【課題】センサを密封する、MEMSセンサ・パッケージを提供する。
【解決手段】MEMSセンサ・パッケージは、MEMSセンサと、第1のリーク・レートでガスリークに浸透するセンサボディと、埋め戻し圧力までセンサボディに加圧する埋め戻しガスと、を有し、埋め戻し圧力は、MEMSセンサの減衰を提供し、埋め戻し圧力は、ガスリークのためのセンサボディ内の圧力の増加が、MEMSセンサ・パッケージに関する少なくとも特定の設計サービス寿命に関する所定の範囲を越えて、MEMSセンサのQ値の偏差に生じさせないようにセットされる。 （もっと読む）

【課題】錘部が振動腕部の振動（振幅）に追従せずに振動腕部の振動とは異なる振動をしてしまうことを防ぎ、振動腕部の振動の安定化、および振動腕部の振動周波数を安定化する。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく（太く）、且つ先端錘部５の腕幅Ｗ２より小さい（細い）腕幅Ｗ１を有して形成された中間錘部４を備えることで、中間錘部４を振動腕部３の振動（振幅）に追従させる。さらに中間錘部４の腕幅Ｗ１より大きい（太い）腕幅Ｗ２を有して形成された先端錘部５を備えることで、振動腕部３および中間錘部４の振動（振幅）に追従させるので、振動腕部３の振動特性を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有する、高信頼性角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】金属板を用いたコアメタル層と配線構造を備えた配線層とを有するメタルコア基板とコアメタル層上に固定された角速度を検出するための半導体素子と配線層に固定されたキャップとそのキャップとメタルコア基板とで構成される中空室内に角速度を検出するための半導体素子が配設され、これらを樹脂によりモールドするようにすることで、角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型のセンサ素子を用いた角速度センサ装置に関し、検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明はセンサ素子１とこれを制御する制御ＩＣ２とからなる角速度センサ装置において、センサ素子１に設けられる駆動手段５および検出手段６を電極で圧電体層７を挟み込んだ積層体で形成するとともに、一方の電極を駆動回路１１或いは検出回路１２に接続して他方の電極を制御ＩＣ２にて形成される基準電圧Ｖ_refに接続した構成において、他方の電極から基準電圧Ｖ_refに至る接続経路１７に対する断線検知手段１６を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、タイミング信号にジッタを持つことにより、そのジッタ分だけセンス回路における検波動作に位相ズレΦが発生しても、出力信号が変動するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ＰＬＬ回路１２１に位相監視手段１２６を設けてタイミング信号の位相の変動を監視するとともに、タイミング信号の位相の変動により生じる出力信号の変動値をキャンセルするジッタキャンセル値算出回路１３０を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】絶縁溝と絶縁部材とで構成された絶縁部を有する半導体基板において、反りの発生を抑制する。
【解決手段】ミラーアレイデバイス１は、電極基板４を備えている。電極基板４は、その厚み方向に導通し且つ絶縁部５で囲まれることによって周辺の部分から絶縁された駆動電極４１を有している。絶縁部５は、電極基板４の表面４ａから形成された絶縁溝５１と、電極基板の裏面４ｂから埋め込まれて絶縁溝５１内に突出する絶縁部材５２とで構成されている。電極基板４には、電極基板４の応力を緩和するための応力緩和溝６が絶縁部材５２が埋め込まれた裏面４ｂ側から形成されている。 （もっと読む）

【課題】位相調整を自動で行う事により、高い検出感度を常時安定して保つ角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサにおいて、検出部により出力される検出信号から漏れ振動による変位量を抽出する第２同期検波部と、第２同期検波部により検出された振動子の変位量を平滑化する第２平滑手段と、入力した信号の位相を変化させて第１同期検波部へ出力する位相調整部とを有し、位相調整部は、位相調整部に入力した信号の位相を第２平滑手段の出力を角速度に依存させない様に調整して第２同期検波部に出力する事を特徴とする角速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】フィードバックによる出力電圧制御をしていない出力電圧の変動をも補償可能な多電圧出力の高電圧電源装置を小型・低コストで実現する。
【解決手段】１つのトランスを用いて二次側に複数の高電圧を発生させ当該二次側の一方の高電圧出力端子からの出力電圧を一次側にフィードバックしてＰＷＭ制御を行う高電圧電源装置であって、二次側の他方の高電圧出力端子からの出力電圧の変動状態を表す制御信号を出力する制御電圧生成部と、一方の高電圧出力端子に接続され他方の高電圧出力端子からの出力電圧の変動を検知した場合に負荷を変化させることで一方の高電圧出力端子からの出力電圧も追従して低下させる負荷制御部とを備え、他方の高電圧出力端子からの出力電圧が変動した場合にＰＷＭ制御を行うことにより一方の高電圧出力端子からの出力電圧の変動を補償するとともに当該他方の高電圧出力端子からの出力電圧の変動も補償する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１、第２の質量部の振動が固定部を介して外部へ漏れることを低減するとともに、第１、第２の質量部の振動振幅が過大とならないようにでき、これにより、安定で、高精度な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と、第２の質量部２６の固有周波数とに差を設けるとともに、前記第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と前記第２の質量部２６の固有周波数との差を、前記第１の質量部を共振駆動する振動周波数の±３８％以内としたものである。 （もっと読む）

【課題】 時分割駆動方式の角速度センサにおいて、励振方向を切り換える際に切り換え前の方向の振動を早く減衰させる。
【解決手段】 可撓性を有する梁部と、前記梁部を支持する支持部と、前記梁部と結合し前記梁部とともに運動する錘部と、前記梁部に設けられた駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を所定時間毎に切り換えることによって、直交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、前記梁部に設けられた検出用圧電素子を備え、前記検出用圧電素子から出力される検出信号に基づいて、コリオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動をを検出する検出手段と、切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記駆動用圧電素子に印加する静定制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】振動式の角速度センサにおいては、センサを内包する筐体内の圧力変動や、センサ素子，制御回路自体の温度変動，経時劣化等により駆動方向と検出方向の共振周波数の関係が変動しセンサの検出感度が変動する。
【解決手段】振動体からの変位信号を同期検波する同期検波手段と、その出力が常に最大値となるように共振周波数調整電極に与える電圧値を変化させる手段と、その出力を検出軸方向の共振周波数調整電極に帰還させる手段とで構成される。
【効果】温度や圧力の変動や経時劣化等に影響されずセンサの検出感度を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性力を検出するセンサ部品およびその製造方法に関して、センサ部品における製造過程で生じる検出精度の劣化要因を低減することを目的とする。
【解決手段】本発明は、慣性力を検出するセンサ素子１を内蔵した内部パッケージ２を内部に懸架した外装パッケージ３からなるセンサ部品において、外装パッケージ３を側壁３ａと下蓋３ｂとから構成するとともに外装パッケージ３の実装面の略全面にスプレーコーティングによりシール膜２５を被覆するとしたのである。 （もっと読む）

【課題】特別な部品を用いることなく、安定でかつ垂直実装が可能で、かつ製造の容易な回路モジュールを提供する。
【解決手段】少なくとも、主表面である第１の面１０Ａに配線導体層を有するとともに、素子搭載領域を有し、前記第１の面が鉛直方向に沿うように設置される垂直実装用の回路基板と、前記素子搭載領域に搭載される素子チップ２０Ａ，２０Ｂとを有する回路モジュールであって、実装面の中心を通りかつ、前記回路基板１０の前記素子搭載領域形成面に平行な中心面上に、回路モジュールの重心が位置するように形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】時分割検出動作により３軸まわりの角速度を高い精度で検出する。
【解決手段】ＸＹ平面に広がる可撓性支持体の下面中央に振動子を接合し、上面に駆動用素子群と検出用素子群とを配したセンサ本体部３００を用意する。動作信号発生器１００により、振動子を前半周期にＺ軸励振する駆動信号ＤｒＺと後半周期にＸ軸励振する駆動信号ＤｒＸを発生し、マトリクス変換器２００を介して駆動用素子群に供給する。検出用素子群からの信号により、振動子の各軸方向の変位ＳΔｘ，ＳΔｙ，ＳΔｚを検出し、これをスイッチＳＷを介して振動安定期のみＡＭ検波器ＡＭＤおよび駆動信号に同期した同期検波器ＳＤに与える。Ｘ軸振動の振幅Ｆｘａ，位相ＦｘｐとＺ軸振動の振幅Ｆｚａ，位相Ｆｚｐを動作信号発生器１００へ帰還させ、フィードバック制御し、所定の同期検波器ＳＤから出力される信号を３軸の角速度ωｘ，ωｙ，ωｚとして出力する。 （もっと読む）

【課題】高次空間モードからのバイアス誤差が低減された共振器光ファイバジャイロスコープを提供する。
【解決手段】共振器は、少なくとも、ループファイバ９０、２つ又は３つ以上のいずれかのイン／アウト結合素子６０、及び素子を循環ループ内へリンクするコネクタを備える。実施形態のいくつかでは、出力光を入力光から分離するのに方向性素子５３、５４を使用することができる。すべての実施形態において、モードフィルタ８０が共振器内に配置されて、光検出器５５，５６に到達する光が、共振器内の少なくとも１つのモードフィルタにより少なくとも１回フィルタリングされることが保証される。空間モードフィルタリング及び偏光モードフィルタリングの双方を同時に実施できるように、モードフィルタは、空間モードフィルタ（単一モードファイバ又は単一モード導波路等）及び偏光モードフィルタ（偏光素子等）の双方を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】人工衛星、航空機等の姿勢制御装置としてジャイロ機構を適用する際に、ロータのスピン軸回り回転速度を可変とした場合でも、ジャイロ機構の制御性能を維持もしくは向上させることのできるジンバル制御装置を得る。
【解決手段】ジンバル軸回りの回転角度の検出結果に基づく制御演算結果から、ジャイロ機構１０のジンバル・モータ７をフィードバック制御するジンバル制御装置であって、ロータ１のスピン軸回りの回転速度に応じて、ジンバル軸回りの回転角速度あるいは回転角度を制御するためのフィードバック制御ゲインを変化させる制御部９を備える。 （もっと読む）

【課題】 振動型ＭＥＭＳセンサのＱ値を調整する。
【解決手段】 可撓性を有する可撓部と、前記可撓部を支持する支持部と、前記可撓部に連結し前記可撓部とともに運動する錘部と、前記可撓部を振動させる励振手段と、前記錘部に作用するコリオリ力を検出する検出手段と、を備え、前記支持部を固定する固定部と対向する前記錘部の底面に複数の凹部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つの入力／出力結合素子を用いる、回転速度を検出するための、実質的に対称のＲＦＯＧ構成を提供する。
【解決手段】光学結合素子４０、５０は、入力光波および出力光波の両方を制御する。入力／出力結合素子の数を減らし、一方で、ＣＷおよびＣＣＷビームに関して実質的に対称性を備える構成を維持することで、損失を低減し、共振器１０内の光通路の非対称性によるバイアス誤差の発生を防止し、信号対ノイズの性能を増強する。さらに、複数の機能が小型のマイクロ光学装置に統合されたシステムを開示し、これは、組み立ておよびパッケージをより容易にし、コストが低く製造性が改善された小型のＲＦＯＧに寄与する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバセンサ、光ファイバセンサを構成する方法、および光ファイバセンサを使用する方法が提供される。
【解決手段】光ファイバセンサは、ある長さを有する光ファイバコイルと、コイルに光結合されたレーザ源とを含む。レーザ源は、あるコヒーレンス長を有する。レーザ源からの光は、コイルに沿って第１の方向に伝播する第１の信号、およびコイルに沿って第１の方向と反対の第２の方向に伝播する第２の信号としてコイルに伝達される。第１の信号および第２の信号の光路は互いにほぼ可逆的であり、第１の信号および第２の信号は、コイルを通って伝播した後で互いに合成され、第３の信号を生成する。コヒーレンス長は、１メートルより大きいか、または２００ミクロン〜１０センチメートルの範囲である。 （もっと読む）

【課題】振動腕に長溝を形成して電界効率を高めても、安定した屈曲振動を実現できる圧
電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部から延びる複数の振動腕３
５，３６とを備える圧電振動片であって、前記複数の振動腕には、その主面の長手方向に
沿って形成され、内側に駆動電極を備えた長溝３３，３４が設けられており、前記長溝の
先端部において、その幅寸法が先端側に向かって徐々に縮幅する長溝縮幅部３３ａ，３４
ａを備える圧電振動片。 （もっと読む）