【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子０と、当該角速度検出素子０に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部１とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部１は、角速度検出素子０から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子０から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路３０を備える。このノイズキャンセル回路３０中の振幅調整回路４にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するＮＭＯＳＦＥＴとＰＭＯＳＦＥＴとの各々の基板電位をソース又はＧＮＤ・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・ＧＮＤにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。 （もっと読む）

【課題】角速度変換ゲインの変化や、オフセットの変化が少ない、コリオリの力による角速度検出精度の良いジャイロセンサ用の制御回路を提供する。
【解決手段】振動子２４と、振動子２４に接続され、振動子２４を駆動する駆動部１００と、振動子２４に接続され、クロック信号ＣＫを出力する発振部２００と、振動子２４に接続され、振動子２４の検出信号ＳＥＮを受信し、コリオリの力による角速度を検出する検出部３００とを備え、駆動部１００は、振動子２４からの振動子振動モニタ信号ＴＦＤＭを受信する入力ＩＮと、振動子２４を駆動する駆動部１００の出力ＯＵＴ間の位相差がゼロである制御回路４００。 （もっと読む）

【課題】測定精度を高めることが可能な新規なリングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】本発明のジャイロは、周回光路１０、ファラデー回転子１３、周回光路１０を互いに逆方向に進行する第１および第２のレーザ光を発生させるための光増幅手段、光取り出し手段（光結合器１５）、受光素子（フォトダイオード２０）、および、周回光路１０を第１の状態と第２の状態との間で切り替えるための手段（光路切り替えスイッチ１８）を備える。周回光路１０は、環状の第１の光路１１と環状の第２の光路１２とを含む。第１の状態では、第１のレーザ光が第１および第２の光路１１および１２を時計回りに進行する。第２の状態では、第１のレーザ光が第１の光路１１を時計回りに進行し、且つ、第２の光路１２を反時計回りに進行する。第２の状態におけるフォトダイオード２０の出力を用いて、第１の状態における回転角速度の検出が構成される。 （もっと読む）

開示されるマイクロ加工ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）は、外部温度及び応力の影響をほとんど受けないように設計されている。ＤＲＧは、角速度を測定する振動型ジャイロスコープであり、外部温度及び機械的な応力に対する感度が低くなるように設計される。ＤＲＧは、集積された絶縁体を特徴とし、この集積された絶縁体は、電極ウェハと同じウェハ上に作製されて、複数の集積絶縁梁を形成する。更に、ＤＲＧは、ウェハレベル気密真空封止部、フリップチップボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）、及び垂直電気貫通接続部を含むことにより、信頼性を高め、製造コストを低減することができる。追加の支持層は、衝撃緩和部、垂直電気貫通接続部、及びフリップチップＢＧＡと一緒に使用することができる。ゲッター及び衝撃緩和部を内蔵するパイレックスキャップまたは石英キャップを用いることができる。
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【課題】高い信頼性を有し、かつ容易に、種々の方向の検出軸に対して対応することができる物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、パッケージ１０と、パッケージ１０に収容されている支持基板２０と、支持基板２０の上方に支持されている振動子４０と、を含み、パッケージ１０は、第１底面１２と、第１底面１２より低い位置にある第２底面１４と、を有し、支持基板２０は、第１底面１２に固定されている第１固定部２１と、第２底面１４に固定されている第２固定部２２と、第１固定部２１と第２固定部２２との間に位置し、パッケージ１０の外側底面１８に対して傾斜している橋梁部２３と、第１固定部２１と橋梁部２３との間に位置する第１屈曲部２４と、第２固定部２２と橋梁部２３との間に位置する第２屈曲部２５と、を有し、第１屈曲部２４および第２屈曲部２５の剛性は、第１固定部２１および第２固定部２２の剛性に比べて小さい。 （もっと読む）

【課題】 安定で良好な特性を維持しつつ、小型化が可能で、ウェハ基板内に多数配置して量産化を図ることが可能な圧電音叉振動子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 矩形平板状の基部と、基部と同一の厚さで同一平面内で互いに平行に配置され、その一辺に一端を連結されたｎ本の振動アームからなる圧電音叉振動子において、振動アームの幅をＷ１、振動アームの互いの間隔をＷ２、基部の振動アームが連結された辺の幅をＷ３とするとき、Ｗ３＝２ｎ×Ｗ１＋（２ｎ−１）×Ｗ２をほぼ満たす関係にある。製造においては、基板上に振動アームの先端を直線状となるように配列した第一の列１０１と、第一の列１０１を１８０度回転した向きに配列した第二の列１０２とを互いに対向して配置し、第一の列１０１の互いに隣接する圧電音叉振動子パターンの振動アームの間に第二の列１０２の振動アームを配置する。 （もっと読む）

【課題】各センサー素子の特性を発揮でき、長期な特性の変動を抑えた小型の複合センサーを提供すること。
【解決手段】パッケージ３０に圧力の高い空間９０と圧力の低い空間８０が形成され、圧力の高い空間９０に加速度センサー素子４０が配置されているので、低いＱ値が得られ、圧力の低い空間８０に振動型角速度センサー素子５０，６０が配置されているので、高いＱ値が得られ、加速度センサー素子４０および振動型角速度センサー素子５０，６０の特性を十分発揮できる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバージャイロスコープ（ＦＯＧ）のための環境変動に強いファイバーデポラライザを提供する。
【解決手段】デポラライザは、実質的に、時計回りの伝播レッグ３２と反時計回りの伝播レッグ３４とを含み、ジャイロスコープの検出コイル３６の端部のところで離れて連結される。ファイバーデポラライザは、セグメント結合された高複屈折フォトニック結晶ファイバーから形成される。ファイバーデポラライザは、ＦＯＧ２０におけるシュッペ効果を低減し、および／または、ＦＯＧの光学回路におけるいずれの位置でも光を脱偏光させる。シュッペ効果を低減するデポラライザは、ＦＯＧ検出コイルから離れてパッケージでき、またはＦＯＧ検出コイルの外径上に対称なパターンで巻くことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部材に電気機能素子を実装した電子部品およびその製造方法に関し、温度特性の改善を目的とする。
【解決手段】本発明は、支持部材（パッケージ）３に電気機能素子（加速度センサ素子）２を実装した電子部品において、電気機能素子２を支持部材に接合する接着層１０を、接着剤７を二度の硬化工程を経て形成された台座８部分と、接着剤９を一度の硬化工程により硬化させた接着層１０部分で構成することにより、電子部品における温度特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、振動子の高次振動による誤差を抑制すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための励振駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、温度を検出する温度検出手段と、発熱可能な発熱手段と、前記温度検出手段により検出された温度が、前記振動子の高次共振周波数と励振振動の周波数の奇数倍が一致する温度となるのを回避するように前記発熱手段を作動させる温度制御手段と、を備える角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】確実に発振でき、発振起動時間を短縮できる発振駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動装置は、所与の電圧を基準に、前記発振ループ内の信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレーターと、前記発振ループ内の発振を検出する発振検出器と、前記発振検出器の発振結果に基づいて、スイッチ制御信号を生成する信号発生回路と、前記発振ループ内の振動子と前記コンパレーターの出力との間に挿入されたスイッチ回路とを含み、前記スイッチ回路は、発振起動過程において、前記コンパレーターの出力と前記振動子とを電気的に接続する期間と前記振動子に所与の設定電圧を供給する期間とを前記スイッチ制御信号に基づいて交互に切り替える。 （もっと読む）

【課題】本発明の３軸検出角速度センサは、Ｘ軸周りおよびＹ軸周りの角速度による出力信号が相互に干渉するということはなく、出力信号が安定している３軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明の３軸検出角速度センサは、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３軸方向に変位可能な質量部２１のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の駆動周波数を互いに異ならせるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型のセンサ素子を用いるセンサ部品に関して振動型センサ素子を有するセンサ部品の温度変化に伴う不要信号出力を抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明は、振動型のセンサ素子を密封するパッケージ８を複数のリード端子２７を介して樹脂ケース９の内部空間に支持するセンサ部品において、リード端子２７の樹脂ケース９とパッケージ８の間に設けられ複数のリード端子２７を所定間隔で整列させる枠体３０を設けるとともに、この枠体３０とパッケージ８の間に空隙３１を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、デジタル信号配線パターンに発生する高周波のノイズ信号が、容量結合により、振動子アナログ信号配線パターンの出力信号に影響を及ぼすことはなくなり、これにより、出力信号の安定したものが得られる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、基板１１の凹部１２における内底面と同一面から上側にかけて振動子アナログ信号配線パターン１８を有するアナログ層１７を設けるとともに、凹部１２における内底面と同一面から下側にかけてデジタル信号配線パターン２１を有するデジタル層１９を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】振幅検出回路１０１は、物理量センサの自励振動に応じたモニタ信号Ｓｍｎｔの振幅値Ｄ１０１を検出する。波形整形回路１０２は、モニタ信号Ｓｍｎｔをパルス信号Ｐ１０２に変換する。パルス振幅変調回路１０４は、振幅値Ｄ１０１に応じてパルス信号Ｐ１０３の振幅を調整して、物理量センサの自励振動を制御するためのドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔをデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔに変換する。振幅検出回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅値の平均値Ｄ１０７を検出する。デジタル・アナログ変換回路１０３は、振幅検出回路１０２によって得られた平均値Ｄ１０７をアナログ平均値Ｖ１０３に変換する。可変利得増幅回路１０４は、デジタル・アナログ変換回路１０３によって得られたアナログ平均値Ｖ１０３に応じて増幅利得が可変であり、その増幅利得に従ってモニタ信号Ｓｍｎｔを増幅または減衰させてドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の形状精度にバラツキがあっても、安定した共振周波数が得られる圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、圧電基板３の板厚の0.5倍よりも薄い電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の共振周波数は圧電基板３の所定位置に振動の節と腹を形成する周波数信号の周波数であり、下面電極４の電極厚を変更することで変化し、圧電基板３の板厚の0.5倍よりも薄い電極厚の範囲内に共振周波数の下限極値を有し、共振周波数が下限極値となる値から電極厚から離れるほど、共振周波数の変化割合が大きくなる特性を有するものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、安定して移動体の運動を精度よく推定することができるようにする。
【解決手段】画像撮像部１２によって異なるタイミングで複数の画像を撮像し、運動推定候補算出部２０によって、撮像した複数の画像に基づいて、自車両の運動推定候補を複数算出する。また、ジャイロセンサ１４によって、自車両のヨー角速度を計測する。信頼度判定部２２によって、算出された複数の運動推定候補の各々について、信頼度を判定する。運動検証部２６によって、ジャイロセンサ１４によって計測されたヨー角速度、及び信頼度判定部２２によって判定された複数の運動推定候補の各々の信頼度に基づいて、複数の運動推定候補のうちの何れか１つを、自車両の運動の推定結果として選択する。 （もっと読む）

【課題】バイアス安定性の向上を図る。
【解決手段】ジャイロブロックを角振動させるディザ機構を備え、ジャイロブロック内のリング状光路に両方向にレーザ光を発振・伝播させ、角速度入力により生じる２つのレーザ光の発振周波数差を、２つのレーザ光の重ね合わせにより生じる干渉縞を光検出器で検出して角速度を検知するリングレーザジャイロにおいて、レーザ光のビームインテンシティを検出する光強度検出器と、光強度検出器が検出したビームインテンシティを時間微分するビームインテンシティ時間微分演算部と、光強度検出器が検出したビームインテンシティとビームインテンシティ時間微分演算部が演算したビームインテンシティ時間微分値と光検出器によって検出された角速度とが入力され、補正演算した補正後角速度を出力するビームインテンシティ補正演算部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
物理量センサにおいて、複数の圧力容器を持つ複合センサを長期信頼性を確保しつつ低コストで実現する。
【解決手段】
外気とつながる溝を有する圧力容器を封止する特殊条件と、その溝を封止しない通常条件からなる多段階ウェハ接合封止条件で、複数の減圧封止構造を有する複合センサを低コストで実現する。プロセスの具体例としては、ガラスとシリコンウェハの陽極接合プロセスにおいて、外気とつながる溝のない圧力容器を封止する公知の通常条件で陽極接合したのち、同一の接合装置内で特殊条件として接合温度をガラスの軟化点近傍に設定することにより、ガラスを軟化させるとともに、ウェハ全面を高荷重で加圧することにより、ガラスを変形させ、外気とつながる溝を埋めるように陽極接合する。 （もっと読む）