【課題】電源電圧の変動にともなう基準電圧の変動に関わらず、検出精度が高く、安定した角速度検出装置の出力を得られる角速度検出装置を提供する。
【課題の解決手段】角速度検出装置は、振動子１０１に接続され、この振動子１０１を駆動するとともに振動子１０１に加わる角速度を検出してアナログ検出信号を出力するジャイロセンサ検出回路１０２と、出力されたアナログ検出信号をデジタル信号に変換するA／Ｄ変換器２と、変換されたデジタル信号に基づいて演算処理するデジタル演算処理装置３とを、少なくとも備えてなり、ジャイロセンサ検出回路１０２に対する基準電圧とＡ／Ｄ変換器２に対する基準電圧とを同一の基準電圧生成回路４から供給するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動振動系が受けたコリオリ力を直接的に検出振動に反映させるようにすることで、振動特性を安定させた角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの駆動腕３と、駆動腕３の両端を支持する枠２と、枠２および駆動腕３を含む検出振動系１１の振動を検出する検出腕４と、を有する単位構造を少なくとも１つ備える。 （もっと読む）

【課題】 駆動振動の振幅が変動したとしても、検出しようとする物理量に対する検出感度を一定に保つことを可能とすること。
【解決手段】 物理量トランスデューサ１００と発振ループを形成し、物理量トランスデューサに駆動振動を励振する発振駆動回路２００と、物理量トランスデューサから出力されるアナログの検出信号を検波回路３０８によって検波した後、検波された信号を、Ａ／Ｄ変換器３１６によってデジタル信号に変換して出力する検出回路３００とを含み、発振駆動回路２００は、駆動振動の振幅を検出する駆動振幅検出回路２０８を有し、検出回路３００に含まれるＡ／Ｄ変換器３１６の基準電圧（ＶｒｅｆＨ，ＶｒｅｆＬ）の電圧レベルは、駆動振幅検出回路２０８の検出出力信号（Ｖａｍｐｔｄ）に基づいて制御される。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて振動子と台座部間の位置ずれ等を抑制でき、出力感度のばらつきを抑制できるジャイロセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 支持基板１１上に凸状の台座部１３を支持基板１１と一体で形成し、台座部１３の周囲を絶縁層３５で埋める。次に、平坦化された台座部１３の上面１３ａ及び絶縁層３５の上面３５ｂにＳｉ基板３８を接合する。次に、Ｓｉ基板３８を振動子形状に加工する。次に絶縁層３５を除去する。これにより従来に比べて振動子１２と台座部１３間の位置ずれ等を抑制でき、出力感度のばらつきを抑制できるジャイロセンサを簡単且つ適切に形成できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電デバイスとそれを用いた電子機器及び自動車の衝撃信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、底面１１と、底面１１にその一端が配置された可撓性部材１２と、可撓性部材１２の他端により中空保持された圧電振動子１３とを備え、圧電振動子１３の下面側において底面１１の裏面１１Ａに対して略平行に水平保持部材１４が設けられた圧電デバイスとしたものである。
この構成により、圧電振動子１３の底面１１に対する水平性が失われようとするのを、底面１１と圧電振動子１３との間に介在させた水平保持部材１４が抑制するため、衝撃信頼性を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】帰還回路網と演算増幅回路を有する負帰還回路において、帰還回路網内の帰還抵抗の値が大きい場合は、寄生容量と帰還抵抗による極により回路の安定性を損なう。この結果、利得の周波数特性にピークが生じる、異常発振する、などの現象が起こる
【解決手段】反転入力端子と非反転入力端子と出力端子とを備える演算増幅回路と、反転入力端子と出力端子とを接続する帰還回路網とを備える信号処理回路であって、帰還回路網が持つ極のうち最も低い周波数の極を、演算増幅回路の持つ複数の極よりも低い周波数にする。これにより、帰還回路網の極を主要極として利用するため、使用可能な帯域を帰還回路網の極の周波数によらず広げることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、周期性を有するジッタノイズが検波タイミングの位相誤差として発生するということはなく、出力特性が安定している角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、センス回路８１とドライブ回路４１とにタイミング信号を出力するタイミング制御回路７１に、定電圧出力器１２８ａと電圧制御発振器１２９を有するＰＬＬ回路１２１と、振幅判定回路１２４を設け、さらに前記ＰＬＬ回路１２１には、前記振幅判定回路１２４の出力信号に応じてタイミング信号を切り替えるタイミング切替手段１２８を設けたものである。 （もっと読む）

互いに相対移動可能な複数の電極を備える容量性素子の利得の補正方法であって、符号が反対で且つ測定可能な残留磁界を発生させる閾値より小さい共通の値（ε）を持つ低減された直流バイアス電圧を複数の電極の一方に連続して印加するステップ（１０、１２）と、容量性素子からの出力信号を測定するステップ（１１、１３）と、平均値を取得するステップ（１４）と、測定された前記出力信号に応じて前記容量性素子の利得を補正するステップ（１９）と、を含む方法。
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【課題】本発明は、角速度センサに強い加速度が負荷された際に、角速度が加わっていないにも関わらず、あたかも角速度が発生しているかのような誤った出力信号が発生してしまうということがない出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、振動子２１を内側に収納したケース３０全体の重心５７と、ケース３０を周囲から支持する少なくとも３つの端子４４の支持点を結んで形成した多角形の図心５８とが略同一位置になるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構造で製作が容易であり、かつ信頼性の高い角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】 円柱状の空間１を間に配して上下に対向する電極２ａ，２ｂが、空間１の中心部から外周部にかけて複数個配列されてなる容量電極２と、空間１の中心部に配置された誘電体ブロック３と、誘電体ブロック３の周囲の空間１に充填された弾性部材４とを具備する角速度センサ装置９である。空間１の角速度に応じた遠心力と弾性部材４からの応力とがつり合う位置で誘電体ブロック３が静止して容量電極２に生じる静電容量を変化させるため、あらかじめ弾性部材４の変形に伴う応力を測定しておくことにより、誘電体ブロック３の質量および位置と、応力（遠心力）とを基に角速度を算出し検知することができる。 （もっと読む）

【課題】衝撃印加に強く、信頼性も高い回転率センサおよび多軸検出型回転率センサを提供することを目的とする。
【解決手段】検知素子と回路部が収納され、かつ、検知素子と回路部とが電気的に接続されると同時に、回路部への入出力信号を伝達するための配線が施されたセラミックス製の気密容器２と、この気密容器２の外側表面の一平面に連接され、気密容器２に施された配線と電気的に接続するためのパッド電極３と、さらに気密容器２に貼着されたシリコンゴム４とを備えた構成からなる。 （もっと読む）

【課題】自己較正型の容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロを提供する。
【解決手段】閉ループ・モードで動作される容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロを有する。自己較正システムは、容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロスコープに動作提供に結合されている。ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正は、ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することによって実現される。 （もっと読む）

【課題】 複数の励振方向を備えた角速度センサにおいて、励振モードの安定化と小型化を同時に実現する技術を提供すること。
【解決手段】 角速度センサ１１０は、３つ以上の角速度検出ユニット１０１，１０２，１０３を備えている。連結部１２０は、各角速度検出ユニット１０１，１０２，１０３のマス部４０を連結している。角速度検出ユニット１０１は、水平方向（ｙ軸方向）のマス部４０の振動を検出する水平方向検出手段６０を備えている。角速度検出ユニット１０２，１０３は、垂直方向（ｚ軸方向）のマス部４０の振動を検出する垂直方向検出手段８０を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リード線が圧電振動子を支持する圧電デバイスにおいて、その電気的信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電振動子１４が第１、第２のリード線１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂの他端により中空保持されており、第１のリード線１２Ａ、１２Ｂにおいて回路パターン及び圧電振動子１４に接していない部分の少なくとも一部と、第２のリード線１３Ａ、１３Ｂにおいて回路パターン及び圧電振動子１４に接していない部分の少なくとも一部とを連結する連結部１６Ａ、１６Ｂが設けられた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、第１の電極膜３４ａが５００ＭＰａ以上１５００ＭＰａ以下の引張応力を有することで、さらに耐熱性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】加速度センサや角速度センサのようにバルクマイクロマシニング技術により形成したＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の小型化や薄型化と、高感度化を両立しつつ、ＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の実装構造を簡易化する。
【解決手段】ＳＯＩ基板のシリコン層１０２上にＭＩＳＦＥＴや配線を有する集積回路を形成し、ＳＯＩ基板の基板層１００を加工して、構造体１２５を含むＭＥＭＳセンサを形成している。すなわち、ＳＯＩ基板の両面を使用して、１つのＳＯＩ基板に集積回路とＭＥＭＳセンサを搭載する。そして、集積回路とＭＥＭＳセンサとは、ＳＯＩ基板の内部に設けられている貫通電極１２１によって電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】電気的接続のための端子部を備える振動子を支持するための支持装置であって、振動子を小型化することが可能であり、かつ各支持装置ごとの振動子の振動特性の変動を抑制できるような、新規な支持装置を提供する。
【解決手段】本支持構造は、基板１１、および基板１１上に支持されており、振動子１に対して接合されているボンディングワイヤ９、１０を備えている。ボンディングワイヤが振動子１の端子部６に対して電気的に接続されている。振動子１がボンディングワイヤによって基板１１に接触しない状態で支持されている。 （もっと読む）

【課題】 振動子本体及び重錘と支持部材との接合が容易で、しかも両者をしっかりと接合できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 振動子本体３のＸ軸方向の両端にＸ軸方向とＹ軸方向とに広がる一対の板状の重錘５を配置する。振動子本体３が３次元方向に動くように、一対の重錘５のそれぞれのＹ軸方向の両端部を４つのバネ状部材７でベース部材１に支持する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサにおいて、参照信号の信号レベル変動に対するセンサ出力の出力レベル変動を低減し、感度を一定とする。
【解決手段】参照信号に基づいて駆動する駆動回路と、この駆動回路によって駆動されることで外部から印加された物理量を電気信号に変換するセンサ素子と、このセンサ素子の出力信号を増幅する増幅回路とを有する物理量センサにおいて、駆動回路は、参照信号に基づいて前記センサ素子の駆動信号を一定レベルとなるように制御し、増幅回路は、参照信号の変動、又は、駆動回路の駆動信号の変動に対して、出力信号を逆方向に増幅する増幅率特性を備え、増幅回路の増幅率を、前記参照信号又は駆動回路の駆動信号の増減と逆比例させる。 （もっと読む）