【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面付近まで安全に接近させることができるスタイラスを提供する。
【解決手段】先端部１２を被検物Ｓに接触させて被検物Ｓの表面を追従させることにより、被検物Ｓの表面形状を測定するためのスタイラス１０は、先端部１２の先端１２Ａよりも前方の所定位置Ｐを通るように光Ｌを照射する発光部１３と、発光部１３から照射された光Ｌが反射された反射光Ｌ１を検知する受光部１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、振動の影響を大幅に低減することのできる機械装置を提供することにある。
【解決手段】アクティブ制振機構１８として、被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動方向に振動を発生するアクチェイタ２６と、該被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動成分を含む加速度信号を出力する加速度センサ２８と、予め得ておいた該被制振部１４の固有振動情報に基づき、該加速度センサ２８よりの加速度信号に含まれる成分のうち、該被制振部１４の振動成分を検出し、該検出された振動成分の逆位相の信号を発生する信号処理手段３８と、該信号処理手段３８よりの逆位相信号に基づき、該被制振部１４の振動に対して逆位相の振動を該アクチェイタ２６に発生させる制御手段４０と、を備えたことを特徴とする機械装置１０。 （もっと読む）

【課題】短時間で精密に３次元形状を測定する面形状測定装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状測定装置１は，対象点の第１軸方向位置を測定するとともに，測定箇所を第１軸方向と交差する面内で走査して測定対象物の形状を測定するものであって，測定対象領域内における重点測定領域を記憶する記憶部と，対象点の第１軸方向位置の測定を，重点測定領域内では第１水準の測定点密度で行い，重点測定領域外では第１水準より低い第２水準の測定点密度で行うように，測定箇所の走査を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 カウンター質量となる可動部の可動範囲を確保することができ、常に良好に慣性力を相殺し、支持体の振動、しかして試料又は探針の振動を抑制する。
【解決手段】 試料又は探針を駆動する駆動ステージにおいて、探針１又は試料保持台５０５を移動させるためのカウンター駆動素子５００と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部５１５、５１０と、を有し、前記可動部は、前記カウンター駆動素子５００の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、走査形プローブ顕微鏡等でのヒートサイクルにおいて、チューブ型圧電素子の破損が発生するという点である。
【解決手段】 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 （もっと読む）

本発明は、外郭が設けられた強固CMMアーム用装置に関し、内部CMMアームと、内部CMMアームを、１つ以上の内部ボリュームが、固体対象物および流体の進入に対してシールされるように、複数の伝達手段を介して駆動する外郭を備える。本発明はまた、RCAの触覚制御にも関する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置に関し、探針先端と試料表面が接触せず、高速でアプローチする、走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 探針６を使用して試料１表面を走査し、試料１表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう原子間力顕微鏡であって、探針６と試料１表面の距離を近づけるための第１段階の高速アプローチと第２段階の精密アプローチを組み合わせるようにした。この結果、全体として試料表面と探針間のアプローチ時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報を計測でき、垂直な側壁やオーバーハングを含む試料の正確な立体形状情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針を測定点のみで接触させて次の測定点に向かうときには探針をいったん引き上げて退避させてから次の測定点に移動してから、探針を接近させることによって試料にダメージを与えずに正確な立体形状を用いる方法において、高周波・微小振幅カンチレバー励振と振動検出を行い、さらに、急傾斜部での接触力検知感度を上げるために、横方向励振あるいは、縦横２方向励振をおこなう。探針を測定対象の傾斜に合わせて傾斜させる手段と、探針と試料の接触状態を検知する光のカンチレバーでの反射後の向きが、探針の傾きによって大きく変わることを吸収または調整できる構造をもつ。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）

【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 探針１３をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる探針側スキャナ１０と試料１２をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる試料側スキャナ１１の２つのスキャナを設ける。探針側スキャナ１０として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ１１として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ１０で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ１１によって観察視野を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電することにより、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】
この走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバー２１の先端に設けられた探針２０を試料１２に対して接近させ、探針２０と試料１２の間の作用に基づき試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡であり、予め登録した情報に基づき指定される試料の測定位置を測定する測定部（１１，２０，２１，２４，３１，３２，３３，３４等）と、予め登録した情報に基づき試料の測定位置をスポット的に除電する除電部４０１，３０２とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、マルチプローブ顕微鏡において、アプローチ時に試料に独立してバイアス電圧が印加できず、電流計測時に試料バイアスを切り離し、探針間の電流計測を行ことができなかったという点である。更にその場合、探針側での電流計測では変位電流の影響を軽減することができなかったという点である。
【解決手段】試料と探針との間に流れる電流を利用して前記試料の表面を観察する試料観察装置であって、前記試料に対向する少なくとも２個の前記探針と、前記試料を置載する試料台と、前記試料台にバイアス電流を印加する試料バイアス電流印加手段と、前記試料バイアス電流印加手段を前記試料台より電気的に切り離すスイッチと、を備え、前記探針が前記試料にアプローチするときには前記スイッチをＯＮとし、前記探針間の電気計測するときには前記スイッチをＯＦＦとする走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計１３を用いてウェハステージＷＳＴに設けられた移動鏡１２のＺ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてＺ軸に対する移動鏡１２の傾きが零となるようにウェハステージＷＳＴの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系２１を用いてこのときのウェハステージＷＳＴの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡１２の鏡面に沿ってウェハステージＷＳＴを微小移動させながら繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 大きな凹面および凸面形状をした試料表面に対し、カンチレバーやカンチレバーを保持する部材などの干渉がなく、また、探針表面の接触位置が変わることなく、表面粗さ測定誤差が極力少なくなるようにして、精度よく測定ができる表面情報計測装置を提供すること。
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料５ａまたは５ｂ表面に対して、先端に探針（プローブ）を有するカンチレバー１３を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料５ａ（５ｂ）側に試料移動ステージとカンチレバー１３側に微動機構回転ステージ１８とを備えて、大きな凹面５ｂおよび凸面５ａ形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 測定データから測定装置の一定の走査方向にのみ特有に出現するノイズ成分を除去し、精度の高い測定データを得られる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、探針１３を有するカンチレバー１４と、試料１０に対する探針の位置を相対的に変化させる移動機構１１，１７と、所定物理量を検出する検出手段と、試料表面を測定する測定手段と、移動機構と測定手段の動作を制御する測定制御手段６０を備える。測定制御手段は、任意角度で交差する第１走査方向と第２走査方向を設定する走査方向設定手段６１、第１走査方向と第２走査方向のそれぞれで探針を走査移動して試料表面を測定し、測定データを得る測定実行手段６２、第１ラインデータと第２ラインデータとの間のデータ差を演算する第１減算手段６３と、第１走査方向に係る測定データから上記データ差を減算する第２減算手段６４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを容易に交換することができ、かつ光学像の十分な鮮明度および解像度を確保することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 保持機構４００はカンチレバー保持機構４００Ａおよびミラー保持機構４００Ｂから構成されている。カンチレバー保持機構４００Ａは保持機構保持部１１ｃの下部からＺ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構４００Ａは、その下端部においてカンチレバー１００を着脱可能に保持する。ミラー保持機構４００Ｂは側壁部１１Ａの内面１１ｘからＸ方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構４００Ｂは、先端部においてミラー固定部材４５０を着脱可能に保持する。ミラー固定部材４５０にはミラー２５が固定されている。カンチレバー保持機構４００Ａとミラー保持機構４００Ｂとは互いに分離されている。 （もっと読む）