【課題】 回路規模の増加を抑えつつ、高い精度の電流電圧変換を行い、低ノイズの電圧信号を出力する電流電圧変換回路等を提供する。
【解決手段】 電流電圧変換回路１０であって、電圧信号１０１Ｐ、１０１Ｎを出力するオペアンプ２０と、入力された電流信号１００Ｐ、１００ＮのＤＣオフセット電流に応じた電荷を充放電する第１のキャパシタ４０Ｐ、４０Ｎと、オペアンプのオフセット電圧に応じた電荷を充放電する第２のキャパシタ４１Ｐ、４１Ｎと、第１の期間においてオン状態となり第２の期間においてオフ状態となる第１のスイッチ３０Ｐ、３０Ｎおよび第３のスイッチ３２Ｐ、３２Ｎと、第１の期間においてオフ状態となり第２の期間においてオン状態となる第２のスイッチ３１Ｐ、３１Ｎとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバージャイロスコープにおける改良された光パワー制御システム及び光パワー制御方法を提供する
【解決手段】光ファイバージャイロスコープのためのシステム及び方法が提供される。１つの実施の形態では、光ファイバージャイロスコープは、光学経路を通って光を送信する光源に結合された光源電流サーボ機であって、該光源を作動させる電流を供給する光源電流ドライブを介して、光学経路を通る光の強度を制御する、光源電流サーボ機構と、光検出器を介して光学経路に結合された強度制御信号プロセッサであって、該強度制御信号プロセッサは、光源電流サーボ機構に強度制御信号を出力し、該強度制御信号は、光検出器で受信された光の強度の関数である、強度制御信号プロセッサとを備え、光源電流サーボ機構は、強度制御信号を安定したアナログ電圧基準と比較して、光源電流ドライブを調整し、光検出器における光パワーを一定のレベルに向けて駆動する。 （もっと読む）

【課題】良好な真空封入を維持しかつできるだけ変らない外側のチップ寸法を維持して、ボンディングされた表面マイクロメカニック構成部分の安定性を高める。
【解決手段】マイクロメカニック式のキャップ構造はサブストレート１０を有し、サブストレート１０には空洞Ｋが設けられている。空洞Ｋは方形の基面と互いに向き合った平行な側壁区分から成る２つの側壁区分対とを有する。空洞Ｋの基面に相応するダイヤフラムの局部的な補強は安定化ビームＳＫ１，ＳＫ２を有する安定化クロスによって達成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角度ズレや位置ズレが発生しないように、安定して実装基板に搭載することができつつ、高耐振動性を有した、低背で小型な加速度および角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加速度および角速度を検出する半導体素子１と、半導体素子１に接続される複数の端子２と、端子２の一部と半導体素子１とを一体にモールドしたパッケージ体とを備えた加速度および角速度検出装置８において、複数の端子２はパッケージ体４の一辺に沿って配列され、パッケージ体４における前記一辺に沿う方向に垂直な方向の長さ寸法Ｌ２が、前記一辺に沿う方向の長さ寸法Ｌ１に対して短くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 温度変化だけでなく製造ばらつきや周波数の変化に関わらず振動子の励振電流の振幅を一定にする駆動回路等を提供する。
【解決手段】 振動子６０を励振させる駆動信号２０８を出力する駆動回路１０であって、入力された励振電流２００を電圧に変換する電流電圧変換回路２０と、電流電圧変換回路からの出力電圧２０２を全波整流する全波整流回路３０と、電流電圧変換回路からの出力電圧に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成回路５０と、全波整流回路からの出力電圧を比較電圧と比較して、駆動信号の振幅を調整する比較調整回路４０と、を含み、比較調整回路は、比較電圧を供給する比較電圧供給回路４２を含み、比較電圧供給回路は、定電流源と、電流電圧変換回路が含む第１の抵抗と同じ素材の第２の抵抗とで比較電圧を生成する。 （もっと読む）

【課題】出力変動の影響を低減し、出力安定性を向上させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】Ｙ軸方向に１自由度を持った第１バネ７０を介して一対の角速度検出部１０、２０を一対の駆動フレーム４０、４１に連結し、第１バネ７０を介して一対の駆動フレーム４０、４１を外枠５０に連結する。そして、駆動フレーム４０、４１に連結した外側駆動錘３０、３１を駆動振動させることでＹ軸方向に角速度検出部１０、２０を駆動する。さらに、検出方向であるＸ軸方向に１自由度を持った第２バネ７１を介して外枠５０をアンカー６０で支持する。これにより、角速度検出部１０、２０の駆動と角速度の検出とが分離され、角速度検出部１０、２０の出力に対して角速度検出部１０、２０の駆動成分は含まれない。したがって、他軸成分が原因の出力変動の影響が低減され、角速度センサの出力安定性が向上する。 （もっと読む）

【課題】後方反射による回転速度の不安定性を低減した共振器光ファイバージャイロスコープを提供する。
【解決手段】共振器光学リングキャビティー１０２と、リングキャビティー１０２内に時計回り光学信号を生成するように構成される第１の光源１０４と、反時計回り光学信号を生成するように構成される第２の光源１０８とを備える。また、第１の光源１０４及びリングキャビティー１０２と光学的に結合する第１の光学構成要素１４０は、時計回り光学信号が第１の光源１０４に後方反射されるのを防ぐように構成される。また第２の光源１０８及びリングキャビティー１０２と光学的に結合する第２の光学構成要素１４４は、反時計回り光信号が第２の光源１０８に後方反射されるのを防ぐように構成される。さらに、第１の光学検出器１２４及び第２の光学検出器１２６がリングキャビティー１０２に光学的に結合される。 （もっと読む）

【課題】安定した特性と高い強度を確保して振動子の振動特性を調整する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサは、一方の面に圧電膜、駆動電極、一対の検出電極、及び配線接続端子が形成された振動型ジャイロセンサ素子と、この振動型ジャイロセンサ素子が実装されるランドが形成された支持基板とを備える。前記振動型ジャイロセンサ素子は片持ち梁状の振動子部を有し、前記一方の面側を前記支持基板側に向けて実装されているとともに、前記一方の面以外の領域を、前記振動子部の振動特性調整用の凹部が形成された被加工領域としている。 （もっと読む）

【課題】振動子の起動を確実にし、安定して振動を維持する装置を提供する。
【解決手段】振動子１２と、振動状態を検出する検出アンプ１３と、振動情報を２値化してコンパレータ出力信号を出力する振幅比較器１４と、制御発振器入力信号に応じて周波数が変化する電圧制御発振器１５１と、コンパレータ出力信号と比較信号との位相差信号を出力する位相比較器１５３と、位相差信号の低域成分を出力するループフィルタ１５４と、比較信号に対して予め定める位相差を有する位相シフト信号を出力する位相シフト器２２と、位相シフト信号を入力する駆動アンプ１１と、操作信号を出力する操作信号発生器２１と、制御発振器入力信号として操作信号を選択し、制御発振器出力信号の周波数がキャプチャレンジの範囲となったときに、制御発振器入力信号として位相差情報信号を選択する操作切換器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素で応答速度の速い振動型力検出センサー素子、それを用いた振動型力検出センサー、および、それを用いた振動型力検出センサー装置を提供する。
【解決手段】振動型力検出センサー素子１は、支持部１２、および両主面に励振電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動部１４を有する振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。振動片１０は、振動部１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。振動型力検出センサー２０は、パッケージ３０内に振動型力検出センサー素子１が接合部材９６を介して接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには、例えばアルゴン等の気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消し、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、少なくとも１つのコリオリ素子と、少なくとも２つの検出素子を備えた検出装置とを有しており、この検出装置は、結合装置によって互い結合されており、上記の駆動装置が、コリオリ素子を駆動して振動させるため、このコリオリ素子に接続されており、上記の回転速度センサはさらに、上記の検出装置およびコリオリ素子に接続された別の結合装置を有しており、この結合装置により、上記のコリオリ素子の振動面においてこの振動に直交する方向の偏位が、上記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動要素と検出要素の間の角度関係の調整能力と対称性塊構造体の維持能力の両方を提供する。
【解決手段】振動慣性速度センサは、ノードまたは反ノードの基準線から回転偏位または「スキュー」される軸を画成する作動要素を備える。前記スキューは、別個のノードまたは反ノード基準線に関連し得るか、または同じノード線周りに「分割」される要素型をとり得る。駆動信号と検出信号の両信号は、共通組の検出要素から分解され得る。駆動要素はまた、ジャイロスコープの能動トルクに作用をすべく、振動パターンを回転偏位するスキュー軸角度で作動し得る。スキュー駆動要素は、同じデバイス上のスキュー要素または分割要素と組合わされ得る。スキュー検出要素は、一か複数のノード線を備える振動システムに適用され得る。スキュー駆動要素は、能動トルクに作用すべく二つ以上のノード線を備える振動システムに適用され得る。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消して、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、コリオリ素子（１１３）と、検出装置とを有しており、上記の駆動装置は、コリオリ素子を駆動して振動させるためにこのコリオリ素子に接続されている。上記の検出装置は少なくとも１つのロータを有しており、上記のコリオリ素子の振動面におけるこの振動に直角な方向の偏位を検出装置に結合するため、この検出装置およびコリオリ素子に接続された結合装置が構成されているおり、これによってコリオリ素子が相応に偏位した場合、少なくとも１つのロータを駆動するための回転トルクがコリオリ素子から少なくとも１つのロータに伝達される。 （もっと読む）

【課題】高い平均波長安定性及び信頼性を有するファイバー光源を提供する。
【解決手段】安定した広帯域光ビームを放射するように構成される広帯域光源が提供される。その広帯域光源は、少なくとも１つの光ポンプ源と、偏光ビームコンバイナーを含む光学システムと、固体レーザー媒質とを含む。光学システムは、少なくとも１つの光ポンプ源のそれぞれ１つから、少なくとも１つの光ポンプビームを受信するように構成される。固体レーザー媒質は、光学システムの第１の出力から、実質的に無偏光のポンプビームを受信する。光学システムの第２の出力から、安定した広帯域増幅自然放出が出力される。 （もっと読む）

【課題】熱応力や外部応力によって、力学量の検出精度が低下することが抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】バンプを介して、センサチップと基体とが接続された半導体装置であって、センサチップは、基板と、絶縁層と、半導体層と、が順次積層されて成る半導体基板を有し、半導体基板に形成されたセンシング部は、絶縁層と半導体層から成る、基板に固定されたアンカ部と、絶縁層が除去されて、半導体層から成る、基板に対して浮いた遊動部と、を有し、アンカ部は、固定アンカ部と、可動アンカ部と、を有し、遊動部は、固定アンカ部に支持された固定電極と、可動アンカ部に支持された可動部と、該可動部に設けられた可動電極と、バンプが接続される接続部と、を有し、接続部は、固定アンカ部を介して、固定電極と接続された固定接続部と、可動アンカ部を介して、可動部と接続された可動接続部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】共振器内の偏波変動によって正確な回転速度の測定が損なわれるのを抑制する。
【解決手段】Ｒ−ＦＯＧ１に備えた共振器１１は、ファイバレーザＦＬからの光波を時計方向（ＣＷ）と反時計方向（ＣＣＷ）に伝搬させるループ状の導波路としてＰＭＦ１２を有し、このＰＭＦ１２中に偏波軸を90°回転させる偶数個のスプライス箇所１３，１４を設けて構成される。この共振器１１からの出力によって、被測定対象の回転速度を測定する。共振器１１の偏波変動を抑制するためのフィードバック制御を行なう制御手段として、信号入力部２１，ＦＰＧＡ２２，及び信号出力部２３を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型で、角速度の検出精度が高い振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、蓋板５０Ａの主面法線方向をＺ軸とした直交座標形のＹ軸に沿って隣り合う２つの駆動質量部１３Ａ，１３Ｂの間に検出用固定構造部２Ａ，２Ｂの支柱部（２１）を配置し、駆動質量部１３Ａ，１３Ｂと支柱部（２１）との間それぞれに検出質量部１７Ａ，１７Ｂを配置し、支柱部（２１）と検出質量部１７Ａ，１７Ｂとの間それぞれに櫛歯電極を配置する構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子に外部から伝搬する振動等の影響を排除して、角速度、加速度等の物理量を高精度にて検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子２１を、前記検出素子の特性を測定するためのケースに電気的に接続するためのワイヤ６３の剛性のみで空間に保持し、接着剤による接着応力などの影響を除去したものである。 （もっと読む）

【課題】回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な固定構造を提供すること。
【解決手段】回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部１０を基体１２に固定するための物理量検出部固定構造１００は、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の並進運動をもたらし得る基体１２からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部１４と、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の回転運動をもたらす基体１２からの回転エネルギーを物理量検出部１０に伝達する回転エネルギー伝達部１６、１８とを備える。 （もっと読む）