【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】迷光が回路要素に入射するのを防止できる光学リードヘッドを提供する。
【解決手段】リードヘッドとスケールトラックとの測定軸方向に沿った変位を測定するための光学リードヘッドは、スケールトラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、モノリシック検出器構造と、を備える。モノリシック検出器構造はスケールトラックからのスケール光を受光するように構成された第１トラック光検出器部と、第１金属層と、第２金属層と、第１金属層と第２金属層との間に形成された複数のダミービア３７１と、を備える。複数のダミービア３７１は、第１金属層と第２金属層の間の層を通り抜ける光の伝達を遮るように配置され、かつ、複数のダミービア３７１はモノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】中心射影方式に基づく回転式位置測定装置について、検査光路上における個々の構成部材間の最適でない間隔についてより影響度を抑え、及び／又は検査すべき被検査物の汚れの影響を極力受けないようにすること。
【解決手段】光源１０と、被検査物２０を備えたスリット板と、検出装置３０とを備える構成とするとともに、スリット板を光源１０及び検出装置３０に対して回転軸Ｒを中心として回転可能とし、相対回転時に回転角度に応じた位置信号を検出装置３０によって検出可能であり、回転軸Ｒ上の光源１０を被検査物２０から第１の距離ｕだけ離間させて配置し、検出装置３０を、第１の距離ｕとは異なる第２の距離ｖだけ被検査物２０から離間させて配置した。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、基準位置を示す基準位置パターンと位置情報パターンとを有するスケールと、スケールに光を照射する光源と、光を変調させる変調信号を生成する変調部と、変調信号に基づいて変調された変調光によって位置情報パターンを検出した位置情報信号に基づいて、スケールの位置情報を検出する位置情報検出部と、変調光によって基準位置パターンを検出した検出信号を出力する基準位置受光部と、検出信号に基づいて、基準位置を検出する基準位置検出部と、を備え、基準位置検出部は、光を変調することによって生じる基準位置の変位を補正する補正部を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】スケール基板上に形成された目盛部が、その上面側を保護するスケールカバーで保護されたスケールの目盛保護構造において、目盛部が水分等の目盛劣化成分により経時的に劣化することを抑制する。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたスケールカバー１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記スケール基板と前記スケールカバーの間の前記目盛部の側方全周囲を、目盛劣化成分の浸透を阻害するガラス粉末（粉末材料）３２が混合された接着剤で封止し、周囲接着層３０を形成した。 （もっと読む）

【課題】走査検知光路において構成要素が互いに理想的な方向を向いていない、または使用条件が理想的でない時でも、最大可能な品質を保証する走査検知信号を提供する。
【解決手段】測定方向に延伸するインクリメント目盛を有する基準尺と、光源と一つまたは複数の格子およびディテクタアセンブリを含んだ走査検知ユニットが設けられ、ディテクタアセンブリは検知面に配設された複数グループのディテクタ要素で構成され、測定方向に相対移動する場合に、検知面で生じる周期性縞模様の走査検知結果から、位相のずれた複数の走査検知信号を生成するようにディテクタ要素の前には、同じ位相の走査検知信号を伴うグループでは、ディテクタ要素の面積の合計が、他のグループのディテクタ要素の面積の合計と同一であり、かつ、ディテクタ要素の面重心が、他のグループのディテクタ要素の面重心と同一であるようにグループが形成されるようにブラインド構造を配設する。 （もっと読む）

【課題】光検出器からの発生する熱を良好に放熱する光学式エンコーダーを提供する。
【解決手段】反射型光学式エンコーダー１００は光源１１０とスケール１２０と光検出器１３０と支持基板１４０と光源スリット１５０とを備えている。光源１１０はスケール１２０に向けて光ビームを射出し、スケール１２０は光源１１０に対して移動する。スケール１２０は周期的な光学パターン１２４を有し、照射される光ビームを反射・変調する。光検出器１３０はフォトディテクターアレイ１３２を有し、スケール１２０によって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する。光源１１０と光検出器１３０は共に支持基板１４０に取り付けられている。光源スリット１５０はスリットパターン１５４を有し、スリットパターン１５４が光源１１０の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ１３２が形成された光検出器１３０の面に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】測定目盛面に対して直角な軸を中心にして、測定目盛を備えた基準尺体に対して相対的な走査検知ユニットの傾斜に対して鈍感な高分解能の光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】光源２１により発せられた光束が測定目盛１１に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われる。走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛２４を介してリフレクタ要素２５に当たり、そして測定目盛１１の方向への反射を受け、そのとき測定目盛１１へ向かう経路で第一走査検知目盛２４を通過する。再び測定目盛１１に当たった後に、走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素２２を介して検知ユニット２６方向へ方向転換される。そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】交差する二つの基準尺を備えた光学式位置測定装置を、二つの基準尺間の走査検知間隔を追加して測定できるようにする。
【解決手段】走査検知尺が二つの方向Ｘ，Ｙの第一または第二方向で、基準尺が両方向のそれぞれ別の方向で延伸しており、基準尺が第一および第二方向に対して直角な第三方向Ｚで、走査検知尺に対し走査検知間隔ｄだけオフセットして配設され、さらに光源ＬＱを備え、その光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの交点で走査検知尺Ａを通過し基準尺Ｍに当たって、走査検知尺Ａに向かって戻りディテクタに到達し、光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの光学的機能構造において回折により異なった分光に分割されて再び一緒にされ、第一方向Ｘで走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間が移動する時に、分光の干渉によりディテクタで周期的な信号を発生する。そこで、走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間の走査検知間隔ｄが変化する時に同じく、ディテクタで周期的な信号が発生する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの走査検知格子および少なくとも一つの測定目盛を有する目盛板の間の相対移動を検出するための光学式角度測定装置を提供する。
【解決手段】その走査検知格子は直線走査検知格子として構成されており、目盛板には測定目盛として、第一および第二組合せラジアル円環格子を含み、そしてミラーを有している。それにより入射する光束が走査検知格子で、まず二つの分光光束に分割される。その分光光束が、第一組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が、ミラーの方向に進み、そこで第二組合せラジアル円環格子の方向に反射される。その分光光束が、引き続いて第二組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が走査検知格子の方向に進み、そこで分光光束の重ね合わせが生じる。 （もっと読む）

【課題】検出部取付・調整の際の作業性を向上させる。
【解決手段】測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を受光する受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理する信号処理装置と、検出ヘッドと信号処理装置との間で信号の伝送を行う信号伝送手段とを備え、信号処理装置又は信号処理装置に接続された情報処理装置にスケールに対する検出ヘッドの取り付け姿勢を示す情報を表示する表示手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】位置情報の検出精度を高めることができる。
【解決手段】所定の固有周波数で振動する振動子（４０）と、前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板（１０）と、前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部（３０）と、前記検出部から出力された検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する計測部（６０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体間の相対位置の変化を同じ測定点で多次元的に計測する。
【解決手段】エンコーダ１は、光分岐面３０上の互いに交差する２方向のそれぞれで照明光Ｌ０を分岐させる分岐部３と、光分岐面３０上で上記の２方向のいずれとも交差する方向に照明光Ｌ０を走査させる照明系２と、分岐部３に対して相対移動するスケール５と、上記の２方向のうちの第１方向にて分岐した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２と第２方向にて分岐した第２の光Ｌ２１、Ｌ２２とをスケール５に導くとともに、スケール５上で第１の光Ｌ１１、Ｌ１２のスポットＳ１１、Ｓ１２を第２の光Ｌ２１、Ｌ２２のスポットＳ２１、Ｓ２２と重ねる光学系４と、スケール５を経由した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２及び第２の光Ｌ２１、Ｌ２２を検出する検出部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して分解能を向上させつつ、製造等を容易にすることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法を提供する。
【解決手段】
回転格子が形成されたリング状の第１トラックＴＡ及び第２トラックＴＢを有するディスク１１０と、第１トラック及び第２トラックに対向して固定配置され、固定格子を有して回折干渉光を検出する第１検出部１３０Ａ及び第２検出部１３０Ｂと、を有し、第１トラックの複数のスリットは、湾曲スリットとして形成され、第１トラックに対向する第１検出部は、第２検出部が対向する位置におけるスリットの接線ＬＩＮＥＢに対して、第１トラックの回折格子に含まれるスリットの接線ＬＩＮＥＡが平行となる位置に配置される。 （もっと読む）