【課題】揺動部の揺動範囲を制限するストッパを簡易に構成する。
【解決手段】角速度センサ１は、フレーム２と、フレーム２に対して揺動する振動子３と、振動子３の揺動を所定の揺動範囲に制限するためのストッパ５，５とを備えている。フレーム２、振動子３及びストッパ５，５は、同一基板上に複数の層が積層された１つの積層体として構成されている。ストッパ５，５は、フレーム２から延びており、反ることによって振動子３の揺動軌跡Ｔ上に位置している。 （もっと読む）

【課題】振動式の角速度センサにおいては、センサを内包する筐体内の圧力変動や、センサ素子，制御回路自体の温度変動，経時劣化等により駆動方向と検出方向の共振周波数の関係が変動しセンサの検出感度が変動する。
【解決手段】振動体からの変位信号を同期検波する同期検波手段と、その出力が常に最大値となるように共振周波数調整電極に与える電圧値を変化させる手段と、その出力を検出軸方向の共振周波数調整電極に帰還させる手段とで構成される。
【効果】温度や圧力の変動や経時劣化等に影響されずセンサの検出感度を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度な静電容量型物理量センサ及び角速度センサを提供することにある。
【解決手段】検出素子１０は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体１８と、検出電極Ｅｆとを有する。シールド配線１６は、容量検出回路３０の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子１０と容量検出回路３０の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Ｃｉｎが、１．５ｐＦ＜Ｃｉｎ＜２０ｐＦの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動する検出素子１２と、前記駆動回路１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに対し水平方向に形成されたアーム１２Ｂと、を有し、前記導体１３が前記検出素子１２における前記基部１２Ａ下面に電気的に接続されており、前記基部１２Ａの周囲には、前記基部１２Ａの水平方向の移動を抑制する緩衝材１４を設けた角速度センサとしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子と１１を備え、前記検出素子１１は、基部１２と、前記基部１２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム１３と、前記アーム１３の他端に接続されるとともに前記アーム１３の振動に伴い振動する錘１４と、を有し、前記錘１４の振動方向には前記錘１４と空隙を介して第１の振幅上限部１６が設けられた角速度センサとしたものである。 （もっと読む）

【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）

駆動信号および／または駆動信号の加速度計感知電子部品への電子パススルーに関連する同相オフセット誤差等の、慣性センサの共振器に印加される駆動信号に関連する誤差源は、駆動信号を変調し、変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。慣性センサ共振器の空気力学に関連する誤差源は、共振器と下側の基板との間の距離を変調し、そのような変調によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。そのような誤差源によって引き起こされる誤差を実質的に相殺するために、補償信号が提供され得る。
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直交誤差に対する感度および微細加工の不正確さを低減した慣性センサは、デバイス面における２つの直交軸（感度軸）周りの回転を感知するための２つの特別に構成された１軸ジャイロスコープを組み込んだ、ジャイロスコープを含み、各１軸ジャイロスコープは、フォークによって相互接続された２つの回転可能にディザリングされたシャトルを含み、各シャトルは、感度軸に垂直な傾斜軸に沿って面外に傾斜するように構成され、かつ傾斜軸に垂直な（すなわち、感度軸に平行な）軸に沿って位置付けられる対応するコリオリ検出電極を含む。２つの１軸ジャイロスコープは、例えば、フォークおよび／またはシャトルを相互接続する１つ以上の同相または逆相カップリングによって相互接続され得る。
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【課題】ずれによってもたらされる直交（振動）成分を低減する。
【解決手段】
駆動軸を有する駆動コンポーネント１０４と、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネント１０２と、回転軸をゆうし、これらを連結するヒンジコンポーネント１０６とを備えている。駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う際に、ぶら下がり軸がぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びヒンジコンポーネントの回転軸と交差するように、駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。ヒンジコンポーネントの位置は、ぶら下がり軸を駆動コンポーネントの駆動方向と平行となるように決定する。 （もっと読む）

【課題】振動子の高次共振周波数の影響を十分に排除することが可能な角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、を備える角速度検出装置であって、温度を検出する温度検出手段を備え、前記駆動手段は、前記温度検出手段により検出された温度が変化するのに応じて、前記駆動信号の態様を変更することを特徴とする、角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】感度の高いジャイロスコープおよび回転検出方法を提供する。
【解決手段】ジャイロスコープ１０は、駆動軸１０２の周りを動くよう駆動されるように構成された構造体１００を含む。構造体はさらに、駆動軸の周りを動きつつ、回転軸の周りの構造体の回転によって生じるコリオリの力に応じて検知軸１０４の周りを動くように構成される。ジャイロスコープはさらに、検知軸の周りの構造体の移動を光学的に測定するように構成された光センサシステムを含む。いくつかの実施例では、ジャイロスコープはＭＥＭＳ（microelectromechanical system）ジャイロスコープである。 （もっと読む）

【課題】 陽極接合時に可動部とガラス基板とが接合するのを防止する。
【解決手段】 第１，第２のガラス基板２，３の間に、厚さ方向に変位可能な可動部６を備えたシリコン基板４を挟む。第２のガラス基板３のキャビティ３Ａ内には、可動部６と対向した固定電極９を設けると共に、可動部６と電気的に接続されて固定電極９を取囲む同電位電極１０を設ける。また、キャビティ３Ａの底面には、層間絶縁膜１１を挟んで固定電極９および同電位電極１０と対向した下地電極１２を設ける。下地電極１２は、固定電極９に接続された第１の電極部１２Ａと、同電位電極１０と接続された第２の電極部１２Ｂとを備える。そして、第２の電極部１２Ｂは固定電極９および同電位電極１０の間の隙間Ｇを覆い、隙間Ｇと対向した部分はシールド部１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】接続不良が生じたか否かを判定することができる力学量センサ、及び該力学量センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板、該半導体基板の一面側に形成された力学量を検出するセンサ部、及び該センサ部と電気的に接続された第１パッドを備えるセンサチップと、基板、及び第１パッドに対応して基板の一面に形成された第２パッドを備える基材と、第１パッドと第２パッドとを、機械的及び電気的に接続するバンプと、を備える力学量センサであって、第１パッドは、センサ部の信号を外部に出力するための第１出力パッドを含み、第１出力パッドの少なくとも１つは、半導体基板の第１パッド形成面における中央領域を取り囲む縁領域に配置され、半導体基板は、中央領域が縁領域に対して、基材側に凸となるように湾曲している。 （もっと読む）

【課題】角速度検出部の耐衝撃特性、及び加速度検出部の感度特性の低下が抑制された加速度角速度センサを提供する。
【解決手段】対をなす、第１固定電極、第１可動電極、錘部、及び該錘部が設けられ、第１可動電極を支持する第１支持部を有する加速度検出部と、対をなす、第２固定電極、第２可動電極、及び該第２可動電極を支持する第２支持部を有する角速度検出部と、対をなす第１支持部をＸ方向に逆位相で加振し、対をなす第２支持部をＸ方向に逆位相で加振する加振部と、を備え、第１支持部間は、Ｙ方向に変位可能な第１バネによって互いに連結され、第１支持部はＸ方向及びＹ方向に変位可能な第２バネによって基台に連結され、第２支持部の１つはＸ方向及びＹ方向に変位可能な第３バネによって第１支持部の１つと連結され、第２支持部と第２可動電極とは、Ｙ方向に変位可能な第４バネによって連結されている。 （もっと読む）

測定量を測定するためのセンサ（１００，２００）であって、当該センサはセンサ信号（Ｓ）を生成し、当該センサ信号は駆動周波数（ｆ_ｘ）で振動し、前記センサ（１００，２００）はレート復調器（１３５）と、直交復調器（１４０）と、評価回路（１７０）とを有しており、前記レート復調器（１３５）は、第１の変調信号と乗算することによって前記センサ信号（Ｓ）を復調し、これによって、当該センサ信号（Ｓ）からレート信号（Ｒ_１）を形成し、当該レート信号内には、測定されるべき測定量に関する情報が含まれており；前記直交復調器（１４０）は、前記センサ信号（Ｓ）を、前記第１の復調信号に対して９０°ずらされた第２の復調信号と乗算することによって復調し、これによって当該センサ信号（Ｓ）から、直交信号（Ｑ_１）を形成し；前記評価回路（１７０）は、前記直交信号（Ｑ_１）または当該直交信号から導出された信号（Ｑ_２）が、周期的な振動の影響を受けているか否かを判断し、周期的な振動が存在している場合には、目下のレート信号（Ｒ_１）が、前記センサ（１００，２００）に作用する外部ノイズによって影響されていることを示す値を有する状態信号（Ｘ_ｓｔ）を出力する。
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面外（または、垂直）サスペンション方式を使用するMEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）であって、サスペンションがプルーフマスに対して垂直であるMEMS質量-バネ-ダンパシステムが開示される。そのような面外サスペンション方式は、そのようなMEMS質量-バネ-ダンパシステムが慣性グレード性能を達成するのを助ける。MEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）において面外サスペンションを製造する方法も開示される。

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本発明は、可動質量体構造部（１２）と駆動要素（１３）と評価要素（１５）とを含み、前記駆動要素（１３）は可動質量体構造部（１２）を運動（１４）中にずらす及び／又は保持するように適合化され、前記評価要素（１５）は、角速度（Ω）に対する可動質量体構造部（１２）のリアクション（４０）を検出するように適合化されたヨーレートセンサに関する。本発明による方法では、検査信号（４２）の処理方向（４５）に関連して、応答信号（４７）の読出しが、検査信号（４２）の給電箇所（４８）と、可動質量体構造部（１２）のフィードバック箇所（４９）との間で行われる。
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本発明は、基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造（５）に関し、連結構造は、励起手段（３，４）によって与えられた振動運動が第１軸に沿って検出されることを可能にし、かつ第１軸を含む平面に載置された振動質量体（１，２）に伝達されることを可能にする。連結構造は、振動質量体にのみ固定されるような、振動質量体に接続されたビーム（５）の閉じた組立体を含み、励起手段によって与えられた振動運動を検出するように、かつ前記平面に収容される少なくとも第２軸に沿って振動質量体（１，２）に伝達するように組立体は配置され、連結構造は、固定点を有しない。
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【課題】寄生容量によるクロストークノイズを除去可能な振動子の駆動回路において、角速度出力の検出感度を向上させること。
【解決手段】駆動回路１２０は、振動子４１２の共振周波数とほぼ同一の周波数ｆｒの交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路１２１と、振動子４１２の共振周波数よりも高い周波数ｆｃの交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路１２２と、搬送波を変調波により振幅変調して、駆動用固定電極４１６に駆動信号を出力する振幅変調回路１２３と、搬送波の直流電圧を調整して、振動子４１２に、調整された搬送波を出力する直流電圧調整回路１２４とを備える。駆動回路１２０の搬送波発生回路１２２の出力信号が、直流電圧調整回路１２４を通り、固定部４１３を通じて振動子４１２へ印加される。駆動用固定電極４１６に加えられる駆動信号Vkが図２(a)に示されており、振動子４１２に印加される電圧Vmassが図２(ｂ)に示されるものである。 （もっと読む）