【課題】角速度センサ素子の小型化を実現しながら、配線間の短絡やリーク電流を防止することができる角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器を提供すること。
【解決手段】アーム部１０に含まれる複数の電極に接続された配線が、下層配線３’を有する配線レイヤーと、上層配線５５を有する配線レイヤーとに分けられて、基板上のベース部２０に設けられる。下層配線３’は下層電極に接続された配線であり、上層配線５５は上層電極に接続された配線である。よって、上記複数の電極に接続された配線が同一面上に設置された場合と比べて、それぞれの配線レイヤーが有する下層配線３’のパターンにおける配線間の距離、及び、上層配線５５のパターンにおける配線間の距離が大きくなる。したがって、角速度センサ素子１００の小型化を実現しながら、配線間の短絡やリーク電流を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 安定した出力が得られ、出力ドリフトの小さい、低ノイズの圧電振動ジャイロを提供する。
【解決手段】 電流検出回路８の出力を第一の注入信号とし、該第一の注入信号を第一の振幅調整回路を通して加減算増幅回路２、３の反転端子または非反転端子に接続し、また、前記電流検出回路８の出力を９０度移相回路１３を通した第二の注入信号を第二の振幅調整回路を通して前記加減算増幅回路２、３の非反転端子または反転端子に接続することにより前記加減算増幅回路２、３の出力振幅を縮小調整するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る静電容量型の物理量センサは、センサ特性の低下を招くことなく、小型化あるいはセンサの感度を向上させる物理量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】物理量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１支持基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２支持基板と、第１支持基板と第２支持基板の少なくとも一方に設けられ、第１支持基板又は第２支持基板の一方の側と他方の側を導通する配線用端子と、第１支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、フレーム部には前記フレーム部の一方の側と他方の側を導通する貫通配線部が配設され、貫通配線部と前記配線用端子とは電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】安定した感度特性と低い電源電圧抑圧比を持つ角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明に係る角速度センサ素子１０は、駆動用の２本の外側アーム１２Ａ及び１２Ｂと、当該２本のアームの中央に配置された、検出用の一本の中央アーム１２Ｃを有する。各々のアーム１２には、下部電極層１６、圧電層１５、上部電極層１４が積層されてなる圧電機能体１３が設けられている。外側アーム１２Ａ及び１２Ｂに設けられる圧電機能体１３Ａ及び１３Ｂは、駆動用であり、中央アーム１２Ｃに設けられる圧電機能体１３Ｃは検出用である。圧電機能層１３Ｃは、離間して配置された圧電機能層１３Ｃ_１、１３Ｃ_２によって構成される。駆動、検出に係るアーム１２が別々であり、検出用の圧電機能層１３Ｃ_１、１３Ｃ_２が離間していることにより、駆動、検出電極間でのリーク電圧を抑制し、Ｎｕｌｌ電圧、電源電圧変動抑圧比を低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧化の要請に従うように圧電振動子のドライブ電圧の振幅を抑制したまま、振動ジャイロの感度を高める。
【解決手段】振動ジャイロ１の圧電振動子１１は、駆動用電極Ｅａに入力されるドライブ電圧V_drvに基づいて振動し、コリオリ力によって生じる変形により、検出用電Ｅｄ１，Ｅｄ２それぞれに変形に応じた電位差で検出電圧V_agcが生じる。ＡＧＣ回路２３は、検出電圧V_agcが一定振幅となるように、自動利得制御してドライブ電圧V_drvを出力する。位相反転回路２０およびＢＴＬ増幅回路２１は、検出電圧V_agcとは位相が反転し、振幅が増幅されたＢＴＬ電圧V_btlを、検出抵抗１１Ａ，１１Ｂを介して検出用電極Ｅｄ１，Ｅｄ２に出力する。ＡＧＣ回路２３は、ドライブ電圧V_drvが設計上限値V'_drvを超えないように、検出電圧V_agcを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、小型かつ高性能な光ファイバジャイロを提供することである。
【解決手段】 少なくとも、光源と、光ファイバコイルと、該光源より出射される光を分岐して該光ファイバコイル内に導入し右回り光（ＣＷ光）と左回り光（ＣＣＷ光）として周回させ、周回したＣＷ光とＣＣＷ光を合波し、合波された干渉光を放出する光合分波器と、該干渉光を検出する検出器と、該干渉光を該検出器に導く光学部品とを備える干渉型光ファイバジャイロにおいて、 該光源が、少なくとも、発光部と、該発光部を励起する励起光源とを有し、該光源から出射される光の中心波長が４００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲内にあり且つ半値全幅が１ｎｍ以上であることを特徴とする干渉型光ファイバジャイロ。 （もっと読む）

【課題】 特に、振動子を底面が平坦なパッケージに設置でき、また角速度の検出精度に優れたジャイロセンサ及びその製造方法を提供することを目的としている。また、振動子の基部を連結した多連状態で動作試験を行えるようにしたジャイロセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 ＳＯＩ基板３３により形成された振動子２５と、振動子２５を収納するためのパッケージ４０とを有する。振動子２５は、上部シリコン基板１３に形成された基部１７及びアーム部１５，１６と、基部１７下に絶縁層１２を介して下部シリコン基板１１により形成された台座部３４と、を有して構成される。台座部３４がパッケージ底面４０ａに接合され、底面４０ａとアーム部１５，１６との間に、アーム部の下方向への変位に対する許容空間４１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】角速度による振動体の変位信号の位相のずれを補正して、安定的な動作が可能な角速度検出装置を提供することにある。
【解決手段】振動体４は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能である。振動体４を第１の方向に振動させた状態において、角速度の発生により、振動体４が第２の方向に変位しようとする。積分演算器４４，４５および帰還信号生成部４６及びバイアス加算部４７からなるサーボ系は、振動体４の変位を抑制するように外力を作用し、その外力の大きさに基づき角速度を検出する。位相補正演算部４３は、振動体４より出力する角速度による変位量を示す信号を、サーボ系に加算して、位相変動を補正する。 （もっと読む）

【課題】偏光誤差及びバイアス不安定性が低減した干渉方式光ファイバジャイロスコープの最適な設計パラメータを見つける、より正確なモデル化方法を提供する。
【解決手段】バイアス不安定性を低減するコンピュータ実施可能な方法は、コンピュータを用いて第１のデータセットを受信することであって、第１のデータセットは光源１１、光検出器１４並びに光源と光検出器とを結合する複数の光学部品及び複数のファイバ部分を含み、ジャイロスコープのモデル１をコンピュータが生成することを可能にする。スペクトルの波長ごとに、光検出器に到達する相対的光波強度を計算する。相対的光波強度から、信号波強度及びスプリアス波強度を求め、信号波強度からスケールファクタを求める。光源の波長スペクトルにわたって積分し、全スプリアス波強度を得る。全スプリアス波強度及びスケールファクタに基づいて、速度バイアス誤差を求める。 （もっと読む）

【課題】２つの振動部の参照振動のカップリング効率を向上し且つ駆動エネルギの支持基板への漏出を抑制するのに適した角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明の角速度センサＸ１は、Ｘ軸方向とＹ軸方向に振動可能でＸ軸方向に離隔する振動部１０，２０、Ｘ軸方向に延び且つＹ軸方向に離隔して振動部１０，２０を間に配する定在波振動可能な２本のカップリングビーム４０、カップリングビーム４０を支持基板Ｓ１に固定する固定部５０、２本のカップリングビーム４０と振動部１０を架橋する連結部６０、及び２本のカップリングビーム４０と振動部２０を架橋する連結部７０を備え、固定部５０はカップリングビーム４０の定在波振動における不動点箇所にてカップリングビーム４０に接続し、連結部６０，７０はカップリングビーム４０の定在波振動における不動点箇所にてカップリングビーム４０に接続する幅太部６１ａ，７１ａを有する。 （もっと読む）

【課題】パッケージングした振動型ジャイロセンサ素子を良好な共振特性、且つ、高感度にする。
【解決手段】圧電薄膜５の圧電効果を利用して角速度を検出する振動型ジャイロセンサ素子１０をカバー材３０とＩＣ基板２１を用いて大気中でパッケージングし、上部電極６は、振動子１１を振動させる電圧を印加する振動子１１の長手方向に形成された駆動電極６ａと、駆動電極６ａと接触することなく平行に振動子１１の長手方向に形成され、振動の方向と垂直な方向に発生するコリオリ力を検出する検出電極６ｂ，６ｃとからなり、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１が最も振動した場合の変位量である最大変位量の２．５倍以上とした周囲空間が、振動子１１の振動方向に設けられており、振動子１１の振動していない状態での、振動子１１から対向部までの距離を、振動子１１のコリオリ力検出方向の幅の２倍以上とした周囲空間が、振動子１１のコリオリ力検出方向に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確に位相を調整することが可能なＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明のＰＬＬ回路およびそれを用いた角速度センサは、ＡＤ変換器２１が電圧制御発振器２６の出力するタイミング信号により動作し、かつＤＡ変換器２４が分周器２７の出力するタイミング信号でのＡＤ変換器２１の出力する値に応じたアナログ信号を出力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】基部に漏洩する駆動振動を抑圧し、角速度の誤検出を防止する振動ジャイロ素子
、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１
１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出
された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕１３ａ，１３ｂの先端部からそれと直交
して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１
０から延出される４本の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、各梁２０ａ，２０ｂ，２
１ａ，２１ｂの先端に接続する支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂとを同一平面に備
え、各梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂは基部１０より一旦、駆動用振動腕１４ａ，１
４ｂ，１５ａ，１５ｂの延出する方向と略直交する方向に延出されている。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板をエッチングすることで得られる空間に、互いに交叉する３つの周回光路を形成することができる周回光路装置を得る。
【解決手段】光源基板４０の励起光源７１によって励起された光を固体レーザ媒質５１に集光させて発光点４２から第１反射面基板２０にレーザ光を放射するとともに第１反射面基板２０に設けた第２の光源８０から基準平面１１と平面ＰＬ２とに平行な両方向にレーザ光を放射し、第１反射面基板２０の複数の反射面２１〜２８と光源基板４０の反射面４１を利用して反射させ、互いに直交した平面内に３つの周回光路ＬＣ１〜ＬＣ３を容易に形成する。 （もっと読む）

【課題】低ノイズであり、角速度の検出再現性が向上された半導体装置を提供する。
【解決手段】ＸＹＺ三次元座標系内で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ運動できる振動子１００を有する半導体装置において、振動子１００と接触しないように振動子１００が格納される筐体２０１−２０３と、振動子１００をＺ軸方向に往復運動させる駆動手段４０１−４０２と、振動子１００と筐体２０１−２０３とが物理的に接触しないように振動子１００の運動を制御する制御手段５０１−５０６と、振動子１００と筐体２０１−２０３との相対位置の変化量を検出する検出手段６０１−６１０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）

【課題】キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージを得る。
【解決手段】ジャイロ部品を搭載した金属製ステム（１０）に金属製キャップ（２０）を位置決めしてシール封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部（１１）をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジ部（２２）と金属製ステムのフランジ部（１２）との間で電気溶接により接合したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 放射状６脚を有するジャイロセンサ振動体に最適な形状および構造を与えることによって、優れた性能のジャイロセンサ振動体を提供すること。
【解決手段】１個の共通の基部１から互いに６０度ずつの角度をなして１平面内に放射状に配列された６本の振動脚２a〜２ｆを有し、６本の脚のうち一直線に並ぶ２本の脚に前記１平面に平行な方向の脚のたわみを検出する検出電極を設けて検出脚とし、他の脚には前記１平面に垂直な方向の脚の振動を駆動する駆動電極を設けて駆動脚とすると共に、検出脚に平行な方向の回転軸回りの回転角速度を、検出脚を用いて検出するようにし、基部１によって支持を行ったジャイロセンサ振動体。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、気密封止構造を必要とした物理量センサにおいて、外部からのガスおよび水分の流入を防ぐ構造とすることで長期圧力維持が可能である気密封止実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】
気密封止される物理量センサの封止部を多重構造とし、かつ、ガス吸着剤を各封止部の両方、または、片方の封止部に備えていることを特徴とした気密封止構造とした。本発明によれば、角速度検出装置およびその製造方法において、長期間に亘って内部圧力の減少を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温動作時の基点電圧変動量をさらに小さくして信頼性を高めることができる角速度センサ等の圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、ウエハ状のシリコン基板３０の上方に下部電極層３３を形成する工程と、前記下部電極層３３の上方に圧電体層３２を形成する工程と、前記圧電体層３２の上方に上部電極層３４を形成する工程と、前記圧電体層３２と上部電極層３４との間に密着層３５を形成する工程とを備え、前記密着層３５を形成する工程は、前記ウエハ状のシリコン基板３０を加熱せずにタングステンを蒸着することによりβ相タングステンからなる密着層３５を形成した後、このβ相タングステンからなる密着層３５を熱処理することによりα相タングステンからなる密着層３５に転移させるようにしたものである。 （もっと読む）