【課題】厚みおよび幅の寸法の調整に因らずに共振周波数を低くすることが可能な振動子と、その振動子を用いて角速度を高い感度で検出することができる振動ジャイロとを実現する。
【解決手段】振動ジャイロ１１は、振動子１を備えている。振動子１は、複合梁部２Ａ〜２Ｄを備えている。複合梁部２Ａ〜２Ｄは、互いに並行する外周側梁部３Ａ〜３Ｄと、内周側梁部４Ａ〜４Ｄとを両端の剛接部６Ａ〜６Ｄで剛接した構成である。各複合梁部２Ａ〜２Ｄの外周側梁部３Ａ〜３Ｄと内周側梁部４Ａ〜４Ｄとは、互いに反対称に撓んで、両端間隔が変化するように振動する振動モードを有している。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】ｚ方向の回りである周方向に振動する振動子（５１）と、アンカー（３０）と振動子（５１）とを連結する連結梁（５５）と、振動子（５１）のｚ方向の変位を検出する第１検出部（６７）と、を有する角速度センサであって、環状の外部振動子（５７）と、外部振動子（５７）によって囲まれた領域内に配置された環状の内部振動子（５６）と、が第１連結梁（８０）を介して連結され、第１連結梁（８０）とアンカー（３０）とが第２連結梁（８１）を介して連結されており、第２連結梁（８１）が、第１連結梁（８０）における外部振動子（５７）と内部振動子（５６）とが周方向にて互いに逆向きに連成振動した際に節となる部位（Ｐ２）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】センサ素子の傾斜角度の精度が高く、製造コストが抑制され、かつ、センサ素子と他の素子との電気的接合の信頼性が高いセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ装置は、台座４と、台座４の上面に実装される角速度センサ素子１とを備える。台座４の上面は、下面に対して傾斜する傾斜面４Ａを有する。角速度センサ素子１は、傾斜面４Ａに実装され、その天面上に形成された電極３０を有する。角速度センサ素子１の天面における傾斜面２０Ａは、台座４の下面に対する傾斜角度が小さくなるように傾斜しており、この傾斜面２０Ａに電極３０が形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、接着剤８９に無機化合物を含有させるとともに、ケース７０内に水分ゲッター材９０を設ける構成とした。これにより、角速度センサの出力信号の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出素子を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定する場合に、この接着剤を所定の位置に規制でき、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の物理量センサは、角速度検出素子の固定部２２ａ、２２ｂと外側梁部２３ａ、２３ｂの接続部分に金属バンプ７２を設けることにより、アンダーフィル剤等の接着剤流れを抑制したものである。 （もっと読む）

【課題】振動開始時の駆動振幅レベルが微弱な振動子を短時間で確実に起動する。
【解決手段】駆動切替回路７は、振幅検出回路５により検出された駆動振動の振幅が、振動子１と定常駆動信号生成回路４とで閉ループを形成した場合に持続的な振動を励振可能な振幅範囲内に設定されたしきい値未満の場合には、初期駆動信号生成回路６から出力される初期駆動信号を選択する。初期駆動信号生成回路６は、上記閉ループを形成した場合に持続的な振動が励振される駆動周波数を、振動子１の駆動開始時から含むようにまたは駆動開始後に含むように初期駆動信号を生成する。検出振幅がしきい値以上になった場合、駆動切替回路７は、定常駆動信号生成４から出力される定常駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】センサチップ（基板）の湾曲による物理量の検出精度の低下が抑制された静電容量式センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】基板（１２）に固定された固定電極（２１）、及び、基板（１２）に対して、直交関係にあるｘ方向及びｙ方向それぞれに変位可能な可動電極（２０）から成るコンデンサの静電容量変化に基づいて、物理量を検出する静電容量式センサであって、固定電極（２１）は、絶縁層（１３）を介して基板（１２）に固定され、可動電極（２０）は、ｘ方向とｙ方向とに直交するｚ方向に基板（１２）から離れており、固定電極（２１）における可動電極（２０）との対向領域を含む対向面（２１ａ）の面積と、可動電極（２０）における固定電極（２１）との対向領域を含む対向面（２０ａ）の面積とは異なる。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内の低圧状態の変動が抑制され、センサ検出精度の低下が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ部（１０，５０）と、密閉空間を構成し、該収納空間内にセンサ部（１０，５０）を収納するパッケージ（７０）と、センサ部（１０，５０）をパッケージ（７０）に接着固定する接着剤（９２）と、を有するセンサ装置であって、センサ部（１０，５０）は、外力によって変位可能な可動電極及び変位不可能な固定電極から成るコンデンサを有し、密閉空間は１気圧よりも低く、接着剤（９２）は、センサ部（１０，５０）とパッケージ（７０）とを接着固定する有機系接着剤（９４）と、有機系接着剤（９４）を覆う無機系接着剤（９５）と、を有し、有機系接着剤（９４）は、無機系接着剤（９５）よりもヤング率が低い。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な検出回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】検出回路３０は、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）及びオフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）の少なくとも一方と、電圧制限部（リミッター回路３７０）と、を含む。感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）は、センサー素子４の検出感度に応じて検出信号（角速度信号）の電圧範囲を調整する。オフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）は、センサー素子４の出力オフセットに応じて検出信号（角速度信号）の０点電圧を調整する。電圧制限部（リミッター回路３７０）は、感度調整部及びオフセット調整部の後段に設けられ、検出信号（角速度信号）の電圧を所望の範囲に制限する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、パッケージ（７０）の内圧を一定に調整する内圧調整部（９０）を有する。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ膜からのＰｂ拡散を抑制し、圧電特性を安定化した圧電薄膜構造および当該圧電薄膜構造を適用し、振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】基板４０上に配置された酸化シリコン膜４１と、酸化シリコン膜４１上に配置された第１の酸化アルミニウム膜４８と、第１の酸化アルミニウム膜４８上に配置された下部電極層３０１と、下部電極層３０１上に配置された圧電体膜層３０２と、圧電体膜層３０２上に配置された上部電極層３０３とを備える圧電薄膜構造、および振動アーム及び検出アームに、この圧電薄膜構造を有する角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】回路面積や端子数を増やすことなく、広いダイナミックレンジで線形性が確保でき、応答性に優れたセンサ制御回路を提供する。
【解決手段】センサ制御回路は、センサから出力された交流信号の周波数と同じ周波数の搬送波信号に、前記交流信号を重畳したセンサ変調信号を生成する自律発振ループ部と、前記搬送波信号を基準電圧レベルと比較した結果をデジタル処理して、前記搬送波信号の振幅調整用の制御信号を生成する振幅調整ループ部と、を備える。前記自律発振ループ部は、前記搬送波信号の振幅調整を行うアンプと、前記制御信号により切替制御されるスイッチを有し、該スイッチの切替周波数により前記アンプの利得を制御可能なスイッチトキャパシタと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】振動子が安定発振するまでの時間を短縮するとともに安定発振を維持することが可能な駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】コンパレーター２１０（駆動信号生成部）は、第１の信号線を介して入力された振動子１００の発振電流２４がＩ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号２２を生成し、第２の信号線を介して振動子に供給する。発振検出回路２７０（発振検出部）は、振動子１００が発振を開始してから発振電流２４が所定値に達したか否かを検出する。起動発振回路２８０（起動発振部）は、発振電流２４が所定値に達するまで振動子１００の発振動作を補助する。スイッチ２１８は、発振電流２４が所定値に達するまでコンデンサー２１６を第２の信号線から切り離し、発振電流２４が所定値に達した後はコンデンサー２１６を第２の信号線に接続する。 （もっと読む）

【課題】振動素子のチューニングの際に用いるレーザー光による半導体基板の能動領域へのダメージを抑制し、電気的特性の安定した振動デバイスを提供する。
【解決手段】センサーデバイス１において、半導体基板としてのシリコン基板１０は、能動面１０ａ側に半導体素子を含んで構成される集積回路が形成された能動領域を有している。シリコン基板１０上に振動ジャイロ素子２０が配置されたセンサーデバイス１において、能動領域は、振動ジャイロ素子２０の駆動用振動腕２５ａ，２５ｂの先端側の錘部２８ａ，２８ｂ上に設けられた質量調整部としての錘電極４１と平面視で重なる領域を回避して形成されている。これにより、錘電極４１にレーザーを照射して周波数調整を行う際に、レーザーが能動面１０ａに到達したときに集積回路にダメージが加わるのを回避することができる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの巻付け作業を簡単にし、且つ巻付けを起因とするクロストークの発生も低減することができ、温度感度の影響を低減した光ファイバジャイロ用センシングコイルとする。
【解決手段】コイル本体１３が、同一張力及び同一送り速度で光ファイバを整列巻付けしてポッティング材料１６でカプセル化した２個のポッティングコイル１２、１２からなる。各ポッティングコイルの側端面１２ｂ、１２ｂ同士がポッティング材料１６で接着し重ね合わされて、各ポッティングコイル１２の最外層から導出される光ファイバ１４の巻き終わり部分（余長部１２ｃ）の端部同士が融着接続されることで、コイル本体１３は１つの回転方向を持つ連続した光ファイバから構成される。 （もっと読む）

【課題】小型で、オーバーエッチングにより所定の周波数からの周波数偏差の少ない圧電振動素子を得る。
【解決手段】複数の棒状の振動腕１５ａ、１５ｂ、各振動腕１５ａ、１５ｂの一方の端部間を連接する基部１２、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され各振動腕１５ａ、１５ｂよりも幅広の錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線Ｂに沿った表面及び裏面に夫々形成された溝部１７ａ、１７ｂ、を備えた圧電基板１０である。更に各溝部内を含めた各振動腕の表裏面に夫々形成された励振電極３０〜３６を備え、各錘部２０には夫々表裏面を貫通し、且つ前記各振動腕の長手方向に沿って直線状に延びる周波数調整用スリット２５が、複数本形成される。 （もっと読む）