【課題】精度良く障害を認識することができる移動体の障害認識方法を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る移動体の障害認識方法は、移動体の障害認識方法であって、移動体の路面データ取得手段で少なくとも高さデータを含む路面データを取得するステップと、取得した路面データを高さ順に並べ替えるステップと、並べ替えた路面データの変化点を抽出するステップと、変化点を境に障害を認識するステップと、を備える。これにより、精度良く障害を認識することができる （もっと読む）

【課題】突出した２点あるいは３点間の相対高さを、簡単な構成により、高い精度で検出可能な相対高さ検出装置を提案すること。
【解決手段】相対高さ検出装置１は傾斜表示板２を備えており、基準面５ａに載せた測定対象の球体ａ、ｂの上に点接触状態で傾斜表示板２を載せる。傾斜表示板２には角度センサ３が組み込まれており、球体ａ、ｂの高低差に対応した傾斜姿勢となっている傾斜表示板２の傾斜角度が角度センサ３によって測定される。演算装置４では、傾斜角度θｘと、球体ａ、ｂ間の既知の距離Ｌ１に基づき、球体ａ、ｂの高さの違いを検出する。球体ａ、ｂの微小な高低差が傾斜表示板２の比較的大きな傾斜角度として現れるので、この傾斜角度に基づき、球体ａ、ｂ間の高低差を高い分解能で検出できる。 （もっと読む）

【課題】被測定物が非球面形状であっても、極めて高精度に測定データを取得することができる三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸方向に駆動される移動体においてＺ軸方向に移動自在に支持されたプローブを、被測定物の測定面に、所定の経路に沿って走査させて前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定方法であって、測定時にＸ−Ｙ方向に移動する移動体の移動量を基準として測定データを取得するサンプリングピッチを、被測定物の既得形状情報から得られる走査上の各位置における被測定物の測定面の法線方向に引いた直線と、被測定物の中心線と、が交わる点を中心として、前記表面上の位置で被測定物の表面形状と接する円を近似円とし、その近似円の半径から算出する。これにより、被測定物の表面形状に沿う方向に対して一定のピッチで測定データを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】コンベアレールの下フランジの上面の摩耗状態の検査を、簡素な構成により迅速かつ高精度に行う。
【解決手段】コンベアレール４上を走行するトロリ２からコンベアレール４の下フランジ７，８よりも下側に垂下する支持部材３２により非接触変位センサ３４，３５を上向きに支持し、該センサ３４，３５により下フランジ７，８の下面７Ｂ，８Ｂまでの距離Ｄ１，Ｄ２を測定し、この距離Ｄ１，Ｄ２を基準値と比較することによりコンベアレール４の下フランジ７，８の上面７Ａ，８Ａの摩耗状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】測定レンジを狭めることなく高精度の量子化を行う物理量変化測定装置を提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じた一方の電圧信号１１ａを第１のデジタル信号に変換する第１のデジタル変換処理部３０と、これを第１のアナログ信号に変換するアナログ変換処理部３１と、他方の電圧信号１１ｂから第１のアナログ信号３１ａを減算した減算信号４０ａを出力する減算処理部４０と、減算信号４０ａを拡大して信号４１ａを出力する第２の増幅部４１と、前記信号４１ａを第２のデジタル信号７０ａに変換する第２のデジタル変換処理部７０と、この第２のデジタル信号７０ａと拡大した第１のデジタル信号３２ａを加算した出力信号８０ａを出力する加算処理部８０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。
【解決手段】ワーク２２の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー１４と、該ワーク２２上の該粗さセンサー１４位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構１２と、該粗さセンサー１４からの測定データを、該相対移動機構１２が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔ｔ_ｓでサンプリングするタイマーサンプリング手段１６と、該相対移動機構１２からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段１６からの一定時間間隔ｔ_ｓの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク２２の表面粗さを評価するデータ処理機構１８と、を備えたことを特徴とする形状測定機１０。 （もっと読む）

【課題】 短時間に、精度の高いＳＰＭ測定を行うことができる複合型顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブにより試料３表面を走査し物性値の力を検出し画像化可能にしたＳＰＭ６、試料３の表面形状の３次元情報を取得可能にしたＬＳＭを有し、ＬＳＭにより取得された３次元情報に基づいて制御部１１によりＳＰＭ６の走査軌道情報を求め、該走査軌道情報に基づいてプローブの走査軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の頂点位置を高精度かつ容易に検出することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 被測定物Ｗの表面に触針センサ１３を接触させた状態で、前記被測定物Ｗと前記触針センサ１３とを相対的に走査させ、この走査の間の前記被測定物Ｗの測定したい高さ方向における前記触針センサ１３の変位量により前記被測定物Ｗの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記触針センサ１３の前記高さ方向の変位量を測定する変位量測定手段と、この変位量測定手段からの出力信号に基づいてリサージュ波形を生成するリサージュ波形生成手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ型寸法測定機による寸法計測方法において、円柱形状のドットパターンや円柱穴形状のホールパターン等の非直線パターンの最大幅寸法を正確に計測するパターン寸法計測方法を提供するものであり、また、その計測方法を行い得るパターン寸法計測装置を提供する。
【解決手段】基板表面に垂直方向に励起振動する探針をカンチレバーに設けた原子間力顕微鏡で前記基板表面のパターンを寸法計測するパターン寸法計測方法において、前記探針の走査方向にほぼ垂直方向で、かつ前記基板表面に平行に前記探針を振動させて前記パターンのエッジを検出して寸法計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光記録媒体でのＶ溝形状のグルーブと、ここに形成された記録マークとの位置関係及び記録マークの形状を精密に測定する。
【解決手段】Ｖ溝形状のグルーブを有する光記録媒体に記録マークを形成しておき、これを、記録マーク測定装置５０における走査型プローブ顕微鏡５２をＡＦＭモードとしてプローブにより走査し、得られた凹凸像の信号から、Ｖ溝の底部のみを残すデータ処理を施して、グルーブ底部強調凹凸像を得て、このグルーブ底部強調凹凸像と検出電流により得られたコンダクティブＡＦＭ像とを合成して、グルーブ底部と記録マークとの位置関係を測定する。 （もっと読む）

【課題】 連続鋳造機におけるロールのベアリング異常を早期に且つ正確に検出する。
【解決手段】 鋳片を挟み込む一対のロール２，３が鋳片の鋳造方向に所定の間隔で並ぶ連続鋳造機において、各ロール２，３の両端部を回転可能に支持するベアリング４ａ，４ａ，５ａ，５ｂの異常を検出する装置及び方法であって、一対のロール２，３間における少なくとも２箇所の対向間隔Ｌ１，Ｌ２を測定し、測定した少なくとも２箇所の測定値の差（Ｌ１−Ｌ２）を計算すると共に、各測定位置の当該測定前に測定した測定値との差（ΔＬ１，ΔＬ２）を計算し、それぞれ計算した値が予め設定されたしきい値を超えたときに、そのしきい値を超えたロールのベアリング異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 流体から受けるダンピング効果等の影響を極力低減して、試料を高精度に観察すること。
【解決手段】 先鋭化された探針２０を、所定の周波数及び振幅で振動させた状態で試料上を走査されるプローブ２であって、先端に探針２０が設けられ、基端側から先端側に向けて一方向に延出して形成されたカンチレバー２１と、該カンチレバー２１の基端側を、先端側が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２２とを備え、カンチレバー２１が、試料表面に対向する一方の面と該一方の面の逆側に配された他方の面とのうち少なくともどちらかの面に、長手方向に沿って凸状に形成された凸条部２３を有しているプローブ２及び該プローブ２を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】 アライメントずれの検出精度を高める。
【解決手段】 車輪に接地される作用力センサは、車輪に対して路面に平行な方向に作用する力である作用力を検出する。アライメント発生力算出部１１２は、検出された作用力を使用して、ホイールアライメントに起因して車輪の接地部分に発生するアライメント発生力を算出する。推定値算出部１０６は、予め格納されているホイールアライメントの設定値を参照して、アライメント発生力の推定値を算出する。アライメント判定部１１６は、アライメント発生力と推定値の差分を取り、この差分と予め定められたしきい値とを比較してホイールアライメントが設定値からずれているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ステアリングシャフトを静止したままで絶対操舵角が検出でき、多回転でも操舵角が検出できる操舵角検出装置を提供する。
【解決手段】 ステアリングシャフト１と一体的に回転する径Ｒの主ローラ２と、主ローラ２に外接し径ｒ１の第一差動ローラ３と、主ローラ２に外接し径ｒ２（ｒ１＜ｒ２＜Ｒ）の第二差動ローラ４と、第一差動ローラ３の回転角θ１を±１８０°の範囲で検出する第一回転角センサ５と、第二差動ローラ４の回転角θ２を±１８０°の範囲で検出する第二回転角センサ６と、２つの回転角θ１，θ２で定義される位相差αに基づいてステアリングシャフト１の操舵角Φを演算する演算回路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップＳ２において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データＤ２、測定治具形状データＤ３等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップＳ１２の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】基板自体のうねりや反り、さらには機械的な精度等による測定誤差等の疑似段差成分を精度良好に除去することができ、これにより高精度な表面段差分布を得ることが可能な表面段差測定方法を提供する。
【解決手段】基板の表面段差分布を測定する表面段差測定方法であり、表面段差分布を測定する測定領域とその周辺領域とを含む領域において表面段差のない平坦部における基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して表面段差の影響を含まない第１の表面段差分布を得る（Ｓ１）。測定領域内の全面において基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して前記表面段差の影響を含む第２の表面段差分布を測定する（Ｓ２）。第２の表面段差分布から第１の表面段差分布を取り除くことにより、測定領域における基板の表面段差分布を得る（Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】 カール量の測定をより正確に行うことの可能な平版印刷版のカール量測定方法と、このカール量測定方法を適用してカール矯正をより確実に行うことの可能な平版印刷版のカール矯正方法及びカール矯正装置を得る。
【解決手段】 カール量測定具５６を使用し、平版印刷版３０全体を鉛直下方へと吊り下げて、保持辺（上端辺）と対向辺（下端辺）の距離Ａを測定し、吊るしカール量（Ａ−Ｂ）を得る。平版印刷版３０を水平な平台においてカール量を測定しないので、正確且つ０ｍｍ付近での高感度の測定が可能となる。この吊るしカール量の値に基づいてカール矯正装置１３をフィードバック制御するので、より確実にカール矯正できる。 （もっと読む）

【課題】 塗装された樹脂製車両部品であっても隣接部品との隙間や段差を均一に管理可能な樹脂製車両部品の計測解析方法を提供する。
【解決手段】 射出成形した生地の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した生地用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する生地用拘束計測工程と、塗装後の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した塗装用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する塗装用拘束計測工程と、生地用拘束計測工程の計測値と塗装用拘束計測工程の計測値とから車両へ組付けられる樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差の許容値外への変化がいずれの工程に起因して発生しているかを判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）