基板１０と、圧電基板１０の表面に配置され駆動用の弾性表面波により圧電基板１０に対して相対的に移動される移動体３と、移動体３の圧電基板１０に対する相対位置の検出に用いる検出用の弾性表面波を励振する検出用励振手段４と、検出用励振手段４によって励振された弾性表面波ｗ１が移動体３によって反射されて戻ってくる波ｗ２を検出する表面波検出手段５と、移動体３の圧電基板１０に対する相対移動を制御する制御手段６と、を備える。制御手段６は、弾性表面波ｗ１が前記検出用励振手段４により励振されてから表面波検出手段５によって検出されるまでの時間に基づいて移動体３の相対的位置を検出して移動体３の移動を制御する。 （もっと読む）

タッチスクリーンシステム（１０５）などの、音響ベースシステムが提供される。本システムは、基板へ動作可能な形で結合された、音響基板（１２５）および音響変換器（１３５）を含んでいる。変換器（１３５）は、システムの運転周波数と等しい、高次の奇数共鳴周波数を示す。変換器の厚みを増し、その結果、より長持ちさせる。
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【課題】 位置検出精度を向上させることが可能な位置検出装置を提供すること。
【解決手段】 基板(10)と、一端側に弾性表面波の送信部が設けられたスタイラス(12)と、基板の一方面を複数の領域に分け、当該各領域に設けられる受信ユニット(14,16)と、を含み、各受信ユニットは、第１方向に沿って配列された複数の反射器(21,31)からなる第１反射器群(20,30)と、スタイラスから発信されて基板を伝搬し、第１反射器群によって進行方向が略９０度変更された弾性表面波を受信する第１受信素子(24,34)と、第２方向に沿って配列された複数の反射器(23,33)からなる第２反射器群(22,32)と、スタイラスから発信されて基板を伝搬し、第２反射器群によって進行方向が略９０度変更された弾性表面波を受信する第２受信素子(25,35)と、を含んで構成される位置検出装置である。 （もっと読む）

【課題】エンドレス張力手段特にベルトを含む張力手段伝動装置並びにこのような張力手段伝動装置の張力手段の摩耗の測定方法を、非接触で且つ他の影響をほとんど受けない張力手段伝動装置のモニタリングおよび特にエンドレス張力手段の摩耗のモニタリングが実行可能なように改良し、さらに、このような張力手段伝動装置内に使用可能なようにエンドレス張力手段を改良する。
【解決手段】駆動要素（１１０）および被駆動要素と結合されている少なくとも２つのベルト車（１１５、１３０、１４０、１５０）を結合するエンドレス張力手段（１２０）特にベルトを含む張力手段伝動装置は、張力手段（１２０）の表面を走査するための音響式走査装置（１７０）を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造及び組立が容易な導波管支持機構及び減衰機構を提供する。
【解決手段】音響導波管４に対する導波管サスペンション２及びモジュール式構造であり、電流パルスを伝送することによってねじれ歪波あるいは縦歪波を発生する導波管４と共に使用するための減衰素子６を有している。減衰素子６は音響歪波の反射を防止するためのものであり、導波管を取り囲むスリーブ２７と、スリーブ２７へ圧力を加えるための機構２９を有している。スリーブ２７は導波管４へ圧力を加えることによって、減衰素子のスリーブ２７によって取り囲まれている導波管４の長さに沿って音響歪波エネルギを徐々に減衰させて、音響歪波の反射を防止している。また、リターン導体１の位置が測定システムの応答によって決められ、ピックアップコイル１３から受信される信号のリンギングを最小限に抑えるようになっている。 （もっと読む）

【課題】製造及び組立が容易な導波管支持機構及び減衰機構を提供する。
【解決手段】音響導波管４に対する導波管サスペンション２及びモジュール式構造であり、電流パルスを伝送することによってねじれ歪波あるいは縦歪波を発生する導波管４と共に使用するための減衰素子６を有している。減衰素子６は音響歪波の反射を防止するためのものであり、導波管を取り囲むスリーブ２７と、スリーブ２７へ圧力を加えるための機構２９を有している。スリーブ２７は導波管４へ圧力を加えることによって、減衰素子のスリーブ２７によって取り囲まれている導波管４の長さに沿って音響歪波エネルギを徐々に減衰させて、音響歪波の反射を防止している。また、リターン導体１の位置が測定システムの応答によって決められ、ピックアップコイル１３から受信される信号のリンギングを最小限に抑えるようになっている。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ投影装置で基板の高さを測定するために使うレベルセンサで、単段浸漬法リソグラフィ装置にも使え、プロセス依存性がなく、反応速度の速い、従来とは異なる種類のレベルセンサを提供すること。
【解決手段】このレベルセンサは、送信器１０および受信器１１を含み、この送信器は、基板Ｗと投影システムＰＳとの間に基板表面の所定の位置へ向けて圧力波１００を放出し、この圧力波の少なくとも一部を基板Ｗが反射するように構成してあり、受信器は、この反射波の少なくとも一部を受信するように構成してある。このレベルセンサは、この放出し且つ受信した圧力波に基づいて、基板Ｗの表面の高さを決めるように構成してある。このレベルセンサは、圧力波を使うので、浸漬法にも使え、迅速で、プロセス依存性が少ない。 （もっと読む）

【課題】製造及び組立が容易な導波管支持機構及び減衰機構を提供する。
【解決手段】音響導波管４に対する導波管サスペンション２及びモジュール式構造であり、電流パルスを伝送することによってねじれ歪波あるいは縦歪波を発生する導波管４と共に使用するための減衰素子６を有している。減衰素子６は音響歪波の反射を防止するためのものであり、導波管を取り囲むスリーブ２７と、スリーブ２７へ圧力を加えるための機構２９を有している。スリーブ２７は導波管４へ圧力を加えることによって、減衰素子のスリーブ２７によって取り囲まれている導波管４の長さに沿って音響歪波エネルギを徐々に減衰させて、音響歪波の反射を防止している。また、リターン導体１の位置が測定システムの応答によって決められ、ピックアップコイル１３から受信される信号のリンギングを最小限に抑えるようになっている。 （もっと読む）