【課題】物理量センサにおいて、参照信号の信号レベル変動に対するセンサ出力の出力レベル変動を低減し、感度を一定とする。
【解決手段】参照信号に基づいて駆動する駆動回路と、この駆動回路によって駆動されることで外部から印加された物理量を電気信号に変換するセンサ素子と、このセンサ素子の出力信号を増幅する増幅回路とを有する物理量センサにおいて、駆動回路は、参照信号に基づいて前記センサ素子の駆動信号を一定レベルとなるように制御し、増幅回路は、参照信号の変動、又は、駆動回路の駆動信号の変動に対して、出力信号を逆方向に増幅する増幅率特性を備え、増幅回路の増幅率を、前記参照信号又は駆動回路の駆動信号の増減と逆比例させる。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジを確保し、検出分解能を可能な限り向上させ、ハイパスフィルタの時定数の影響を受けることなく、検出誤差や誤動作を少なくすることができる振動検出装置、カメラ及び交換レンズを提供する。
【解決手段】振動ジャイロ１は、振動検出信号Ｖｏを出力し、この振動検出信号Ｖｏは、回路２，３に入力する。ＭＣＵ５は、出力信号Ｖｏｕｔが所定レベル範囲を越えているときには、操作信号発生部５ｂから操作信号Ｓ１を発生し、Ｄ／Ａ変換器７ｂは、出力信号Ｖｄａ１を出力する。その結果、出力信号Ｖｏｕｔは、所定レベル範囲内に引き戻される。ＭＣＵ５は、引き戻し動作の前後における出力信号Ｖｏｕｔをつなぎ合わせて、補正出力信号Ｖｏｕｔ’を出力する。このときに、ＭＣＵ５は、補正出力信号Ｖｏｕｔ’を誤差のないように連続化して、つなぎ合わせる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサに強い振動が加わっても、振動子が傾いて出力信号の感度が劣化してしまうということはなく、信頼性が向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、支持部２９に接着剤が充填される孔３０を設けるとともに、この孔３０の内底面に位置する基板２１の表面粗さが支持部２９の上面の表面粗さよりも大となるように構成したものであり、角速度センサの出力信号の感度は安定したものが得られるという作用効果を有するものである。 （もっと読む）

【課題】従来の物理量センサでは、センサの検出感度に高精度なレシオメトリック特性を持たせることが難しかった。
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換するセンサ素子と、電源を印加することによりセンサ素子の出力信号を検波および増幅する検出回路とを有する物理量センサにおいて、検出回路は、分圧比が可変である設定回路を備えた増幅回路と、分圧比が可変である参照設定回路を備えた制御回路とを有し、この制御回路が、電源電圧の変動によって参照設定回路の分圧比を変化させ、この変化した分圧比と同じになるように設定回路の分圧比を連続的に制御することで、増幅回路からの出力信号が電源電圧の変動に連動することを特徴とする。この構成により、検出回路に備えた増幅回路の増幅率を電源電圧に応じて変化させることができるので、センサ検出感度が安定かつ高精度なレシオメトリック特性を持つ物理量センサを実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉振動型センサ、力学量検出装置、及び力学量検出方法に関し、装置規模の大型化や製造工程の複雑化，高コスト化を招くことなく所定の力学量の誤検出を防止する機能を確保することにある。
【解決手段】Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの振動子１６Ｌ，１６Ｒを設け、その２つの振動子１６Ｌ，１６ＲのＹ軸方向での変位量の差に基づいて上記の所定軸周りの角速度を検出する。そして、２つの振動子１６Ｌ，１６ＲのＹ軸方向における同相変位成分の、和の時間微分値又は各時間微分値の和を算出し、その算出値に基づいて２つの振動子１６Ｌ，１６ＲをＹ軸方向での同相変位成分の振動のみダンピングが増加するようにＹ軸方向の同相方向へフィードバック駆動する。 （もっと読む）

【課題】低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得る。
【解決手段】リング共振構造を有する半導体リングレーザジャイロにおいて、励起源として、発光領域の幅が発振波長の１０倍以上である半導体レーザ素子、あるいは発光領域のアスペクト比が１：１０以上である半導体レーザ素子を利用し、集光レンズに要求される光学特性を緩和し、また反射部材の光軸精度の許容範囲を確保する。これにより、低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内に形成されるＭＥＭＳデバイスの性能を維持しつつ、その密閉空間の容積の低減と製造プロセスの簡略化を図る。
【解決手段】ガラス基板の凹部３４，３６ａ，３６ｂ，３６ｃで形成される密閉空間内のＭＥＭＳデバイスが、可動部（例えば、リング，サスペンション）と固定部（例えば、一次振動検出用電極）を備えた振動子１０であり、かつ前記固定部のみの表面上に形成されたゲッター膜４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを備える。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内に形成されるゲッター膜が形成されたＭＥＭＳデバイスにおいて、ゲッター膜に起因する電気的なノイズの影響を防ぐ。
【解決手段】
密閉空間内３４に形成されたＭＥＭＳデバイス１００であって、密閉空間３４が、凹部３６ａ等が一部に形成された第１ガラス基板３０と、ＭＥＭＳデバイスの母材１０と、密閉空間３４の一部となる貫通孔３７が形成された第２ガラス基板３１と、連続の又は非連続のゲッター膜４０が形成された第３ガラス基板３２によって形成されている。さらに、第２ガラス基板３１と第３ガラス基板３２の間にゲッター膜４０の一部４０ａが挟まれている。これにより、ゲッター膜４０とＭＥＭＳデバイス１００の電極との十分な距離が確保されるため、デバイスの動作時であっても、電気的なノイズがゲッター膜４０を介してＭＥＭＳデバイスの検出用又は駆動用の電極に入り込まなくなる。 （もっと読む）

【課題】 錘部を形成する活性層とベース層の接触を防止するためのストッパを備えているとともに、錘部の質量が増加している構造体を実現する技術を提供する。
【解決手段】 活性層を異方性エッチングして犠牲層を露出させる異方性エッチング工程と、露出した範囲から犠牲層を等方性エッチングして梁と錘部を形成する活性層をベース層から遊離させる等方性エッチング工程を備えており、異方性エッチング工程でエッチングする個々の孤立範囲の最小径をｘ（μｍ）とし、周囲を孤立範囲で取り囲まれている領域の中心点から孤立範囲までの最短距離をＧ（μｍ）とし、犠牲層の厚さをｈ（μｍ）としたときに、下記式（１）と（２）を同時に満足する関係で孤立範囲群を分散して形成する。
ｘ＜１０．０ （１）
１．０＜Ｇ＜ｈ＋１．０ （２） （もっと読む）

【課題】安定性を損なうことなく、可動電極と固定電極の間の間隔を加工精度の限界よりも低減する力学量検出センサ等を提供すること。
【解決手段】支持基板９と、力学量の印加に応じて支持基板９に対して変位可能に支持された可動電極３０と、支持基板９に固定されるとともに、可動電極３０と対向して配置された固定電極４０と、を有する、力学量検出センサ１０の生産方法において、可動電極３０のマスク３１を、可動電極３０Ａと可動電極３０Ｂの所定部１４が間隔d_minとなる別体であって、可動電極３０Ａと可動電極３０Ｂが固定電極４０と対向するように形成するステップと、可動電極３０Ａと可動電極３０Ｂの少なくとも一方を支持基板９から離反するようにエッチングするステップと、可動電極３０Ａ又は可動電極３０Ｂを固定電極４０に接近する方向に間隔d_min変位させ、可動電極３０Ａと可動電極３０Ｂを接合するステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出回路（センサ回路）における初段のＩ／Ｖアンプを高精度に評価（検査）し、かつ、正規の動作状態においても高精度の動作を保障し得る検出回路や物理量測定回路等を提供すること。
【解決手段】物理量トランスデューサ（１１０）からの交流の電流信号が入力される検出用端子（ＴＡ１）と、検出用端子を経由して入力される交流の電流信号を電圧信号に変換する検出用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）と、評価用の電圧信号を前記検出用電流／電圧変換増幅回路に供給する評価用端子（ＴＡ２）と、帰還抵抗（Ｒｓ）との抵抗比が所定値になる抵抗値をもつ入力抵抗（Ｒｆ）と、評価用端子と検出用電流／電圧変換増幅回路の入力ノードとを結ぶ信号経路に設けられる検出回路用スイッチ回路（Ｓ１）と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】
振動型ジャイロの自励発振を安定にさせることでノイズを抑え、高Ｓ／Ｎ化を実現すること。
【解決手段】
この検出装置は、駆動電極と駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第１の側と、第１の側に対向するように設けられ共通電極を有する第２の側とを有する圧電素子を有し、駆動電極と共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、一対の検出信号を加算する加算手段と、加算手段により加算された検出信号の位相を４５°よりも大きく９０°よりも小さい範囲で遅延させる第１の位相遅延手段と、第１の位相遅延手段により遅延された検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して駆動信号として出力する振幅制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】多機能光学的チップ等を支持するための構造的パッケージ実装組立体をジャイロスコープユニットに取付け可能にする。
【解決手段】例示の組立体は取付け板に取り付けられる筐体を含む。チップは筐体の中に配置され、この筐体が順に取付け板に結合される。筐体は、約３５００Ｈｚまたはそれより下の振動範囲などの所定の振動範囲にある加えられた振動に十分に耐えることができる所定の断面係数を有することができる。構造的パッケージ実装組立体は、合わせピンに締め付ける取付け脚を有する取付けシステムを使用し、合わせピンは順に取付け板の中へとプレス嵌めされる。１つの実施形態で、取付け脚は、合わせピンに締め付けられた後では、筐体と取付け板との間の共振減衰を可能とする「Ｃ」クランプ機構の形態をとる。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、センサ素子可動部の形状が、凝着防止機能のためにばらついたり、あるいはセンサ素子可動部の電気的特性が凝着防止機能のために劣化したりすることなく形成可能な、凝着防止機構や異常変位抑制機構を備えた素子の構造を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明における凝着防止機構や異常変位抑制機構を備えた素子の構造は、次のように構成される。振動体を形成する活性層基板と、活性層基板と異なる結晶方位もしくは異なる材質で形成された単結晶基板である支持基板とが、絶縁層を間に挟んだ状態で接合された積層基板の、活性層基板の面内に形成され、前記絶縁層を介して支持基板上に振動可能な状態で支持された振動体において、支持基板の前記振動体と対応する表面に、前記振動体をマスクとした、ドライエッチングと結晶異方性エッチングによる、エッチング残り部からなる突起状構造を形成し、これを凝着防止機構と異常変位抑制機構とする。 （もっと読む）

【課題】振動子に駆動振動を励振するのに際して、振動子の振動状態が安定化するまでの立ち上がり時間を短くすると共に、起動に必要な回路の規模を小さくする。
【解決手段】振動子１に励振される駆動振動および測定すべき物理量に基づいて振動子から検出信号を出力し、検出信号に基づいて物理量を測定するのに際して、振動子１に駆動振動を励振する。振動子１と発振ループを生成し、振動子１に駆動振動を励振する自励発振回路９Ａを備えている。自励発振回路９ＡがＣＲ発振回路５Ａを備えており、ＣＲ発振回路５Ａを用いて矩形波の起動信号を振動子１に与え、駆動振動を振動子１に起動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は基板のクラックや割れを抑制して歩留まりを向上し、検出特性の劣化を抑制して検出精度を向上する慣性力センサの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板６４上に第１導体層６６を形成する第１導体層形成工程と、第１導体層６６上に圧電層６８を形成する圧電層形成工程と、圧電層６８上に第２導体層７０を形成する第２導体層形成工程と、圧電層６８および第１、第２導体層６６、７０にエッチング加工を施して、慣性力を検出する電極部を形成する電極部形成工程と、基板６４にエッチング加工を施して、検出素子５２を形成する素子形成工程とを備え、基板６４の裏面に機械研削加工を施して、基板６４の厚みを薄く加工する厚み加工工程を設け、かつ、厚み加工工程後に、基板６４の裏面の表層を除去する表層除去工程を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサを搭載する車両が高地を移動する等して角速度センサにおける振動子の傾き角が絶えず変化しても、角速度センサの出力信号が変動するということはなく、安定した出力信号が得られる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、振動子１１と、この振動子１１を所定の振幅および周波数で振動駆動する駆動回路１９と、前記振動子１１に角速度が負荷された際にコリオリ力により振動子１１に発生する電荷を増幅するとともに出力電圧に変換して出力する検出回路２０とを備え、前記検出回路２０に、角速度センサが取り付けられる被検出体の傾斜に応じて発生する出力誤差を補正する補正手段３４を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】アーム部を支持する基部への振動もれを抑制でき、ノイズに対して強い三音叉型の角速度センサ及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の角速度センサにおいては、３本のアーム部１２Ａ〜１２Ｃのうち２本の外側アーム部１２Ａ，１２Ｂは同相で励振し、中央アーム部１２Ｃは外側アーム部の振動の反作用によって外側アーム部と逆相で励振する。そして、各アーム部を圧電機能層１５Ａ〜１５Ｃの形成面と垂直な方向に励振し、アーム部の上記圧電機能層の形成面と平行な方向の振動に基づいて角速度を検出する。これにより、アーム部間に生じる回転モーメントが相互に打ち消され、基部へ伝達される振動を低減することができる。また、圧電機能層の形成面に対して垂直方向にアーム部を励振することにより、安定した励振状態を維持でき、外乱に強い角速度センサを構成することができる。 （もっと読む）

【課題】支持基板と封止基板とで接合層を介して気密封止された電気機械素子を、長期間にわたって安定して動作させることができるように、電気機械装置の信頼性の向上を図ることを可能とする。
【解決手段】電気機械素子１１が形成された第２基板（支持基板）２００と、電気機械素子１１に電気的に接続されていて第２基板２００に形成された引き出し電極１２４と、電気機械素子１１を覆うとともに電気機械素子１１との間隔ｄを保って第２基板２００に接合層２５０を介して接合された第３基板（封止基板）３００と、引き出し電極１２４に接続されていて第３基板３００内を通るように形成された配線３１０とを備え、接合層２５０は、電気機械素子１１と第３基板３００との間隔ｄを規定するとともに、第２基板２００と第３基板３００同士を接合してその間を気密封止することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、ジンバル空間安定性能を向上させることができる制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】制御回路６は、カメラが搭載される構造物に設けられた角速度検出器が検出する角速度信号に基づいて、カメラの視軸を安定させるためのフィードバック制御を行うフィードバック回路と、当該の制御装置への通電が開始された後、カメラの視軸の方向を指示する角速度指令が前記フィードバック回路に入力され始めるまでの間において計測された角速度信号の値を補正値としてフィードバック回路へ入力される角速度信号から減算するドリフト補正器５０と、角速度指令が０である期間が一定期間継続する間におけるジンバルの移動体に対する角度の変化を検出し、その角度に基づいた補正値をフィードバック回路へ入力される角速度信号から減算するドリフト補正器５４とを有する。 （もっと読む）