【課題】光学エンコーダの利得とオフセットを動的に調整する。
【解決手段】光学エンコーダにおける利得とオフセットを動的に調整する方法は、回折格子を含むエンコーダ・ディスクを提供する段階と、前記エンコーダ・ディスクに光を照射する段階と、前記回折格子から回折された光を検出しかつ第１の細カウント・チャネルを出力するように構成された検出器を提供する段階と、前記第１の細カウント・チャネルの第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットを計算する段階と、前記第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットに基づいて、前記第１の細カウント・チャネルからサンプリングされたデータに補正を適用する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能することができる。
【解決手段】 発光素子チップ４３および受光素子チップ４４を、発光素子形成面および受光素子形成面を基板４２に対向させてフリップチップ実装する。基板４２は、全体を不透明に構成すると共に、出射光用の第１光透過部４２aと入射光用の第２光透過部４２bとを有する。基板４２のチップ４３,４４が実装されていない裏面側に、反射型移動体４７を配置する。また、基板４２のチップ４３,４４が実装されている表面側に、透過型移動体４９を配置する。こうして、発光素子チップ４３からの斜め成分光の反射型移動体４７による反射光を、受光素子チップ４４で受光する一方、発光素子チップ４３からの横成分光の透過型移動体４９の透過光を、受光素子チップ４４で受光することによって、透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】ステッピングモータが正回転、逆回転又は不回転のいずれの状態かを検知する。
【解決手段】モータ回転検知装置３はセンサ５、パルス板(光通過制御部材)、記憶部４０５及び判定部４０７を備える。センサ５は投光部７と受光部９を含む。パルス板はモータ１３が正回転することにより一方の方向に回転し、かつモータ１３が逆回転することにより他方の方向に回転して、投光部７から受光部９へ照射された光が通過する量を経時的に三段階異ならせる。記憶部４０５は投光部７からの光がパルス板に照射されて、受光部９で受光されることにより受光部９から出力され、受光量に応じて異なる大きさの出力信号について、モータ１３が正回転の状態、逆回転の状態及び不回転の状態のうち少なくとも二つの状態の場合のデータを予め記憶している。判定部４０７は受光部９から出力される出力信号を記憶部４０５に記憶されているデータと比較して、モータ１３が正回転、逆回転、又は不回転のいずれの状態か判定する。 （もっと読む）

【課題】紫外光より長波長の光を照射した場合にも、結露制御機能部材あるいはクリーニング機能部材として機能させる信頼性保持機能部材を提供する。
【解決手段】ＰＤ１３およびＶＣＳＥＬ１２のうちの少なくとも一方の機能を含む光機能素子を内部に収納すると共に、外部と光機能素子（ＰＤ１３、ＶＣＳＥＬ１２）との間で光を透過可能とするための光透過構造（ガラス部材１４）を有するセラミックパッケージ１１と、このパッケージの光透過構造の表面に薄膜状に形成され、可視光の波長以上の波長を吸収する材料からなる、結露防止機能部材および清浄化機能部材の少なくともいずれか一方の機能を含む透過性の信頼性保持機能部材１５を有し、この信頼性保持機能部材１５は、ＴｉＯ２にＣｕもしくはＦｅのいずれかを担持してもの、あるいは、Ｎ２ドープを行ったＴｉＯ２、あるいは、Ｗ０３にＣｕもしくはＰｄのいずれかを担持してもの、を構成成分として有する。 （もっと読む）

【課題】測定目盛面に対して直角な軸を中心にして、測定目盛を備えた基準尺体に対して相対的な走査検知ユニットの傾斜に対して鈍感な高分解能の光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】光源２１により発せられた光束が測定目盛１１に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われる。走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛２４を介してリフレクタ要素２５に当たり、そして測定目盛１１の方向への反射を受け、そのとき測定目盛１１へ向かう経路で第一走査検知目盛２４を通過する。再び測定目盛１１に当たった後に、走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素２２を介して検知ユニット２６方向へ方向転換される。そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】トラック数を増やさなくても高分解能なアブソリュートエンコーダ、絶対位置検出装置、及びアブソリュートエンコーダの信号パターン配置作成方法を提供する。
【解決手段】信号パターンを読み取り可能なセンサと、センサと相対的に移動可能とされ、センサに読み取られてＫ（Ｋ＞２）段階に分かれてセンサ出力される信号パターンを有する信号トラックを含む基体と、を含むアブソリュートエンコーダとする。また、前記アブソリュートエンコーダと、センサ出力の検出結果に基づいて、センサと基体との絶対位置を算出する演算装置とを有する絶対位置検出装置とする。 （もっと読む）

【課題】所望の検出精度を保持しつつ薄型化を実現した光学式センサを提供すること。
【解決手段】光学式センサ1を次のように構成する。すなわち、光を検出する光検出器102と、前記光検出器102が埋め込まれ、少なくとも３層から成る基板104と、を光学式センサ1に具備させる。ここで、前記基板104は、少なくともカバー層104aとスペーサ層104bとベース層104cとを有し、且つ、前記光検出器102に対する電気的導通部である配線１０８Ｗが設けられている。 （もっと読む）

【課題】スケールの基材の厚さ方向の変形に因る検出誤差を低減し、高精度に測定を行える測長スケール、光学式変位検出装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学式変位検出装置１に用いるスケール部（測長スケール）１０において、所定の厚さを有する長尺な基材１１と、基材１１の長手方向に沿って光透過部および光不透過部を交互に備えた平面状の光学格子１２と、を備え、光学格子１２は、基材１１を厚さ方向に二等分する中心面Ｇ上に配されている。 （もっと読む）

【課題】受光素子が十分な光量を得ることができる小型光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】光学式エンコーダ１はスケールトラック２’を有するスケール２と、スケールトラック２’に光を出射する光源３１と、光源３１からスケールトラック２’に出射される光を透過するスケール側レンズ３２と、スケール側レンズ３２を介してスケールトラック２’によって反射された光を受光する受光素子３３とを有する読取ヘッド３とを有する。光源３１は、スケール側レンズ３２と受光素子３３との間に配設される。光源３１の光軸Ｌｓｒｃは、スケール２の読取方向においてスケール側レンズ３２の光軸と一致し、スケール２の読取方向に直交する方向において、スケール側レンズ３２の光軸Ｌｓから所定距離Ｄだけ離隔されている。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いて、スケール上の光学格子の解像が必要な方向（測定軸方向）の精度、特性を維持したまま、当該解像の必要のない方向（測定軸方向に直交する方向）における光源と開口の幅を広げることで、受光素子で受光する光量を増大させる。
【解決手段】光源１０２から出射された光を、スケール１０６に設けられた光学格子１１０で変調させて、変調された光を受光素子１２２で検出する光電式エンコーダ１００において、光学格子１１０で変調された光を結像する両側テレセントリック光学系１１４を備え、両側テレセントリック光学系１１４は、光学格子１１０で変調された光の一部を透過させると共に、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａよりも方向Ｙで広い幅ｂの開口１１８Ａを備え、方向Ｙの光源１０２の幅ｄｙによる光源側開口数ＮＡ_{ｌｉｇｈｔｙ}が、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａによる検出側開口数ＮＡ_ｏｐｔｘよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いながら小型の検出器ユニットを可能とすると共に、検出器ユニットの受光面に到達する光量を増大させて高精度な位置測定を可能とする。
【解決手段】光学格子１１４が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対峙して測定軸方向Ｘに相対移動可能に配置される検出器ユニット１２０と、を有する光電式エンコーダ１００において、スケール１１０に対峙して光学格子１１４に光を照射する面発光光源である有機ＥＬ素子１２４と、光学格子１１４で変調された光を検出器ユニット１２０の受光面に結像させる両側テレセントリック光学系１３０と、を検出器ユニット１２０に備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光体照射源を含む変位エンコーダを提供する。
【解決手段】位置を感知する光学式エンコーダは、均一に分布された蛍光体を含む比較的広範な蛍光体エリアの少なくとも一部分を飽和させる第１のレベルの強度均一性を有する一次放射線を生成することによって動作する照射源を含む。蛍光体エリアは、一次放射線を吸収し、かつ蛍光体放射線を放射して、エンコーダスケールパターンを照射する。スケールパターンは蛍光体光を空間的に調整し、および蛍光体光の空間変調されたパターンは、光検出器配列によって感知される。少なくとも部分的には、蛍光体を飽和させるため、蛍光体光は、第１のレベルの一次光強度均一性よりも均一な第２のレベルの蛍光体光強度均一性を有し、それにより、エンコーダの精度を高める。均一な蛍光体照射強度が、少数の構成要素を用いて広範囲にわたって経済的に提供され、かつ光路長を、特にスケールに対して垂直な経路長を最小にする。 （もっと読む）

【課題】更に薄型化されたエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダが、移動体に光を照射する面発光素子と、移動体により透過または反射された光を検出するセンサ部と、センサ部により検出された光に基づいて、移動体の位置を検出する検出部と、面発光素子と移動体との間に配置され、光のうち少なくとも一部を所定方向の平行光として射出する偏向素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止されたエンコーダの迷光によるエンコーダ信号の劣化や外部への影響を低減することができる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】相対的に移動する固定体と移動体のいずれか一方に取り付けられた検出ヘッドと、検出ヘッドに対向して、固定体と移動体の他方に取り付けられ、所定ピッチの光学パタンを有する第２格子７１が設けられたスケール７とを備えた光学式エンコーダであって、検出ヘッドは、スケール７に所定の光を照射するＬＥＤ２と、ＬＥＤ２からの光を透過する光透過部材３と、光検出素子が所定のピッチで複数形成された光検出部４とを有し、光透過部材３には、所定ピッチの光学パタンを有する第１格子３１と、ＬＥＤ２からスケール７の第２格子７１へ至る光を絞るための開口絞り３２と、が形成されており、ＬＥＤ２からの光を光透過部材３を介してスケール７に照射した後、スケール７の第２格子７１により反射または回折した光が光検出部４の光検出素子上に形成するイメージの動きを検出する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、しかも、相対位置検出系と原点検出系とで検出ヘッドとスケールとの間のギャップ合わせ無しに、相対位置検出と原点検出とを可能とする。
【解決手段】光検出器６上のＰＤアレイ６１との間で相対移動する方向に対して所定のピッチ、例えば均一なピッチｐ２のスケールパタン９１を形成したスケール９を設け、このスケール９に形成されたスケールパタン９１は、複数の格子のデューティを変調した少なくとも１組の光学パタンが形成されている。 （もっと読む）

【課題】所謂３重格子エンコーダの第１格子と第３格子との高さずれを抑える、すなわち第１格子と第３格子に相当するＰＤアレイを含む受光素子面との高さずれを抑えること。
【解決手段】変位検出される一方の部材に取り付けられたスケール９と、一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、スケール９に対向して配置されるセンサヘッド２と、スケール９に設けられ、相対移動する方向に形成された第２格子９１の光学パタンとを備え、センサヘッド２は、スケール９に光を照射する光源４と、この光源４からスケール９に照射されて光学パタンを経た光を受光する受光面を有し、当該受光面上に形成される光分布を検出する光検出器６と、光源４とスケール９との間の光路上に配置される第１の光透過部５０と、スケール９と光検出器６との間の光路上に配置される第２の光透過部７０と、第１の光透過部５０と第２の光透過部７０との間を繋ぐ接続部１００とを有する光透過部材５とから成る。 （もっと読む）