【課題】 圧電単結晶振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電単結晶振動子およびこの圧電単結晶振動子を用いて構成された圧電振動ジャイロを提供することにある。
【解決手段】 圧電単結晶振動子１において、４つのアーム部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄがつながっている中央部に、検出電極１５、１６、１７、１８および基準電位電極１９を覆い隠すように形成されている絶縁膜２０により、各々の電極は電気的に絶縁され、他電極との短絡不良の発生を防ぐことができ、信頼性を高めつつ、歩留の向上を可能にする。 （もっと読む）

【課題】歪みや振動などによる影響を受けることなく振動特性の安定化を図ることができる振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサは、角速度を検出する振動素子１Ｘ，１Ｙと、振動素子１Ｘ，１Ｙと電気的に接続され当該振動素子１Ｘ，１Ｙを支持する支持基板２と、支持基板２と電気的に接続され外部接続端子３を有する中継基板４と、支持基板２と中継基板４との間に配置され、これら支持基板２と中継基板４間における歪み及び振動の伝達を減衰させる緩衝部材（バネ部材）５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】駆動のＱ値を上げつつ、検出のＱ値を上げるのを抑えて、駆動電圧、消費電力を抑えつつ、角速度印加時のオーバーシュートを防ぐことを可能とする。
【解決手段】第１基板１００に設けられた支持部１２に一端側が支持された弾性支持体１３と、前記基板１００から離間した状態で前記弾性支持体１３の他端側に支持された振動子１１と、前記振動子１１の変位を検出して信号を出力する変位検出部１４とを備えた慣性センサ１において、前記振動子１１は前記振動子１１の駆動方向と平行方向に溝および貫通孔１５の一方もしくは両方が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ケースの外面に複数の突起を形成することにより、積極的に渦を生じさせ、気流の剥離を遅らせて圧力を高め、空気抵抗を低減することを目的とする。
【解決手段】本発明による空間安定装置は、ケース(3)の外面(3e)に複数の突起(20)を設け、この突起(20)により渦を生じさせて空気抵抗を低減させ、空間安定装置(2)の空間安定性を向上させる構成である。 （もっと読む）

【課題】寄生容量の低減が図れ、生産工程の増加及び得られる製品コストの上昇の抑制を図ることができ、かつ得られる製品についてその設計自由度を大きくできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】配線部55ｂ2等の配線部が所定の空間80を空けて配置される３条の分離配線７2で構成されるようにマスクが配置されて、単結晶シリコン層76がエッチングされ、さらに、シリコン酸化膜75がＨＦを用いた等方的エッチングによりエッチングされる。このため、分離配線７2と基板10との間には、空気層81が適切に形成され、これに伴い、寄生容量を低減できる。エアブリッジ構造の配線膜を有する従来技術に比して、配線膜形成工程等の実行が不要となるため、工程の複雑化を回避でき、これに伴い、製品の低廉化を図ることができる。 （もっと読む）

（１００）および（１１１）シリコン基盤上に実装された容量式バルク超音波ｘ・ｙおよびｚ軸ジャイロスコープが開示される。典型的なジャイロスコープは、ハンドル基盤・ハンドル基盤に支持されたバルク超音波共振素子・共振素子の周りの非常に小さい容量式間隙によって隔離された複数個の電極からなる。電極は共振回路内で少なくとも２つの変性バルク超音波共振モードを励振し検知可能である。小型化されたサイズ・ノイズとバイアス安定性・広い帯域を向上させる高いＱ、そして向上された対衝撃性において優位性がある。加えて、高いＱは大気圧または大気圧に近い圧力においても維持され、それはコストとジャイロスコープのパッケージング時のウエハー規模の複雑性を削減している。バルク超音波モードを用いるジャイロスコープ１０にとっては、通常電気的ノイズによって制限される、最小可観測回転各速度は、従来手に入る振動型マイクロジャイロスコープに比べると、複数桁のオーダーの違いで改善することが可能である。
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【課題】温度および電源電圧の変動に対しても安定した出力信号を提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサ１は、振動子１００と、モニタ回路１１０と、振幅調整回路１１４と、駆動回路１１２と、振動子の検出電極から得られる信号を増幅し検出信号を出力する増幅回路２０２、２０４と、２つ以上の検出信号を差動増幅し差動増幅信号を出力する差動増幅回路２０６と、差動増幅信号をモニタ信号で同期検波し検波信号を出力する同期検波回路２０８と、検波信号のノイズを取りフィルタ信号を出力するフィルタ回路２１６と、環境温度に依存した温度信号を出力する温度センサ２１４と、感度信号に対して、温度補正と電源電圧の変動に対して比例に変動する温度補償型レシオメトリック回路３００と、からなり、振動ジャイロセンサ内のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路を有し、静止時電圧とオフセット電圧がレシオメトリック特性となるようにした。 （もっと読む）

【課題】超小型電気機械システム（MEMS）ジャイロを作成するシステムにおいて、ジャイロの歩留まりを高める。
【解決手段】テストシステム２０と製造システムからなるシステムにおいて、モータバイアスマップの生成と該モータバイアスマップに基づいてMEMSジャイロを生成することにより、ウェハ当たりの使用可能なMEMSジャイロの歩留まりを高めることができる。システムは、ウェハ上で深反応性イオンエッチャ２２用の最適モータバイアス経路を決定するように構成された要素を備えたプロセッサ３３、ウェハ上で各ジャイロに最も近いものと算出された最適モータバイアス経路に対応した向きに該ジャイロのパターンをインプリントするステッパ３５及びウェハにジャイロをエッチングする深反応性イオンエッチャ３７を含む。 （もっと読む）

【課題】安定して高い精度で力学量を検出することができる力学量検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、対の振動子２０_−１，２０_−２を備え、作動時に、それぞれの振動子が逆位相に励振されるように前記振動子の駆動電極２８_−１〜２８_−４に駆動電圧を印加した駆動状態を形成し、その駆動状態における振動子の変位に基づいて力学量を検出する力学量検出装置において、前記振動子が励振されない非駆動状態において、前記振動子に対して直流電圧Ｖ_Ｂをを印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる成分の信号が容易に分離可能な状態で、３軸方向の角速度が検出可能な振動子において、より安定した振動特性が得られるようにする。
【解決手段】各脚部の外側部分に架設されている３つの梁部１３１，１３２，１３３を備え、梁部１３１は、梁要素１３１ａと梁要素１３１ｂから構成され、梁部１３２は、梁要素１３２ａと梁要素１３２ｂから構成され、梁部１３３は、梁要素１３３ａと梁要素１３３ｂから構成されているようにした。例えば、梁要素１３１ａ及び梁要素１３２ｂは、脚部１２３と同様に、ｙ１軸に沿って延在し、梁要素１３１ｂ及び梁要素１３３ａは、脚部１２２と同様に、ｙ３軸に沿って延在し、梁要素１３２ａ及び梁要素１３３ｂは、脚部１２１と同様に、ｙ２軸に沿って延在している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よく漏れ振動を抑制することができる機構を備えた、電磁駆動方式の角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ９９は、コリオリ力を検出する電磁駆動式角速度センサであって、固定部材４と、固定部材４に対して第１の方向１に変位可能なように固定部材４に支持された振動質量体１０と、振動質量体１０に対して第１の方向１に交差する第２の方向２に変位可能なように振動質量体１０に支持された検出質量体１１と、振動質量体１０に形成され、かつローレンツ力により振動質量体１０を第１の方向１に変位させるための駆動配線１２と、振動質量体１０に形成され、第１の方向１に延在する変位調整配線１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】慣性センサにおける振動により誘導されるバイアス誤差を低減する適応回路及び方法を提供する。
【解決手段】プルーフマス及び検知電極を有する慣性センサにおける振動や衝撃により誘導される誤差を低減するための適応回路は、検知バイアス電圧源と、電荷増幅器と、慣性センサに対する外部振動や衝撃を検出及び／又は予測する手段と、慣性センサに対する外部振動や衝撃に応答して、選択的にプルーフマスのダンプ及び／又は電荷増幅器の利得感度の調整を行う手段とを含む。プルーフマス運動をダンプするためにダンプ用抵抗エレメントを使用できる。また、電荷増幅器の出力するレート信号の利得感度を、慣性センサに対する外部振動や衝撃に応答して調整することができる。動作中、ダンプ及び／又は利得感度を調整して、検知回路で信号飽和又はクリッピングが発生するのを防止し、振動や衝撃の期間中に慣性センサが機能することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】焦電効果による電界の発生を防止した簡単な構成の光導波路変調器の実現。
【解決手段】基材11と、基材11内の上面の直下に設けられた光導波路12,13,14と、基材11の上面上の光導波路13,14の両側に設けられた制御電極15A,15B,16A,16Bと、を備える光導波路変調器であって、基材11の上面上の制御電極の両側に設けられた２つの接地電極21,22と、２つの接地電極21,22を接続するボンディングワイヤ23と、を備える。 （もっと読む）

【目的】斜め振動の抑制を容易にして機械的強度やＣＩを維持した角速度センサ素子を提供する。
【構成】音叉基部から一対の音叉腕が延出した音叉状水晶片を備え、前記音叉腕の幅方向となる音叉振動を駆動する駆動電極と前記音叉腕の厚み方向となる垂直振動による電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記一対の音叉腕の斜め振動を防止する切削部を前記音叉腕の根元部にレーザによって設けた角速度センサ素子において、前記切削部は前記音叉腕の主面における幅方向の両端側の少なくとも一方とし、前記音叉腕の主面方向からの前記レーザのビーム径に依存して 〜 μｍとした複数の微小穴の集合体から構成される。 （もっと読む）

【課題】基板上に浮いた状態で設けられ電極部から延設される配線を取り出すために必然的に生じる分断領域を有する梁構造体の剛性を部分的に高めることができ、梁構造体の、検出とは関係しない部分の熱応力や慣性力による変形を防止して安定した出力を得ることができる力学量検出装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板２上に浮いた状態で設けられる梁構造体３の変位にともなう可動電極３ａ〜３ｆ及び固定電極９ａ〜９ｆ間の静電容量の変化に基づいて梁構造体３に作用する力学量を検出する力学量検出装置１において、梁構造体３に設けられ少なくとも一部が該梁構造体３の長尺部分により形成されて配線１１〜１３が配設される分断領域１０に、梁構造体３を上方に迂回させるとともに前記長尺部分を補強するブリッジ構造（補強ブリッジ２０）を架設した。 （もっと読む）

【課題】 振動子の相対運動の間、機械的リンク要素により引き起こされる振動子内の応力を減少させる２軸振動ジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】 本発明の２軸振動ジャイロスコープは、（a）第１電極の組を搭載するベース・プレートと、（b）前記ベース・プレート上方に配置される振動層とを有する。前記振動層は、（x）前記ベース・プレートに固定されたアンカ部分と、（y）前記アンカ部分に、一体型のスプリング構成を介して、それぞれがリンクされる４個の振動子と、これにより有効回転中心の周囲で、対応する振動子の同一面内の角度変位が可能となり、（z）前記隣接する振動子の間をリンクする機械的リンク要素と、記振動子の一つが、同一面内の第１の角度変位を受けると、前記機械的リンク要素は、前記振動子のうちで隣接する振動子の同一面内の反対の角度変位を生成し、を有する。前記機械的リンク要素は、前記有効回転中心に対し接線方向に伸びる少なくとも一つの部分を有する。 （もっと読む）

【課題】磁気方位センサの誤差や荒天時の風などの外乱に左右されることなく、より安定して姿勢／方位の初期データの精度を向上させることができる慣性航法装置を実現する。
【解決手段】移動体搭乗者のヘルメットに取付けられたジャイロセンサと加速度計の出力を利用して当該搭乗者頭部の位置や姿勢を求める慣性航法装置において、ジャイロセンサおよび加速度計の出力を補正するセンサ誤差補正計算部と、センサ誤差補正計算部により補正されたジャイロセンサおよび加速度計の出力を利用して頭部の位置や姿勢を計算するとともに、頭部の位置や姿勢の計算結果を補正する航法・姿勢方位計算部と、頭部が静止状態にあるときに航法・姿勢方位計算部より出力される速度データを速度誤差として利用し、センサ誤差補正計算部で使用するセンサ誤差データを校正するとともに、姿勢／位置誤差データを校正する誤差推定計算部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子を用いた発振回路で起動時間の早い圧電発振回路が求められていた。
【解決手段】 本発明は、圧電素子と、発振回路からなる圧電発振回路において、発振開始時に使用する起動発振用回路と定常時に使用する定常発振用回路とを持ち、発振開始時に使用する起動発振用回路と定常時に使用する定常発振用回路とを切り替える切り替え回路を備え、起動時と定常時とを判断する判断回路を備えた圧電発振回路により、より早い起動特性を得ている。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で、発振ループ内の振幅制御を高精度で実現し、発振の起動時間を短縮できる発振回路、物理量トランスデューサ及び振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】 発振回路１０は、発振ループ内の発振振幅を制御するためのゲインコントロールアンプ２０と、発振振幅に応じてゲインコントロールアンプ２０のゲインを調整するための制御電圧を出力するゲイン制御回路３０とを含む。制御電圧をＶｃ、ゲインをｋとした場合に、発振ループ内の発振が定常状態か起動過程かにかかわらず、Ｖｃ×ｋの値が一定である。 （もっと読む）

【課題】不感域のない安定化半導体レーザジャイロを提供する。
【解決手段】本発明は、回転速度又は相対角度位置の測定に用いる半導体レーザジャイロに関する。このタイプの装置は特に航空用途に使用される。本発明の目的は、不感域を除去する特殊な光学装置を用いて、レーザの不安定性を制御するのに必要な光学装置を完成させることにある。これによって、可動部品がなく、安定でかつ不感域のない「完全に光学的な」半導体レーザが得られる。これらのデバイスは、特に、相反光学回転子（５）と非相反光学回転子（６、９）とを含み、２つの対向伝播光学モードがモードロッキングを回避するに十分な異なる周波数において共振器（１）内を伝播するように配置される。 （もっと読む）