【課題】レーザスキャナを最適に配置し、スキャナの精度を確保する。
【解決手段】座標測定機器は、第１の端１０と、第２の端５０と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアーム２０を含む。各アームセグメントは、少なくとも１つの回転軸を定める。レーザスキャナアセンブリは、アームの第２の端に結合され、関節付きアームの最後の回転軸を中心に回転可能である。レーザスキャナアセンブリは、レーザと画像センサとを含む。レーザは、最後の回転軸Ｌ１を挟んで画像センサの反対側に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】複数の測定手段を備える形状測定装置において、各測定手段の測定範囲を広くする。
【解決手段】形状測定装置は、レーザプローブ１７、画像プローブ１８、タッチプローブ１９の３種類のプローブを備えている。回転軸移動部１３Ｂは、傾斜軸Ａ１回りに回転自在に傾斜軸支持部１３Ａに支持されており、回転軸移動部１３Ｂを傾斜軸Ａ１回りに傾斜させることにより、回転テーブル１３Ｃに設置されている被検物２を、各プローブに対して傾斜させることができる。各プローブは、各プローブの図内の左側面が、傾斜軸Ａ１に対して略平行になるように配置されている。本発明は、例えば、形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。
【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。 （もっと読む）

本発明は、飛行機の胴体セル構造の構造要素（１）に関する。構造要素（１）はストリンガー構造（２）又は環状をなす前部品であってもよい。この構造要素（１）は複合材料から形成され、炭素繊維により強化されたエポキシ樹脂から形成してもよい。構造要素（１）は、測定システムを用いた位置特定を容易にする少なくとも１つの位置決め補助具（１０，１１）を備える。測定システムとしては、レーザー測定システム及び／又は触知型測定システム（２２）が使用可能である。好適にはレーザー追跡器（１９）であるレーザー測定システムの目標物として、位置決め補助具（１０，１１）に反射器（１２）を間に間隙が生じないように装着することにより、他のコンポーネント（２１）に対する構造要素（１）の空間位置を非接触にて極めて正確に測定することができる。この場合、距離に応じて、構造要素の空間位置を空間のあらゆる方向において最高５００分の１ミリメートルの精度にて測定可能となる。構造要素（１）の位置特定及び配向完了後には、位置決め補助具（１０，１１）から反射器（１２）を除去可能である。又は、触知型測定システム（２２）の測定アーム（２３）により構造要素（１）を測定することもできる。位置決め補助具（１０，１１）は、例えば機械的方法により、構造要素（１）から残留物を残すことなく短時間で除去することができる。本発明による構造要素（１）を使用することにより、空間において正確に配置される複数の構造要素からなる複雑な繊維複合材コンポーネントの製造コストが著しく低減される。
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【課題】簡易な装置で電柱等の中空長尺体の湾曲度合いを測定でき、また、大がかりな設備の設置を必要とせず、中空長尺体の設置場所に拘わらず湾曲度合いを容易に測定することが可能な中空長尺体湾曲測定装置を提供する。
【解決手段】電柱１の頂部内側又は電柱内部の頂部近傍に当該電柱１の頂部１ａにおける軸心に沿った下方向での湾曲状態を非接触にて検知する手段を設ける。この手段は、電柱１の頂部１ａにおける軸心αに沿った下方向の距離を測定する測距センサ５で構成するようにしても、電柱１の頂部１ａにおける軸心αに沿った下方向を撮影するカメラで構成するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の表面プロファイルを、容易に算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並ぶ３個の変位計と、測定対象物との一方（稼動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。測定対象線に沿う表面プロファイル、可動物に固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイル、及び可動物の移動に伴うピッチング成分のプロファイルうち、２つのプロイファイルで規定される解の候補を複数個決定する。表面プロファイル、倣い曲線のプロファル、及びピッチング成分のプロファイルうち、解の候補に規定されていないプロファイルに基づいて定義される評価関数の値を適応度として、複数の解の候補に遺伝的アルゴリズムを適用し、最も適応度の高い解の候補を抽出する。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０，１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】 ３個の変位計のゼロ点調整を高精度に行うことなく、測定対象物の表面プロファイルを算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並び、相対位置が固定された３個の変位計と、測定対象物との一方（可動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。３個の変位計の測定結果に基づいて、可動物に対する相対位置が固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイルを算出する。倣い曲線の算出されたプロファイルの２次成分を、事前に測定されている倣い曲線のプロファイルの２次成分に基づいて補正する。補正された倣い曲線のプロファイルに基づいて、測定対象物の表面のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０,１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置１０は、距離センサ１２と、回転機構３８と、コンピュータ２０を備えている。距離センサ１２は、円形孔３４の内部に配置され、円形孔３４の内壁までの距離を測定する。回転機構３８は、円形孔３４の軸３６に対して角度θを成す基準軸３２を中心に距離センサ１２と測定対象物１６を相対回転させる。コンピュータ２０は、距離センサ１２によって各方向で測定された距離データから、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置１０は、算出された楕円形状の短径を円形孔３４の内径とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの中心座標を求めてワークの計測基準点として設定することができるワークの計測基準点設定機能を有する工作機械を提供すること。
【解決手段】加工面が直交する２つの線に対して線対称なワークを、機械座標系の軸と前記２つの線が平行となるように配置する。前記２つの線と平行な第１の線に沿ってワークの加工面上から機上計測装置のプローブの球型測定子をワーク端面に向かって相対移動させる。ワークの端面から球型測定子が離脱して後、プローブの軸方向の移動速度があらかじめ設定された所定速度になる時点の座標を記憶する（Ｓ２〜Ｓ１１）。同様に第２の線に対しても行い座標を記憶する（Ｓ１２〜Ｓ２１）。記憶された座標から、それぞれの中点を求める。求められた中点の座標はワークの中心座標であり、ワークの計測基準位置として設定できる。 （もっと読む）

【課題】回転刃の刃先と被加工物の高さ方向の距離を正確に補正する。
【解決手段】ルータビット４３と、多軸ロボット３と、接触式変位計７と、レーザ変位計８と、高さ補正部とを有する。多軸ロボット３は、ルータビット４３を軸回転させ、被加工物１００に対して移動させる。接触式変位計７は、多軸ロボット３がルータビット４３の刃先を変位計測面７Ａに上から押し当てたときに生じる変位を計測する。レーザ変位計８、変位計測面７Ａと被加工物１００の相対的な高さを計測する。高さ補正部は、接触式変位計７とレーザ変位計８の計測結果に基づいて、ルータビット４３の刃先と被加工物１００との高さを補正する。 （もっと読む）

【課題】被測定対象物の周囲に障害物がある場合においても正確に３次元形状を測定することのできる３次元形状測定システムおよび測定された３次元形状によって容易に強度を評価することのできる評価強度評価システムを得ることにある。
【解決手段】被測定対象物の３次元表面形状を測定する表面形状測定装置１と、被測定対象物の３次元内面形状を測定する内面形状測定装置２と、被測定対象物の構造材内部の状態を測定する非破壊測定装置３と、この表面形状測定装置、内面形状測定装置、非破壊測定装置によって計測された３次元点群データを入力合成する点群データ変換入力合成装置４と、この点群データ変換入力合成装置によって合成処理した点群データから３次元形状を作成する３次元形状変換処理装置５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】母材ガラス板を加熱延伸しながらガラス条の反りを測定できるガラス条の反りの測定方法およびこれを用いたガラス条の製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱延伸装置を用いて母材ガラス板を加熱延伸しながら、該延伸して形成したガラス条の幅方向の中心および両端部近傍を含む少なくとも３点において該ガラス条の表面および裏面の相対位置を検出し、該検出した相対位置に基づいて前記ガラス条の反りを測定する。好ましくは、前記ガラス条に向かって光を照射し、該ガラス条の表面および裏面からの前記光の反射光を測定することによって、前記相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クラッチ嵌合時の２つの軸の軸ずれを測定する軸ずれ測定装置及びこの軸ずれ測定装置を備えた一軸コンバインドプラントを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１０において、ガスタービン３の軸３ａと蒸気タービン５の軸５ａとの軸ずれ量を測定し、測定した軸ずれ量に応じて蒸気タービン５の回転速度の昇速率及びヒートソーク時間を設定し、クラッチ７が軸３ａ，５ａを結合するときの軸ずれ量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から位置較正部材を保護して測定精度を得ることができ、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出部（形状センサ２０）と、前記検出部の計測時における基準位置を示す位置較正部材（基準球３０）と、前記位置較正部材をその周囲の雰囲気から隔てるための保護手段（格納庫３１、エアーポンプ４０）と、クリーンエアーを浄化するための集塵手段４４を備える。 （もっと読む）