【課題】 特に、従来に比べてコストを抑えるとともに信頼性に優れた位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 シフトレバー２と、シフトレバー２の上端部に設けられたシフトノブ１０と、下端部に設けられた電極部２１と、シフトレバー２を回動可能に支持する動作支点２５と、電極部２１と非接触にて配置された静電容量結合型センサ２０と、を有する。シフトノブ１０の移動操作によりシフトレバー２が回動して電極部２１が前記静電容量結合型センサ２０の表面を非接触を保って移動し、静電容量結合型センサ２０では、電極部２１の移動に伴う静電容量変化に基づいて、電極部２１の位置を検出する。これによりシフトポジション情報及び各シフトポジション間の軌跡情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、移動ステージの位置を計測する位置センサ１００を提供する。位置センサ１００は、第１の固定対向電極対１１１，１２１の間に部分的に挿入されている第１の可動電極１３１と、第２の固定対向電極対１１２，１２２の間に部分的に挿入されている第２の可動電極１３２と、第３の固定対向電極対１１３，１２３に部分的に挿入されている第３の可動電極１３３とを備える。第１の対向電極は、第２の対向電極に対して第１の方向にシフトした位置に配置され、第３の対向電極は、第１の対向電極に対して第２の方向にシフトした位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】軸回りに回転する測定対象物の軸方向位置を適用かつ容易にコストをかけずに検出することが可能なセンサを提供すること。
【解決手段】回転軸回りに回転しつつ軸方向へ変位する測定対象物２の軸方向位置を検出するセンサ１において、第１の要素６と、磁気部材７を有する検出部５とを設け、位置信号の発出のために、線状の相対変位時に第１の要素６と協働しつつ該第１の要素６に対して所定の線状の変位を行う第２の要素８を磁気部材７によって形成し、位置信号の発出のために、特に測定対象物２による線状の相対変位によって第２の要素８を非接触に連行するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 可動部分の変位に容量が比例する変位検出用コンデンサ、及び、可動部分の変位に容量が反比例する変位検出用コンデンサのいずれを用いる場合でも、可動部分の変位に比例する検出出力を得ること。
【解決手段】 前置増幅器は、第１クロック信号とオペアンプＱ１から帰還された振幅変調信号とを増幅し、第１出力信号を出力し、第２クロック信号と振幅変調信号とを増幅し、第２出力信号を出力するクロック増幅手段３ａ、第１出力信号が供給されるコンデンサＣ１と、第２出力信号が供給されるコンデンサＣ２と、反転入力端子が第１コンデンサ及び第２コンデンサに接続され、非反転入力端子が接地電位に接続され、出力端子がクロック増幅手段の入力に接続されているオペアンプＱ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 可動部分の変位に容量が比例する変位検出用コンデンサ、及び、可動部分の変位に容量が反比例する変位検出用コンデンサのいずれを用いる場合でも、可動部分の変位に比例する検出出力を得ること。
【解決手段】 変位検出装置は、変位検出用コンデンサＣ１，Ｃ２，スイッチＳＷ１，ＳＷ２，ＮＯＲ回路ＮＯＲ１，ＮＯＲ２を有する。スイッチＳＷ１は、ＮＯＲ回路ＮＯＲ１の出力Ｘによってオンオフ制御され、コンデンサＣ１を定電流回路に接続させるか、又は、接地電位に接続させるかを切り換える。スイッチＳＷ２は、ＮＯＲ回路ＮＯＲ２の出力Ｙによってオンオフ制御され、コンデンサＣ２を定電流回路に接続させるか、又は、接地電位に接続させるかを切り換える。ＮＯＲ回路ＮＯＲ１の一方の入力にはコンデンサＣ１の充電電圧が入力され、他方の入力にはＮＯＲ回路ＮＯＲ２の出力Ｙが入力されている。 （もっと読む）

【課題】静電容量の大きさに拘わらず、精度の高い位置検出を行うことのできる慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】静電容量にて移動体の位置検出を行う慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法であって、移動体の駆動を行う駆動ステップと、移動体に設けられた移動体電極と、移動体電極と対向して設けられた検出電極と、が対向する部分の静電容量を検出するための第１信号を出力する出力ステップと、出力ステップにて出力された第１信号が移動体電極と検出電極を通過して得られる第２信号を受信する受信ステップと、受信ステップで得られた受信信号に基づいて最適第１信号を演算する演算ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】電極のずれにより生じる誤差を修正可能な静電容量センサを提供すること。
【解決手段】可動電極１２と第１の固定電極１１Ａ及び第２の固定電極１１Ｂとの間に蓄積された静電容量を検出する静電容量センサ１００において、固定電極１４と第１の固定電極及び固定電極と第２の固定電極の間のそれぞれの静電容量の絶対値を検出する検出手段と、前記静電容量の絶対値の逆数に比例した値を感度にかけることにより、電極のずれにより変動した感度を補正する補正手段３０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

検出素子と、検出素子から電磁場が放射されるように検出素子に結合された発振器（３０）とを含む、物体の位置を測定するための位置センサ（１０’）および方法。信号を提供するように構成された出力素子の出力が、発振器（３０）の電気特性の変化に依存して変動する。検出素子に対する物体位置の変化が、発振器（３０）の電気特性を変化させる。検出素子は、所定の物体位置で信号を乱すように構成された少なくとも１つの不連続点を含む。あるいは、検出素子の近くで温度の変化に対して信号を補正するように構成された温度補償機構がある。
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【課題】移動ストロークを最大限活用しながら、位置検出の精度の良い、小型の慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材１と、振動基板３と、移動手段２と、導電体からなる移動体４と、移動体４と対向する振動基板３の面に設けられた電極３１、３２と、移動体４と電極との間に介在する絶縁膜３１０と、移動手段２を往復運動させるための電圧を印加するとともに、移動体４と電極との間に静電気力を作用させることにより振動基板３と移動体４との間に生じる摩擦力を制御するための電圧を印加する駆動手段と、移動体４と電極３１、３２の対向部分の静電容量に基づいて振動基板３に対する移動体４の位置を検出する位置検出手段７と、移動体４側面の移動方向に対して設置され、移動体４側面と電極３１、３２との静電容量の影響を遮断する静電遮断手段６とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出可能なステージの位置変動検出装置を提供する。
【解決手段】固定体に設けられた第１の固定電極と、前記ステージに設けられた第１移動電極とで構成された第１コンデンサ部、前記固定体に設けられた第２の固定電極と、前記ステージに設けられた第２移動電極とで構成された第２コンデンサ部、および、前記第１コンデンサ部および前記第２コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源、を備え、前記第１コンデンサ部の電気容量と前記第２コンデンサ部の電気容量とのうち、いずれか一方の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に対して前記ステージを移動させたとき、前記第１コンデンサ部の出力波形と前記第２コンデンサ部の電出力波形の位相がずれるように構成される。 （もっと読む）

【課題】省スペースかつ低コストである手段により、シリンダに対するピストンの位置、ひいてはピストン棒の位置を検出できる位置調整要素を提供する。
【解決手段】本発明は、一端を閉止され加圧状態にある流体で充填されているシリンダと、シリンダ内を軸線方向に変位可能でありシリンダを第１の作業室と第２の作業室とに分割させているピストンと、ピストンの片側に配置され第１の作業室を貫通して密封案内装置を介して密封状態でシリンダの他端から突出するピストン棒とを備えた位置調整要素に関し、位置調整要素（１）はピストン棒の位置および該位置調整要素の突き出し長さを検出するための測定装置を有する。 （もっと読む）

【課題】磁性流体を用いた非接触の変位ゲージを提供する。
【解決手段】
本発明は磁性流体を用いた非接触の変位ゲージである。磁性流体を用いて薄いテープ状のフィルム内に充填し、磁性流体フィルムゲージを歪ゲージのように被測定体の表面に接着することで、被測定体の材質によらず、被測定体と一定距離の位置に磁性流体フィルムゲージと対抗する位置に置かれた磁性流体検出手段によって、被測定体の変位、回転角、ひずみ、応力、トルクなど測定することができる。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上し得る容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】加速度センサでは、接続部３４により、センサ基板１０ａのセンサ基板電位パッドＰｗと回路基板２０ａの回路基板電位パッドＰｂとを電気的に接続し、これら両基板の電位を、Ｃ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａに供給される所定の基準電圧Ｖref に等しく設定する。これにより、Ｃ／Ｖ変換回路２１に供給される電源電圧Ｖddにノイズが重畳したとしても、センサ基板１０ａ、回路基板２０ａおよびＣ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａ、のいずれにも当該ノイズがほぼ同じタイミングかつほぼ同じレベルで侵入するため、例えば、オペアンプ２１ａの特性により当該ノイズを打ち消すことができる。したがって、電源電圧Ｖddに重畳したノイズの影響をＣ／Ｖ変換回路２１が受け難いため、物理量の検出精度を向上することができる。また、誤検出も防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高温度下で広い歪範囲に亘って歪測定をすることができる歪測定装置を提供すること。
【解決手段】測定対象物表面の歪に応じて第二電極が第一電極の内側へ進退移動することにより、これらの電極が構成するコンデンサの静電容量が変化するように構成した歪測定装置であって、第一電極、及び第二電極は、温度５００℃以上で酸化されない金属材料からなり、かつ、この金属材料は、温度５００℃以上において５ＭΩ以上の絶縁抵抗を有する絶縁支持体により支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成において簡易であると共に、検出応答性を改善し、さらに温度などの外乱に対するタフネスも向上させるようにした位置検出装置を提供する。
【解決手段】固定側１０ａに固定される２個の導電板１２，１４と、変位側１０ｂに固定されると共に、複数個の導電体と対向した位置に配置される変位側導電板１６と、固定側導電板に互いに異なる位相で電力を供給する電源１８，２０と、２個の固定側導電板と変位側導電板の間でそれぞれ生じる静電容量比を電位変化の位相として検出する位相検出回路３０と、検出された位相から変位量または絶対角を演算する演算回路３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】機械的設置誤差及び駆動方向と測定方向との間の不一致による誤差を低減できる、面積変化測定方式の接触型容量性変位センサを提供する。
【解決手段】本発明の接触型容量性変位センサは、固定平板と、前記固定平板上に形成されて周期性パターンの導電体を有する固定導電性パターンとを備える固定要素と、移動平板と、前記移動平板上に形成されて周期性パターンの導電体を有する移動導電性パターンを備え、前記固定要素と互いに接触し、相互に対して相対的変位を起こすように移動可能な移動要素と、電力を前記センサに供給する電源と、前記固定要素と前記移動要素との間の電気容量の変化を検出する信号検出手段とを含む。前記固定要素及び前記移動要素は、それぞれ対応する導伝性パターンと関連する絶縁膜を有し、上記固定導電体と上記移動導電体が相対的に移動する時に、これらの間で重なった領域が変動するにつれてこれらの間で前記電気容量の変動が発生する。 （もっと読む）

歯が設けられた少なくとも二つのインターデジタル化されたコムを備え、一つのコムの他のコムに隣接する歯の端部の断面積が、他のコムから離れた歯の端部の断面積より大きい可変コンデンサであって、ジャイロ計および加速度計に用いることができる。 （もっと読む）