本発明は、角速度を測定するために使用される測定装置に関するものであり、特に、角速度の振動微細機械センサに関するものである。本発明の角速度のセンサは、少なくとも２つの振動質量構造（１）（２）、励起構造（３）（４）および、連結シーソータイプのバネ（６）（７）を含む。本発明の目的は、特に小さな角速度の振動微細機械センサの解決法において、良好な効率で信頼性が高い測定を可能にする改良されたセンサ構造物を提供することである。 （もっと読む）

【課題】微小な静電容量の変化を検出可能で、静電気力による共振周波数の調整機能を追加可能で、加振回路からの影響を低減できる高感度且つＳＮ比の高い容量式センサを提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高精度な慣性センサおよび慣性測定装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上方の圧電膜をパターニングして形成され、基板上に固定されるアンカー部と、圧電膜をパターニングして形成された重錘と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極を含む第１の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定され他端が重錘に固定される第１の梁と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極と同一形状の櫛型電極を含む第２の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定される第２の梁とを備え、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の共振周波数の差を検出することで重錘に加わる加速度を測定可能とすることを特徴とする慣性センサおよびこれを用いた慣性測定装置。 （もっと読む）

【課題】高精度の検出精度を持つＭＥＭＳジャイロスコープ
【解決手段】 ｘ，ｙおよび／またはｚ軸まわりの回転運動を検出するためのＭＥＭＳジャイロスコープであって、特に、３次元センサであり、基板と、中心に対して径方向に移動可能な少なくとも２つ、好ましくは４つの複数のドライブマス（２）と、ｘ，ｙおよび／またはｚ軸に基板の回転が発生したときに、前記ドライブマス（２）にコリオリの力を発生させるために、前記ドライブマス（２）を振動させる駆動要素（７）とを有し、前記振動しているドライブマス（２）は、非振動性であり、且つ前記振動しているドライブマス（２）とともに、ｘ，ｙおよび／またはｚ軸の周りで基板上を回転可能な少なくとも１つの追加のセンサマス（３）に接続され、前記発生したコリオリの力により前記基板との関係で、前記センサマス（３）および／または前記ドライブマス（２）の移動を検出するためのセンサ要素（９，１０）と、スプリング（４）による前記基板へのセンサマス（３）の回動可能な取り付けのための少なくとも２つ、好ましくは４つのアンカーデバイス（５）とを有することを特徴とするＭＥＭＳジャイロスコープ。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度を高める。
【解決手段】錘と、前記錘を支持する弾性体と、ｙ軸においてはｙ軸の固有振動数に応じた第一振動数で前記ｙ軸に直交するｚ軸においてはｚ軸の固有振動数に応じた前記第一振動数と異なる第二振動数で前記錘を２軸同時に励振する励振手段と、前記ｙ軸において前記錘の変位を検出するｙ軸変位検出手段と、前記ｙ軸と前記ｚ軸とに直交するｘ軸において前記錘の変位を検出するｘ軸変位検出手段と、前記錘の前記ｘ軸の変位から前記第一振動数の成分と前記第二振動数の成分とを離散フーリエ変換によって導出するとともに前記錘のｙ軸の変位から前記第二振動数の成分を離散フーリエ変換によって導出する軸分離手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】
ｘ軸及び／又はｙ軸及びｚ軸に関する回転運動を測定する、特に３−Ｄセンサとしてのマイクロジャイロスコープであって、基板と、複数の振動マス（４，５）と、前記基板に対して前記振動マス（４，５）を結合するためのスプリングと、前記基板が回転した時にコリオリ力を発生するために、ｘ−ｙ平面上における少なくとも個々の前記マス（４，５）を振動的に往復運動させる駆動要素と、発生したコリオリ力に起因する前記マス（４，５）の変位を検出するためのセンサ要素とを有し、少なくとも個々の前記マス（４，５）は２つのグループに配置されており、両方の前記グループの前記マス（４，５）は、前記駆動要素によって、ｘ／ｙ軸の平面における振動的一次運動を行うように結合的に誘導され、第１のグループの前記マス（４）は、前記ｘ／ｙ平面の外に動くことができるように、前記基板に対して配置されており、第２のグループの前記マス（５）は、前記ｘ／ｙ軸の平面における前記振動的一次運動に垂直な運動を可能にするように、前記基板に対して配置されていることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。 （もっと読む）

【課題】一つの慣性力センサで複数の軸方向の角速度の検出を外部からの衝撃、振動による誤検出を防止しながら行うことを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し同一平面内に形成された第１アーム２、第２アーム３とからなる連結部と、連結部を介して錘部７を保持する枠体６と、少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための感知電極１０とを備えた慣性力検出素子１と、可撓性を有し慣性力検出素子１を支持する板状の支持体１２と、支持体１２を介して慣性力検出素子１を保持する収納体１１を備え、支持体１２は厚み方向の曲げ部１３を有するものである。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定をすることのできるシンプルで安価なＭＥＭＳジャイロスコープを提供する。
【解決手段】ｘ−ｙ平面に沿って直線的に動く駆動要素（２，３，４）を有し、基板上に配置され、前記基板のヨーレートベクトルの少なくとも２つ、好ましくは３つの成分を測定するマイクロマシンセンサ（ＭＥＭＳ）（１）であって、本質的に相互に垂直な方向に駆動される前記駆動要素の２つのグループが存在し（２，３；４）、相互に垂直な方向に動く前記駆動要素（２，４；３，４）は、動きを同期させるために回転可能に前記基板上に配置された複数の結合デバイス（６，７）により相互に接続されていることを特徴とするマイクロマシンセンサ。 （もっと読む）

【課題】リードフレームに搭載された角速度センサおよび他の電子部品の応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、角速度検出素子を有する角速度センサ３０と、角速度センサ３０に接続される電子回路を有するＡＳＩＣ素子２０と、角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０が搭載されるリードフレーム１０と、リードフレーム１０上に搭載された角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０を封止するモールド樹脂５０とを備え、リードフレーム１０は、角速度センサ３０とＡＳＩＣ素子２０とが重なる方向に折り曲げられている。一例では、折り曲げられたリードフレーム１０を角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０が挟むようにリードフレーム１０が折り曲げられている。 （もっと読む）

【課題】リードフレームに搭載された角速度センサの応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、矢印ＤＲ１方向および矢印ＤＲ２方向を含む平面の方向に延在するリードフレーム３０と、リードフレーム３０上に搭載される角速度センサ１０およびＡＳＩＣ素子２０と、外部端子６０とを備える。角速度センサ１０は、角速度センサモジュールにおける矢印ＤＲ１方向の端部に位置するように設けられる。外部端子６０は、角速度センサモジュールにおける矢印ＤＲ１方向の中央部に偏在するように設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、封止型デバイスである静電容量型の力学量センサにおいて、対称性をもって錘部を多軸方向に変位可能に支持する可撓部の形状不良を低減して他軸感度を低減し、かつ、錘部が配置される封止空間内の真空封止状態を良好に維持する力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】力学量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２基板と、第１基板上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２基板上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、可撓部は保護膜で被覆され、錘部はフレーム部と第１基板及び第２基板との接合により半導体基板内に形成された封止空間内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】コリオリ質量体の面外運動を検知することができるセンサーデバイスを提供する。
【解決手段】駆動周波数同調可能ＭＥＭＳセンサーは、質量体と、該質量体を平面内で駆動するように構成された質量体駆動構成要素と、質量体を支持する複数の非線形バネと、該複数の非線形バネに動作可能に接続されて、トリム電圧に応じて該複数の非線形バネの応力条件を変更する第１の同調器と、該第１の同調器と電気的に結合されてトリム電圧を提供するトリム回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】強度が高く高い加工精度を必要とすることなく振動の減衰が図られるとともに、ばね定数の設定が容易な力学量センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】内部ユニット１１とケーシング１２との間は、防振部材１５で接着および支持されている。防振部材１５は、柔軟であるため、内部ユニット１１とケーシング１２との間を接着しつつ、内部ユニット１１とケーシング１２との間の相対的な振動を吸収する。防振部材１５の厚さや幅を変更することにより、防振部材１５は強度およびばね定数を容易に変更可能である。これにより、強度の低下を招くことなく、かつ高い加工精度を必要とすることなく内部ユニット１１とケーシング１２との間の相対的な振動の減衰が図られるとともに、防振部材１５のばね定数の設定が容易である。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることが可能な力学量検出素子、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】支持基板に対して振動可能な可動構造体と、前記可動構造体を駆動方向に振動させる駆動用電極と、前記可動構造体の変位を検出する検出用電極と、を有し、前記検出用電極により検出された変位に基づき力学量を検出する力学量検出素子であって、前記可動構造体は、少なくとも前記駆動用電極に対向する部位と、前記検出用電極に対向する部位とが電気的に絶縁されており、且つ該絶縁箇所において物理的には分離していないことを特徴とする、力学量検出素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号を出力する第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂと、駆動回路部１１Ａ、１１Ｂ、検知素子１２Ａ、１２Ｂ、検出回路部１３Ａ、１３Ｂ、及び処理回路部１４Ａ、１４Ｂの内少なくともいずれか１つを被故障診断部とし、被故障診断部が正常か異常かを判断するとともに異常と判断した場合には故障検知信号を第２の出力端子１６Ａから出力する故障診断回路１６と、を備え、被故障診断部からの故障検知信号に関する出力が第２の出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、被故障診断部からのセンス信号に関する出力が第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】 加速度を高感度に検出することができる複合センサを提供する。
【解決手段】 第１の支持梁５は、第１の振動子４をＸ軸方向およびＹ軸方向に振動可能に支持する。第１の振動子４の内部には、第２の振動子８をＹ軸方向に変位可能に設ける。基板２と第１の振動子４との間には、振動発生部１０および振動モニタ部１９を設ける。基板２と第２の振動子８との間には、角速度検出用の変位検出部１３を設ける。基板２と第１の振動子４の間には、加速度検出用の変位検出部１６を設ける。角速度検出回路２６は、変位検出部１３の変位検出信号Ｖcを振動モニタ部１９のモニタ信号Ｖmを用いて同期検波し、角速度Ωを検出する。一方、加速度検出回路３０は、変位検出部１６の変位検出信号Ｖaを振動モニタ部１９のモニタ信号Ｖmを用いて同期検波し、加速度αを検出する。 （もっと読む）

【課題】検出感度ないし回転レートセンサの信号雑音比が損なわれることなく、いかなる時点においても回転レートセンサの完全な共振モードを保証できる直交補償方法を提供する。
【解決手段】第２の直交電圧を第１の直交電圧に依存して調整する。 （もっと読む）

【課題】それ自体の平面に位置する軸の周りにおける検出を遂行することを可能にする、新規なタイプのジャイロメータータイプの装置を提案することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基板に含まれ、−使用されていない平面を画定する少なくとも１つの塊（３、３’、３１、３２、３３）であって、この平面に含まれる回転の第２の軸（Ｚ、Ｈ、Ｈ’）から所定の距離に配置され、前記回転の軸（Ｚ）に垂直なこの平面において振動することが引き起こされることができる塊と、−前記回転の軸に前記塊を接続するための少なくとも２つの接続アームと、−前記アームの少なくとも１つのために、前記回転の軸の周りにおける回転のための前記基板との少なくとも１つの接続部を形成する手段と、−前記回転運動を検出するための少なくとも１つの歪みゲージと、を含むことを特徴とするジャイロメータータイプの装置である。 （もっと読む）

【課題】静電容量型のセンサ部の容量変化を検出電圧に変換するＣＶ変換回路を備え、ＳＮ比の改善と感度の向上を図るとともに、小型化を図るようにすること。
【解決手段】センサ部を構成する変位可能な振動子を挟むようにして設けられた少なくとも一対の検出用電極を有する容量素子と、振動子の電圧を高周波電圧に変調する変調手段とを備え、容量素子の検出用電極側をＣＶ変換回路の入力部に接続する。ＣＶ変換回路は、容量素子の検出用電極に接続される演算増幅器８２を備えているとともに、振動子の電位を高周波電圧に変調する高周波電圧印加回路（クロック発生回路）８０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構で短時間のうちに角速度センサの感度測定を可能とする角速度センサの感度測定装置を提供すること。
【解決手段】角速度センサ３０１のセンサ部を取り付ける保持部材３０６と、この保持部材３０６を搭載する振動テーブル３０２と、この振動テーブル３０２に第１の振動方向の振動を与える振動発生器３０３とを備えている。振動発生器３０３による第１の振動方向が、センサ部の重錘体１０４に与える第２の振動方向と一致しないようになっている。また、第１の振動方向が、角速度センサが検出する角速度の方向及び角速度センサ３０１が角速度を検出するために重錘体１０４に与える振動方向のどちらとも一致しないようにするとともに、第１の振動方向の振動周波数を、第２の振動方向の振動周波数と一致させるようになっている。 （もっと読む）