【課題】各チャネルの第１、第２信号の差分に対応する信号のＡ／Ｄ変換を少ない回路規模で実現できる集積回路装置を提供する。
【解決手段】集積回路装置は、第１チャネル第１信号ＶＱ１、第２チャネル第１信号ＶＱ２が入力され、第１チャネル計測期間、第２チャネル計測期間において、各々、第１チャネル第１信号ＶＱ１、第２チャネル第１信号ＶＱ２を第１信号ＳＧ１として出力する第１マルチプレクサーＭＵＸ１と、第１チャネル第２信号ＶＲ１、第２チャネル第２信号ＶＲ２が入力され、第１チャネル計測期間、第２チャネル計測期間において、各々、ＶＲ１、ＶＲ２を第２信号ＳＧ２として出力する第２マルチプレクサーＭＵＸ２と、第１信号ＳＧ１と第２信号ＳＧ２が入力され、第１信号ＳＧ１と第２信号ＳＧ２の差分に対応する信号を出力する増幅回路ＡＭＰと、増幅回路ＡＭＰの出力信号についてのＡ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄ変換器ＡＤＣを含む。 （もっと読む）

【課題】半ドーナツ形共振器ジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】１つの例示的実施形態は、上部表面を有する基板を有する振動構造ジャイロスコープに関する。半ドーナツ形状を有し、ステムと、ステムを囲む外唇とを含む共振器であり、ステムは基板の上部表面に取り付けられ、外唇は共振器が振動できるようにするために上部表面から離して配置される、共振器を、振動構造ジャイロスコープはさらに含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができるジャイロセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】本ジャイロセンサ駆動装置は、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、ジャイロセンサの駆動停止のために、位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、位相シフタからの駆動電圧と反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅してジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部とを含む。 （もっと読む）

【課題】エッチングパターンの形状または大きさによらずに、正確に制御された深さの凹部を形成することができる半導体基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板３をエッチングするに際し、まず、それぞれ独立に区画されたエッチング領域８７に対向する位置に同一パターンの開口８８を多数有するレジスト５９をマスクとして、異方性の深掘り反応性イオンエッチングする。これにより、半導体基板３の表面部に、深さがほぼ等しく揃った凹部８９が多数形成される。次いで、多数の凹部８９を区画する半導体基板３の側壁９０を、半導体基板３の表面に平行な横方向にエッチングして除去する。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消し、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、少なくとも１つのコリオリ素子と、少なくとも２つの検出素子を備えた検出装置とを有しており、この検出装置は、結合装置によって互い結合されており、上記の駆動装置が、コリオリ素子を駆動して振動させるため、このコリオリ素子に接続されており、上記の回転速度センサはさらに、上記の検出装置およびコリオリ素子に接続された別の結合装置を有しており、この結合装置により、上記のコリオリ素子の振動面においてこの振動に直交する方向の偏位が、上記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動要素と検出要素の間の角度関係の調整能力と対称性塊構造体の維持能力の両方を提供する。
【解決手段】振動慣性速度センサは、ノードまたは反ノードの基準線から回転偏位または「スキュー」される軸を画成する作動要素を備える。前記スキューは、別個のノードまたは反ノード基準線に関連し得るか、または同じノード線周りに「分割」される要素型をとり得る。駆動信号と検出信号の両信号は、共通組の検出要素から分解され得る。駆動要素はまた、ジャイロスコープの能動トルクに作用をすべく、振動パターンを回転偏位するスキュー軸角度で作動し得る。スキュー駆動要素は、同じデバイス上のスキュー要素または分割要素と組合わされ得る。スキュー検出要素は、一か複数のノード線を備える振動システムに適用され得る。スキュー駆動要素は、能動トルクに作用すべく二つ以上のノード線を備える振動システムに適用され得る。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消して、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、コリオリ素子（１１３）と、検出装置とを有しており、上記の駆動装置は、コリオリ素子を駆動して振動させるためにこのコリオリ素子に接続されている。上記の検出装置は少なくとも１つのロータを有しており、上記のコリオリ素子の振動面におけるこの振動に直角な方向の偏位を検出装置に結合するため、この検出装置およびコリオリ素子に接続された結合装置が構成されているおり、これによってコリオリ素子が相応に偏位した場合、少なくとも１つのロータを駆動するための回転トルクがコリオリ素子から少なくとも１つのロータに伝達される。 （もっと読む）

【課題】 ２以上のセンサー素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、第１支持層１００の上方に設けられる第１センサー素子ＳＥ１と、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、第２支持層２００の上方に設けられる第２センサー素子ＳＥ２と、を有する第２基板ＢＳ２と、を含み、第２基板ＢＳ２は、第１センサー素子ＳＥ１と第２センサー素子ＳＥ２とが互いに対向した状態で、第１基板ＢＳ１上にスペーサー３００を介して配置されている。 （もっと読む）

【課題】 容量素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、該第１支持層の上方に一端部が支持され他端部の周囲に空隙部が形成された第１可動梁８００ａと、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、該第２支持層に形成された第１固定電極９００ａと、を有し、且つ、前記第１基板に対向して配置された第２基板ＢＳ２と、を含み、前記第１可動梁８０ａには、第１可動電極が形成され、前記第１固定電極と前記第１可動電極とが間隙を介して対向して配置されて構成される。 （もっと読む）

【課題】センサ部と検出部とを電気的に接続する接続手段の駆動信号伝達線が断線しているか否かを判定することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】Ｃ／Ｖ変換回路２３は、可動電極に搬送波信号Ｖｓが印加され、固定電極に駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-が印加されるコンデンサＣs1〜Ｃs4の静電容量を変換した電圧Ｖcvを出力する。判定ロジック２５は、コンパレータ２４を通じて電圧Ｖcvをレベル変換した電圧Ｖcmpに基づいて、サーボ制御を行うための駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-を回路チップ３側からセンサチップ２側に伝達する接続ラインＬ１〜Ｌ４の断線を判定する。 （もっと読む）

【課題】パッケージに剪断歪みが作用しても、検出信号に不要信号が混入することを抑止できる振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、振動子１と蓋板５０Ａとを備える。振動子１は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃ、駆動梁、検出質量部１７Ａ〜１７Ｄおよび支持梁を備える。駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃは駆動により振動する。駆動梁は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃを支持し、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃから作用する力により撓み振動する。検出質量部１７Ａ〜１７Ｄは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動により作用するコリオリの力に対して変位自在な状態で、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃに支持される。支持梁は、駆動梁を撓み振動の節となる位置で支持する。蓋板５０Ａは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動方向および検出質量部１７Ａ〜１７Ｄの変位方向に平行であり、振動方向に平行な振動子１の中心線に対向する領域で、振動子の固定を行った構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子に外部から伝搬する振動等の影響を排除して、角速度、加速度等の物理量を高精度にて検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子２１を、前記検出素子の特性を測定するためのケースに電気的に接続するためのワイヤ６３の剛性のみで空間に保持し、接着剤による接着応力などの影響を除去したものである。 （もっと読む）

【課題】装置全体が小型でありながら、検出感度の高いセンサを製造することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は基板上に形成される可動体として具現化される。その可動体は、第１枠体と、前記第１枠体に対して、互いに対向して、かつ部分的にあるいは完全に重なり合うように配置されている第２枠体と、第１ばね部を介して前記第１枠体と接続しており、かつ第２ばね部を介して前記第２枠体と接続している結合部と、第３ばね部を介して前記結合部と接続している、前記基板に固定された固定部を備えている。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部は、一方向のばね定数が他の方向のばね定数に比べて顕著に低く、実質的に当該一方向のみの相対変位を許容する。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部が相対変位を許容する方向は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い圧力中で振動型の角速度センサを作動させる場合に、粘性漏れ成分が小さくなる共振周波数によって振動子を振動することで、サーボ負荷が低減された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、振動子を基板に連結する梁部と、振動子を、振動軸方向に振動させる駆動部と、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、振動子の検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、振動軸方向及び検出軸方向の共振周波数と、検出軸方向のＱ値とによって決定されるβｓｉｎθが、１以下となる共振周波数となっている。 （もっと読む）

【課題】センサチップと基板との機械的な接続強度が向上され、且つ、力学量センサの体格の増大が抑制された力学量センサを提供する。
【解決手段】センサチップと、該センサチップと機械的及び電気的に接続される基材と、を備え、センサチップは、半導体基板と、センサ部と、半導体基板と基材とを機械的及び電気的に接続するための第１パッドと、半導体基板と基材部とを機械的に接続するための第１ダミーパッドと、を有し、基材は、基板と、バンプを介して第１パッドと機械的及び電気的に接続される第２パッドと、バンプを介して第１ダミーパッドと機械的に接続される第２ダミーパッドと、を有し、第１パッドは、半導体基板の中央領域内にて交差する十字線上に配置され、第１ダミーパッドは、十字線上を除く半導体基板の端に配置されている。 （もっと読む）

【課題】加工誤差によって、角速度変化に対するサーボ電圧変化が低下することが抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、対を成す振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、対を成す振動子同士を連結すると共に、それぞれを基板に連結する梁部と、対を成す振動子を、振動軸方向に互いに逆位相で振動させる駆動部と、振動子の振動、及び被検出軸方向の周りの角速度によって、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、対を成す振動子それぞれの検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、抑制部は、第１抑制電極と第２抑制電極を有し、その電極間隔が、検出部の構成要素である検出電極の検出軸方向の幅の２倍となっている。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続信頼性が向上された力学量センサ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】力学量を測定するセンサ部と、該センサ部を収納するケースと、該ケースを収納する収納部と、を有する力学量センサであって、ケースは、複数のセラミックシートが積層されて成る有底筒状の絶縁基材部と、該絶縁基材部の内部に設けられた配線パターンと、配線パターンと電気的に接続され、絶縁基材部の表面に設けられた電極と、絶縁基材部の開口部を閉塞する閉塞部と、を備え、配線パターンの端部が、絶縁基材部の外面に露出され、その露出された配線パターンの端部の少なくとも一部が、絶縁部材によって被覆されている。 （もっと読む）

【課題】基板面に直交して変位する第１可動部分と、基板面に平行に変位する第２可動部分とを備えた構造体を積層構造体で実現し、第１可動部分と第２可動部分を入れ子構造とすることによって製造コストを低下させる。
【解決手段】積層構造体１０は、枠状の外側可動部２０と、外側可動部２０の枠内に収容されている内側可動部３０とを備えている。外側可動部２０にｙばね２１が接続されており、ｙばね２１によって外側可動部２０が外側基板８１から離反した高さにおいてｙ軸方向に変位可能に支持されている。内側可動部３０にｚばね３１が接続されており、ｚばね３１によって内側可動部３０が外側基板８１から離反した高さにおいてｚ軸方向に変位可能に支持されている。外側可動部２０とｚばね３１は、基板８１からの高さを異にしており、ｚばね３１が外側可動部２０から離反した高さにおいて外側可動部２０と立体交差している。 （もっと読む）

【課題】錘の励振時に発生する、コリオリ力と同方向の漏れ振動を抑制し、コリオリ力による錘の変位を正確に検出することのできる角速度センサを提供する。
【解決手段】ｘ錘２４およびｘ変位検出梁２０からなるｘ振動子とｚ錘２２およびｚ変位検出梁１８からなるｚ振動子が、プレート１６に支持され、プレート１６は励振梁１２に支持されている。励振梁１２は励振電極２６の励振によりｙ軸方向に振動させられる。励振用の梁と検出用の梁とを分離させることで、励振時に発生し得る漏れ振動を抑制できる。漏れ振動が抑制されることにより、ｘ振動子およびｚ振動子に掛かるコリオリ力を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】自動車のエンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出機能の診断手段と、加速度検出機能の診断手段と、ＤＳＰ（またはＭＰＵ）の診断手段と、同一データを格納した複数（多重化した）のＲＯＭと、ＲＯＭの診断手段と、ＲＡＭの診断手段と、センサ出力と診断結果の一括出力する手段と、外部装置からの出力要求に対し、センサ出力と診断結果を一括して出力する手段と、外部装置に対し、センサ出力および診断結果を一括して出力する際に、誤り検出符号を一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】必要情報の伝達に要する時間が短縮される。また、センサ内の全ての診断処理をＤＳＰで実行するため、ＤＳＰの故障診断を実施することで、個々の故障診断機能自身に対する故障診断が不要となる。 （もっと読む）