【課題】表面層の一部が２軸(ｘ,ｚ軸)に変位する装置においてｘ軸方向の変位がｚ軸方向の変位に影響しづらい構造を提供する。
【解決手段】表面層は、中間層を介して基板に固定されている固定範囲１４１〜１４４と、基板から遊離している遊離範囲を備えている。遊離範囲は、第１ばね範囲１３１〜１３４と、第１可動範囲１５１,１５２と、第２ばね範囲１２１〜１２４と、第２可動範囲１１０を備えている。第１ばね範囲では、ｚ軸方向のばね係数がｘ，ｙ軸方向のばね係数よりも低く、第２ばね範囲では、ｘ軸方向のばね係数がｙ，ｚ軸方向のばね係数よりも低い。固定範囲と第１ばね範囲と第２ばね範囲が、第１可動範囲の図心位置を通るｘ,ｙ軸に対して対称な位置に配置されている。第１可動範囲は、第２可動範囲のｘ軸方向の変位の影響を受けず、ｚ方向にのみ変位する。 （もっと読む）

【課題】傾斜磁場に感応しないようにする。
【解決手段】音叉式ジャイロスコープ１００は、導電性サスペンション１３３、１３４を介して基板１２９に連結されたアンカー１４４、１４５と接続される第１導電性プルーフマス１１０及び第２導電性プルーフマス１２０を備えている。第１の導電性プルーフマスの対向する２つの端１１１、１１２及び第２の導電性プルーフマスの対向する２つの端１２１、１２２に電気抵抗中間ポイント１７１が電気的に接続されており、該中間ポイントを介して、音叉式ジャイロスコープから感知電荷増幅器１３０に信号を提供し、感知電荷増幅器から、音叉式ジャイロスコープの回転を示す出力信号V_outを発生する。中間ポイントでは傾斜磁場の影響がキャンセルされるので、出力信号には、傾斜磁場によるノイズが含まれていない。 （もっと読む）

【課題】振動体と検出電極との位置ずれを抑えることで静電容量変化の検出精度をより高くすることのできるＭＥＭＳ構造体、ＭＥＭＳデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持構造部１１と前記支持構造部１１に対して変位可能に支持された振動体１２ｂとからなる振動体部１Ａと、基板２１と前記基板２１上に形成された検出電極とからなる検出電極部２Ａとを備えるとともに、振動体１２ｂと検出電極とが間隔を空けて対向するようにして前記振動体部１Ａと前記検出電極部２Ａとが接合され、振動体１２ｂと検出電極との間の静電容量の変化を検出するように構成されたＭＥＭＳ構造体１００Ａにおいて、前記検出電極が互いに分離された複数の小電極２２ａ１〜２２ａｎから構成されていることにより、振動体部１Ａと検出電極部２Ａとが接合された状態での振動体１２ｂと検出電極との位置ずれに対応させて、１つ以上の小電極２２ａ１〜２２ａｎを選択することができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】振動体と検出電極との位置ずれを抑えることで静電容量変化の検出精度をより高くすることのできるＭＥＭＳ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持構造部１１と前記支持構造部１１に対して変位可能に支持された振動体１２ｂとからなる振動体部１Ａと、基板２１と前記基板２１上に形成された検出電極２２ａとからなる検出電極部２Ａとを備えるとともに、振動体１２ｂと検出電極２２ａとが間隔を空けて対向するようにして前記振動体部１Ａと前記検出電極部２Ａとが接合され、振動体１２ｂと検出電極２２ａとの間の静電容量の変化を検出するように構成されたＭＥＭＳ構造体において、振動体部１Ａにおける検出電極部２Ａとの対向面に、検出電極部２Ａの外周形状に嵌合する内周形状を持つ振動体部側の凹部１５が形成されていることにより、振動体部１Ａと検出電極部２Ａとの接合時に生じる振動体１２ｂと検出電極２２ａとの位置ずれを抑えることができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子１４Ａを有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子１４Ｂを有する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】角速度センサにおいて、その小型化を図る。
【解決手段】検出素子１１は、基部１２と駆動信号が入力される駆動用電極１３を有し基部１２に接続された駆動用アーム１４Ａ、１４Ｂと、基部１２に接続され検出信号を出力する第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂとを有し、第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂは互いに並走するよう形成され、第１の検出用アーム１５Ａには第１、第２の検出電極１７Ａ、１７Ｂが、第２の検出用アーム１５Ｂには第３、第４の検出電極１７Ｃ、１７Ｄが形成され、第１の検出用アーム１５Ａにおいて、第１の検出電極１７Ａは第２の検出用アーム１５Ｂと反対側に形成され、第２の検出電極１７Ｂは第２の検出用アーム１５Ｂ側に形成され、第２の検出用アーム１５Ｂにおいて、第３の検出電極１７Ｃは第１の検出用アーム１５Ａ側に形成され、第４の検出電極１７Ｄは第１の検出用アーム１５Ａと反対側に形成された構成とする。 （もっと読む）

デバイス１１０は、駆動ノード３４，３６および感知ノード４２，４４を有する感知素子２６を備えている。駆動ノード３４および感知ノード４２との間には寄生容量２２が存在する。同様に、駆動ノード３６と感知ノード４４との間には寄生容量２４が存在する。駆動信号５６が駆動ノード３４、３６との間に印加されると、駆動ノード３４と感知ノード４２との間の寄生電流７０および駆動ノード３６と感知ノード４４との間の寄生電流７２が寄生容量２２，２４のおかげで生成される。容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７０を打ち消す補正電流１３４を生成するために、駆動ノード３６と感知ノード４２との間に容量ネットワーク１１２が接続される。同様に、容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７２を打ち消す補正電流１３８を生成するために、駆動ノード３４と感知ノード４４との間に容量性ネットワーク１１４が接続される。
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【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記回路部１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記導体１３に接続された導体接続部１２Ｄと、前記導体接続部１２Ｄと前記基部１２Ａとを接続する梁１２Ｅと、を有する角速度センサを有する構成としたものである。 （もっと読む）

開示されるマイクロ加工ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）は、外部温度及び応力の影響をほとんど受けないように設計されている。ＤＲＧは、角速度を測定する振動型ジャイロスコープであり、外部温度及び機械的な応力に対する感度が低くなるように設計される。ＤＲＧは、集積された絶縁体を特徴とし、この集積された絶縁体は、電極ウェハと同じウェハ上に作製されて、複数の集積絶縁梁を形成する。更に、ＤＲＧは、ウェハレベル気密真空封止部、フリップチップボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）、及び垂直電気貫通接続部を含むことにより、信頼性を高め、製造コストを低減することができる。追加の支持層は、衝撃緩和部、垂直電気貫通接続部、及びフリップチップＢＧＡと一緒に使用することができる。ゲッター及び衝撃緩和部を内蔵するパイレックスキャップまたは石英キャップを用いることができる。
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本発明は、ＭＥＭＳセンサーおよび３つの互いに直交する空間軸ｘ，ｙおよびｚの少なくとも１、好ましくは２に沿った加速度および回転速度をＭＥＭＳセンサー（１）によって測定する方法に関し、少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）および少なくとも１のセンサーマス（５）が基板（２）上に移動可能なように配置され、前記少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）は、駆動振動数において前記少なくとも１のセンサーマス（５）に対して移動可能であり、前記センサーの外側の加速が起きたとき、駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、駆動振動数において傾けられ、前記センサー（１）の外側の回転速度が起きたとき、回転速度振動数において傾けられ、前記加速度振動数と回転速度振動数は異なる。前記ＭＥＭＳセンサーにおいて、前記駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、前記基板（２）上に配置され、前記少なくとも１のアンカー（３）により静止状態において、バランスされる。この少なくとも１のアンカー（３）における周期的な振動の時、駆動モードでは、前記駆動マス（６；６．１，６．２）は前記駆動マス（６；６．１，６．２）と前記センサーマス（５）のこの少なくとも１のアンカー（３）に対する不釣合いが生じ、前記センサー要素は、加速度振動数および／または回転速度振動数による、生じたトルクおよびコリオリ力による前記駆動およびセンサーマスの偏向を検出する。
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【課題】シールリングを用いてパッケージに蓋体を溶接する際に、金属成分がキャビティー内に飛散することを防止し、信頼性の高い物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、振動子７０が実装されたパッケージ１０と、パッケージ１０の開口部１１の周囲の上面１６に形成されたシールリング２０と、パッケージ１０の開口部１１の周囲の上面１６であって、シールリング２０の内側に、シールリング２０と離間して形成されたリング状部材３０と、シールリング２０の上面に溶接された蓋体４０と、を含み、リング状部材３０の上面の少なくとも一部は、蓋体４０の下面と離間している。 （もっと読む）

【課題】振動型角速度センサにおいて、検出部と駆動部とがそれぞれ適する環境に配置されるような構造を実現する。
【解決手段】基板１の一面のうち検出固定電極３８、検出可動電極３６および検出梁３４が配置された検出部３０の周囲に固定され、検出部３０から離間すると共にこれらを覆うことにより検出部３０を第１空間１１に封止した第１キャップ部１０と、基板１の一面のうち駆動可動電極４２、駆動固定電極４３および駆動梁４１を含む駆動部４０が配置された位置の周囲に固定され、駆動部４０から離間すると共に駆動部４０を覆うことにより駆動部４０を第１空間１１から分離した第２空間２１に封止した第２キャップ部２０とを備える。 （もっと読む）

互いに直交する３つの空間軸ｘ，ｙ，ｚ軸に関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープが、前記基板に垂直な前記ｚ軸に関して接線方向に振動する複数のマス（２，３）が配置されている基板（１）を有する。前記振動マス（２，３）はバネ（５，６，８）および締め付けボルト（７，９）により前記基板（１）に固定される。駆動要素（１１）は前記ｚ軸に関して接線方向の振動の保持を提供し、任意の空間軸に関して前記基板（１）の回転の結果、前記マス（２，３）はコリオリ力および生じた偏向に従う。センサー要素はコリオリ力により生じた前記マス（２，３）の前記偏向を検知する。前記ｚ軸に関して振動する前記マスの一部は、前記基板（１）に平行な前記ｘ軸に関して、実質的に角度可変方法により取り付けられる。前記ｚ軸に関して振動するその他のマス（２，３）は、同様に前記基板（１）に平行なｙ軸に関して実質的に角度可変方法により取り付けられる。少なくとも１の他の前記振動マス（２，３）は、付加的に少なくとも部分的に、前記基板（１）の前記平面に平行なｘ−ｙ平面におけるｚ軸に対して実質的に放射状に傾けられる。前記付加的に放射状に傾斜可能なｚマス（３）は、ｚ軸に対して放射状に傾き、ｚ軸に関して振動しないセンサー要素に割り当てられる。
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【課題】加速度ノイズを低減し、感度のよい振動ジャイロを実現する。
【解決手段】弾性固定要素８ａ’により基板に固定され、平面内ｘｙで駆動運動されるように設計された駆動質量３と、駆動運動中の駆動質量３に固定されるように且つ角速度に応答してそれぞれの検出運動を行うように、駆動質量３の内部に懸垂支持され、それぞれの弾性支持要素１８により駆動質量３に結合された第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂと備える集積微小電気機械構造３０である。特に、第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂは、それらの振動モードを結合するように弾性結合要素３２ａ，３２ｂにより互いに結合されている。 （もっと読む）

【課題】 ２軸周りの角速度を高精度かつ高感度に検出する。
【解決手段】 基板２の表面には、駆動質量部４〜７を基板２から離間して設ける。駆動質量部４〜７は中心点Ｏに対して点対称な位置に配置する。駆動質量部４〜７は連結梁８を用いて互いに連結すると共に、連結梁８には検出部１３〜１６を接続する。検出部１３〜１６は、２軸方向に捩れ変形する検出梁１７〜２０を用いて基板２上の支持部３に支持される。そして、周方向で隣合う駆動質量部４〜７は、振動発生部９〜１２によって互いに逆位相で振動する。この状態で、角速度Ω1，Ω2が加わると、検出部１３〜１６は、Ｘ軸、Ｙ軸を中心として基板２の厚さ方向に変位して振動する。変位検出部２１〜２４は、検出部１３〜１６の厚さ方向の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型化、軽量化、低コスト化が図れる振動ジャイロを提供する。
【解決手段】 振動子１００には、コリオリ方向に対して垂直に第一の電極１２０が設けられ、コリオリ方向の一方側において第一の電極１２０に対向する第二の電極２１０と、コリオリ方向の他方側において第一の電極１２０に対向する第三の電極２２０の少なくとも一方に、バイアス信号が印加されることにより、振動子１００がコリオリ方向に変位し、第二の電極２１０と、第三の電極２２０とから、振動子１００のコリオリ方向の変位を検出し、異常の有無を自己診断することを特徴とする。
【効果】 振動子を変位させて自己診断をすることができるため、振動子自体の異常を診断することができる。
簡単な回路を用いているため、小型化、軽量化、低コスト化が図れる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、振動子の高次振動による誤差を抑制すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための励振駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、温度を検出する温度検出手段と、発熱可能な発熱手段と、前記温度検出手段により検出された温度が、前記振動子の高次共振周波数と励振振動の周波数の奇数倍が一致する温度となるのを回避するように前記発熱手段を作動させる温度制御手段と、を備える角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】 可動部と支持基板の固着が長期に亘って防止されるマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】 マイクロデバイスは、支持基板と、支持基板に隙間を介して対向しているとともに、支持基板に対して相対変位可能に支持された可動部を備えている。支持基板と可動部の互いに対向する表面の少なくとも一方には、少なくとも一つの突起が設けられている。そして、各々の突起には、その突起が設けられた支持基板又は可動部の内部へ伸びる基礎部が、一体に設けられている。 （もっと読む）

【課題】各センサーの特性を発揮でき、長期的に特性の変動を抑え、小型化および低コスト化を実現する複合センサーを提供すること。
【解決手段】振動型角速度センサー素子７００，８００，９００が減圧封止されているため、振動型角速度センサー素子７００，８００，９００のＱ値を大きくでき、バイアスドリフト特性の優れた角速度を検出できる。また、加速度センサー素子１００は、ダンピング用構造体７６によるダンピング効果により、低いＱ値にでき、過渡応答性に優れた加速度を検出できる。また、パッケージ１３００内を複数の空間に区分する必要がない。したがって、各センサーの特性を発揮でき、長期的に特性の変動が抑えられた、小型化および低コスト化を実現する複合センサー１０００を得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、角速度を測定するために使用される測定装置に関するものであり、特に、角速度の振動微細機械センサに関するものである。本発明の角速度のセンサは、少なくとも２つの振動質量構造（１）（２）、励起構造（３）（４）および、連結シーソータイプのバネ（６）（７）を含む。本発明の目的は、特に小さな角速度の振動微細機械センサの解決法において、良好な効率で信頼性が高い測定を可能にする改良されたセンサ構造物を提供することである。 （もっと読む）