【課題】アーム部を支持する基部への振動もれを抑制できる角速度センサを提供すること。
【解決手段】
角速度センサ１は、支持部２２と、支持部２２から延出され一の方向に沿って配設された３本の圧電機能層１５Ａ〜１５Ｃを有するアーム部１２Ａ〜１２Ｃと、圧電機能層１５Ａ〜１５Ｃに電気的に接続する端子１４０から４７が設けられた実装面１Ａを有する固定部２４と、支持部２２と固定部２４との間に配置され、支持部２２及び固定部２４と結合する緩衝部２３とを備え、緩衝部の前記一の方向に沿った幅は、固定部２４及び支持部２２それぞれの一の方向に沿った幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】
正確に角速度を検出することができる角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器を提供する。
【解決手段】
第１のアーム２と第２のアーム３と第３のアーム４とが同一平面（ＸＹ平面）に配置されており、この平面に対して垂直方向（Ｚ方向）に振動させるためにレーザー加工された陥没部３０を第１のアーム２が備えている。このため、第１のアーム２をこの平面に対して垂直方向に振動させることができる。例えば、角速度センサ１に回転力が働いたときに、コリオリ力により第１のアーム２がこのＸＹ平面に対して平行な方向（Ｘ方向）に振動するようにでき、圧電薄膜１２の歪を正確に検出し、角速度を正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】振動子等の電子部品を封止体（パッケージ）に封止してなる振動子封止体、およびこの振動子封止体を備える物理量センサにおいて、振動子の検出感度特性および起動特性を向上させる。
【解決手段】開口を有し内部の収容部に振動子が収納される容器と、開口の周縁で接合して前記開口を覆う蓋体とを有し、容器と蓋体とが対向する接合部で封止材により真空封止される振動子封止体の製造方法において、容器内に接着剤を用いて振動子を実装する工程と、振動子を実装した容器を真空雰囲気中において所定の温度で制御した状態で、加熱するアニール処理工程と、封止材を真空雰囲気中の封止チャンバ内で加熱溶融させて、容器と蓋体とを押し付けて真空封止する溶接工程とを順に備え、アニール処理工程において、所定の温度を振動子の振動特性に基づいて定める。 （もっと読む）

【課題】起動特性の向上や発振状態のモニタを実現できる検出装置等を提供すること。
【解決手段】検出装置３０は、駆動回路４０と検出回路６０を含む。駆動回路４０は、振動子１０（物理量トランスデューサ）の駆動振幅を検出し、検出された駆動振幅に応じた制御電圧ＶＣを出力する駆動振幅検出回路５２を含み、検出回路６０は、検出信号のゲインを調整するゲイン制御回路８０を含む。ゲイン制御回路８０は、駆動振幅検出回路５２からの制御電圧ＶＣに基づいて検出信号のゲインを調整する。検出回路６０は、制御電圧ＶＣを所与の判定電圧と比較し、振動子１０が定常発振状態なのか発振起動過程なのかを少なくとも知らせる判定情報を出力する判定回路を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電源電圧変化や温度変化の影響により、ＤＡ変換手段、積分回路からの出力信号が変動するということはなく、出力特性が安定しているΣΔ型ＡＤ変換器およびそれを用いた角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明のΣΔ型ＡＤ変換器は、入力切替手段４４とＤＡ変換手段４８とから出力される電荷を積分しその少なくとも２つの積分値を保持する積分手段６２と、この積分手段６２から出力される少なくとも２つの積分値を所定の値と比較する比較手段６３と、この比較手段６３の出力信号を演算する演算手段７３とを備え、前記演算手段７３に、前記比較手段６３から出力される少なくとも２つの比較信号の差を演算する差分演算手段７０を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】ジャイロコントロールループの飽和で生じる残留ディザー信号によるノイズの増加を抑止する。
【解決手段】光ファイバージャイロスコープ信号処理ディザーシステムは、残留ディザー信号のためにサンプル化した出力においてノイズを増やすことなく、多数のサンプリング期間に対して低振幅のディザー信号を適用することを可能とする。ディザーループとアキュムレータが閉鎖ループの光ファイバージャイロスコープ回転感知システムに付加される。ディザーループはファイバージャイロループのゲインと遅延と釣り合うように調整した遅延とゲインを持つ。デッドバンドを解体するに充分な振幅のゼロミーンディザーがジャイロとディザーループに注入される。ディザーループはジャイロループと同様にしてディザー信号をフィルターし、微分回路に入力してジャイロ出力からディザー信号を除去する信号を提供する。 （もっと読む）

【課題】音叉振動の振動漏れが少なくて振幅レベルを一定にし、検出感度を均一にする。
【解決手段】音叉基部１から延出した一対の音叉腕２（ａｂ）には音叉振動用の駆動電極Ｄ±と、コリオリの力に基づいた互いに反対方向となる垂直振動による電荷検出用のセンサ電極Ｓ±とを有する音叉状水晶片３を備え、音叉基部１の底面の中央部から音叉基部１の幅より狭くて括れを形成する幅狭部９ｃが延出し、音叉基部１の外周底面及び外周側面を囲うコ字状枠９を有する角速度センサ素子であって、音叉振動と垂直振動との振動変位が両者ともに小さくて共通する領域であって、幅狭部９ｃを含むコ字状枠９における水平部９ａの幅方向の中央領域（例えばＳ領域）を固定端とし、コ字状枠９の両側の垂直部９ｂを自由端とし、かつ、コ字状枠９の垂直部９ｂの一方及び他方は音叉腕の一方及び他方に対して互いに反対方向に垂直振動した構成とする。 （もっと読む）

【課題】小型薄型化及び低コスト化を図りつつ、出力変動を防止することができる角速度センサ及び電子機器を提供すること。あるいは、外部から衝撃力が加えられても、振動子が実装される基板が破損することを防止することができる角速度センサ及び電子機器を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ１００では、基板２００のビーム部２３０が、中継基板部２２０が回路基板部２１０を弾性的に保持するように回路基板部２１０と中継基板部２２０とを架け渡している。スリット２４０の幅は、回路基板部２１０の平面方向への変位に伴うビーム部２３０の変形が弾性限界内となるように、回路基板部２１０の平面方向への変位を規制する幅とされている。 （もっと読む）

【課題】応力の発生しにくい、電気的に絶縁された複数の導電性の領域を有するマイクロ構造体などの構造体を、比較的簡易な構成で提供することである。
【解決手段】マイクロ構造体などの構造体は、互いに電気的に絶縁された複数の導電性の領域106、107、108、109を有する。複数の導電性の領域106、107、108、109間は、連続した酸化領域104によって絶縁されている。酸化領域104は、複数の貫通孔105もしくは溝が形成された材料の酸化物から成っている。 （もっと読む）

【課題】検出精度が高く、小型薄型で信頼性に優れた振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基台５に固着された水晶振動子１０と、この水晶振動子１０を制御する集積回路２０及びチップ部品３０と、水晶振動子１０と集積回路２０及びチップ部品３０とを収容するパッケージ２と、このパッケージ２に係合しパッケージ２内を気密封止するための蓋体８とを有し、パッケージ２は水晶振動子１０と集積回路２０を収容する第１凹部３と、チップ部品３０を収容する第２凹部４とを備え、第２凹部４はパッケージ２の厚み方向から見て少なくとも一部が第１凹部３と重なり、更に、パッケージ２の厚み方向に直交する方向から見て第１凹部３と重なる構成とした。これにより、小型薄型で検出精度が高い振動型ジャイロセンサを提供出来る。 （もっと読む）

【課題】 回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動回路１０は、発振ループ内に設けられ振動子１２に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器３０と、発振ループ内に設けられ電流電圧変換器３０の出力と所与の電圧との比較結果に対応した信号を振動子１２に出力するコンパレータとしてのＧＣＡ２０とを含む。ＧＣＡ２０が、発振起動過程では、第１のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力し、発振定常状態では、第２のハイレベル電圧又はローレベル電圧を出力する。第１のハイレベル電圧は、第２のハイレベル電圧より高電位の電圧である。 （もっと読む）

【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための駆動装置は、前記振動子に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と、所与の電圧値を基準に、前記電圧値に変換された信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレータと、前記発振ループ内で前記電流電圧変換器と前記コンパレータとの間に設けられたハイパスフィルタとを含む。ハイパスフィルタの基準電位を変化させて前記振動子に駆動振動を励振した後に、前記基準電位を固定して前記振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

【課題】簡素な工程で水晶振動片の周波数の値を制御し、個々の水晶振動片の離調度バラツキが小さい水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】基部と複数の振動脚とを有する複数の水晶振動片の外形を決める複数の耐食膜パターンを、水晶ウエハーの主表面に形成する耐食膜パターン形成工程と、エッチングにより前記水晶振動片の外形を形成するエッチング工程と、前記水晶振動片に電極を形成する電極成形工程と、を有する水晶振動子の製造方法において、前記複数の耐食膜パターンは、前記水晶ウエハーの形状特性に対応するために、前記水晶ウエハーに配置される位置によって、それらの外形形状が異なることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 評価や実装等が容易で生産性が良く、出力ドリフトが小さく、安定した出力が得られ、さらに外部からの衝撃に対しても堅牢で、且つ２軸の角速度の検出が可能である安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成されたビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、ビーム３ａとビーム３ｄの接続部をビーム３ｅの一端で支え、ビーム３ｂとビーム３ｃの接続部をビーム３ｆの一端で支え、さらに、ビーム３ｅおよびビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、ビーム３ｇ、３ｈを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用振動子を用いる。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心が平面内を安定して振動するように面外振動を抑制し、面内の安定した並進運動を可能とする。
【解決手段】第１基板１１と、第１基板１１に形成された構造体形成層１３と、構造体形成層１３に形成された第２基板１５とで形成されたもので、構造体形成層１３の一部で形成された複数の支持部１０３−１〜４と、各支持部１０３−１〜４のそれぞれに一端側が支持されるように構造体形成層１３の一部で形成された支持弾性体１０２−１〜４と、各支持弾性体１０２−１〜４の他端側に支持されるように第１基板１１から第２基板１５までの一部で形成された第１、第２振動子１０１−１、２と、振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備え、第１、第２振動子１０１−１、２の重心Ｇ１、Ｇ２と、各支持弾性体支持弾性体１０２−１〜４の支持部側および振動子側の支持点とが同一平面上に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、空間安定部に対する信号の出し入れを行うケーブルを二段状のフラットケーブルとし、互いに逆巻きとして、回転時のケーブルの負荷を抑止することを目的とする。
【解決手段】本発明による空間安定装置は、ケーブルをなす第１、第２フラットケーブル(31,31A)が基台部(4)の軸方向(41)に沿って積み重ねられ、かつ、互いに逆回転方向に渦巻き状に配設され、その幅方向(W)は前記軸方向(41)に沿っている構成である。 （もっと読む）

【課題】 振動子の発振の妨害を最小限に抑えて効率的に発振起動を行うことで発振起動時間を短縮できる駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】 駆動装置は、発振ループ内の発振振幅を制御して振動子に駆動振動を励振するゲインコントロールアンプと、所与の周波数の信号を生成する信号生成回路と、信号生成回路によって生成された信号を、振動子の共振周波数に変調する変調回路とを含む。駆動装置は、変調回路によって変調された信号を用いて振動子に駆動振動を励振した後に、振動子とゲインコントロールアンプとにより形成される発振ループ内の発振振幅を制御して振動子に駆動振動を励振する。 （もっと読む）

中央ハブ（４３）から８つの柔軟な支持脚（４４ａ〜４４ｈ）により支持されるリング構造体（４２）を備えるジャイロスコープ構造体（４１）である。キャパシタンス差を生じさせるために、１次駆動トランスジューサ（４５ａ，４５ｂ）及び２次駆動トランスジューサ（４６ａ，４６ｂ）はすべてがリング構造体（４２）の外周周りに間隔を空けて配置され、キャパシタンス差を発生させるために１次ピックオフトランスジューサ（４７ａ，４７ｂ）及び２次ピックオフトランスジューサ（４８ａ，４８ｂ）はすべてがリング構造体（４２）の内周周りに間隔を空けて配置されている。ジャイロスコープ構造体（４１）は、キャパシタ差を生じさせるためにリング構造体（４２）と間隔を空けて配置される、１６個のキャパシタ板（４９ａ〜４９ｐ）を備える。２つのグループのキャパシタ板（４９ａ〜４９ｄ，４９ｉ〜４９ｌ）はすべてがリング構造体（４２）の内周周りに配置され、２つのグループのキャパシタ板（４９ｅ〜４９ｈ，４９ｍ〜４９ｐ）はすべてがリング構造体（４２）の外周周りに配置されている。それぞれのキャパシタ板（４９ａ〜４９ｐ）は、リング構造体（４２）の剛性を局部的に調整するためにリング構造体（４２）に作用する既定の静電気力を発生させるために、配置されている。トランスジューサ（４５ａ〜４８ｂ）及びキャパシタ板（４９ａ〜４９ｐ）の配置によりリング構造体（４２）とのキャパシタ差の変化の影響が減少し、ジャイロスコープ構造体のスケールファクタが改善される。
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【課題】外部からの歪みによる影響を受けることなく振動特性の安定化を図ることができる振動型ジャイロセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動型ジャイロセンサ１０は、角速度を検出する振動素子１と、振動素子を支持する支持基板２と、支持基板２と電気的に接続され外部接続端子３を有する中継基板４と、支持基板２と中継基板４との間を電気的に接続する配線部材５とを備え、配線部材５は、支持基板２の周囲に複数配置された弾性材料からなり、中継基板４に対して、配線部材５の先端部を挿着して電気的機械的に接合される。 （もっと読む）

【課題】キャップを薄型化できるようにすることにより、半導体力学量センサの薄型化が図れるようにでき、かつ、真空度の維持も容易に行えるようにする。
【解決手段】ＳＯＩ基板１を用い、ＳＯＩ基板１をセンサウェハ１１に貼り合わせてから単結晶シリコン基台２および埋め込み酸化膜４を除去し、単結晶シリコン層３がキャップ層となるようにする。つまり、最初から薄膜のキャップ層を用意してセンサウェハ１１に貼り合わせるのではなく、貼り合わせるときまでは厚いＳＯＩ基板１にてウェハ状態を保ちつつ、貼り合わせ後にそれを薄膜化する。これにより、キャップ層を最初から薄膜とした場合のように、割れ等を防いでウェハ状態を保つために、キャップ層をある程度の厚みにしておく必要がない。また、キャップ層をポリイミド樹脂フィルムで構成する場合のように撓んで真空度の維持が困難になるなどの問題も発生しない。 （もっと読む）