【課題】信頼性を向上させることが可能な物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサーの製造方法は、ベース基板に溝部を形成し、溝部内に配線を設けるベース基板配線形成工程Ｓ１と、センサー基板に導電性を有する突起部を設けるセンサー基板突起部形成工程Ｓ２と、配線と突起部とが、平面視において、互いに重なるようにベース基板とセンサー基板とを位置合わせする位置合わせ工程Ｓ３と、ベース基板とセンサー基板とを接合し、配線と突起部とを接続する接合工程Ｓ４と、センサー基板をエッチングしてセンサー素子を形成するセンサー素子形成工程Ｓ５と、を含み、配線の厚さ寸法ｔ１を溝部の深さ寸法ｄよりも小さく、且つ、配線の厚さ寸法ｔ１と突起部の厚さ寸法ｔ２との和を、溝部の深さ寸法ｄよりも大きくすることを特徴とする（ｄ＞ｔ１、且つ、ｄ＜（ｔ１＋ｔ２））。 （もっと読む）

【課題】振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現すること。
【解決手段】互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第１の方向に振動させた状態で前記振動体の第２の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第１の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第２の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】ｚ方向の回りである周方向に振動する振動子（５１）と、アンカー（３０）と振動子（５１）とを連結する連結梁（５５）と、振動子（５１）のｚ方向の変位を検出する第１検出部（６７）と、を有する角速度センサであって、環状の外部振動子（５７）と、外部振動子（５７）によって囲まれた領域内に配置された環状の内部振動子（５６）と、が第１連結梁（８０）を介して連結され、第１連結梁（８０）とアンカー（３０）とが第２連結梁（８１）を介して連結されており、第２連結梁（８１）が、第１連結梁（８０）における外部振動子（５７）と内部振動子（５６）とが周方向にて互いに逆向きに連成振動した際に節となる部位（Ｐ２）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】センサ素子の傾斜角度の精度が高く、製造コストが抑制され、かつ、センサ素子と他の素子との電気的接合の信頼性が高いセンサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサ装置は、台座４と、台座４の上面に実装される角速度センサ素子１とを備える。台座４の上面は、下面に対して傾斜する傾斜面４Ａを有する。角速度センサ素子１は、傾斜面４Ａに実装され、その天面上に形成された電極３０を有する。角速度センサ素子１の天面における傾斜面２０Ａは、台座４の下面に対する傾斜角度が小さくなるように傾斜しており、この傾斜面２０Ａに電極３０が形成される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、基板５０と、アンカー部１２を介して前記基板５０の上方に配置され、回動振動する駆動部２４と、前記駆動部２４に接続された検出部２０と、前記基板５０に配置されている駆動電極部５６と、前記検出部２０に平面視で対向して前記基板５０に配置されている検出電極部５４と、を有し、前記駆動部２４には、空隙部が複数設けられ、前記駆動電極部５６の少なくとも一部は、平面視で前記空隙部に重なって設けられていることを特徴とするジャイロセンサー。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ（微細電気機械システム；ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ）ジャイロスコープのレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差を減らすデバイス及び方法を開示する。
【解決手段】１つ又は複数の水平駆動電極９２、９４、９６、９８を含む少なくとも１つの基板６８と、１つ又は複数の水平駆動電極９２、９４、９６、９８から垂直に間隔をあけられ、これに隣接する可動電極６４、６６とを含めることができる。水平駆動電極９２、９４、９６、９８及び／又は可動電極６４、６６は、デバイスの感知軸７２の方向での可動電極６４、６６の変位から生じるレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差をなくすか減らすように構成することができる。 （もっと読む）

【課題】体格及び製造コストの増大が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】振動子と、該振動子を静電気力によって振動させる駆動部と、振動子の変位量を検出する検出部と、を有する角速度センサであって、駆動部は、振動子に固定された駆動用可動電極と、該駆動用可動電極と対向する駆動用固定電極と、該駆動用固定電極に第１駆動信号を出力し、駆動用可動電極に第２駆動信号を出力する駆動回路と、を有し、駆動回路は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路と、搬送波の周波数を変調する周波数変調回路と、搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路と、を有し、周波数変調回路を介した搬送波が、第１駆動信号として駆動用固定電極に入力され、デューティ比変調回路を介した搬送波が、第２駆動信号として駆動用可動電極に入力される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサに関する。
【解決手段】本発明による慣性センサ１００は、絶縁領域１２３と通電領域１２５とに区画された配線層１２０を含むメンブレン１１０と、メンブレン１１０の中央部分１１３の下部に備えられた質量体１３０と、メンブレン１１０を支持するようにメンブレン１１０の縁１１５の下部に備えられて質量体１３０を包むポスト１４０と、を含む構成を有しており、メンブレン１１０を安価のメタルコアで形成することにより、慣性センサ１００の全体的な製造コストを低減するだけでなく、寄生容量を減少させることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる効果がある。また、メンブレン１１０から延長された質量体１３０を金属で形成することにより、質量体１３０の質量密度を高めることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる長所がある。 （もっと読む）

【課題】振動回転レートセンサー及びその動作方法を提供する。
【解決手段】復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。 （もっと読む）

【課題】素子に不具合が生じることが抑制された電子デバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】接合された２つの基板（１０，５０）に素子（２０，６０）と貫通電極（３０）とが形成されて成る電子デバイスであって、素子（２０，６０）は、２つの基板（１０，５０）の少なくとも一方に形成され、貫通電極（３０）は、２つの基板（１０，５０）の少なくとも一方に形成されており、貫通電極（３０）は、一方の基板（１０）における他方の基板（５０）との接合面（１０ａ）側から、その裏面（１０ｂ）まで除去されて成るトレンチ（３１）と、該トレンチ（３１）を構成する壁面の一部に形成された導電膜（３５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】質量部の振幅変位量を確保し、高い検出感度を有する小型の物理量センサーを提供すること。
【解決手段】本発明の物理量センサー１は、基板２上にあるセンサー面３と、センサー面３の第１軸方向に水平に配置された２つの質量部４と、２つの質量部４に設けられ、センサー面上にあり第１軸（Ｘ軸）と垂直な第２軸（Ｙ軸）方向に延びる回転軸８と、２つの質量部４を第１の周波数を用いて逆位相で回転軸８まわりに回動振動させる駆動部５と、２つの質量部４それぞれから受ける力を伝達する力伝達部６と、力伝達部６に設けられ、伝達された力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部７と、とを有しており、センサー面３に対して垂直な第３軸まわりの角速度に応じて質量部４に発生したコリオリ力を、検出部７にて検出する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、第１検出部４２を備えた第１マス部４０と、第２検出部２２を備えた第２マス部２０と、前記第１マス部４０を第１軸の方向に振動させる第１駆動部７０ａ，７０ｂと、アンカー部９０で固定されている力変換部８０と、を備え、前記第１マス部４０および前記第２マス部２０は、前記力変換部８０で接続され、前記力変換部８０は、前記アンカー部９０を軸として変位して、前記第２マス部２０を前記第１軸と平面視で交差する第２軸の方向に振動させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で耐衝撃性に優れるととともに、製造効率の低下を抑制した実装構造体を有する物理量センサー、及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】キャビティ部（凹部２２）を有する実装基板１２と、平面視で前記キャビティ部に重複して配置されている支持基板２４と、前記実装基板１２に対向する前記支持基板１２の第１面（下面２８）であり且つ平面視で前記キャビティ部に重複する位置に配置され、前記支持基板２４を介して前記実装基板１２に電気的に接続されている物理量センサー素子４２と、前記物理量センサー素子４２及び前記支持基板２４を封止する封止材３４と、を有し、前記支持基板２４は、前記封止材３４より弾性係数の高い接合部材により前記実装基板１２に片持ち支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度で変化するバイアスを低減するために、振動構造姿勢制御装置を調整するための方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）振動構造姿勢制御装置を較正するための方法が、提供される。方法は、少なくとも１つの駆動電極に対する少なくとも１つのプルーフマスの位置の示度を取得するステップと、少なくとも１つのプルーフマスを少なくとも１つの駆動電極に対する第１の位置に配置するように構成された静電力を、少なくとも１つのプルーフマスに、示度の関数として加えるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ジャイロメータは、基板と、基板の上に懸架された慣性質量部（２）であって、励振部（６）および検出部（８）を含む慣性質量部（２）と、前記慣性質量部（２）の平面内に含まれる、励振部（６）を少なくとも１つの方向（Ｘ）に移動させる手段と、前記質量部の平面の外側での前記検出部（８）の移動を検出する静電容量検出手段とを含む。
【解決手段】前記静電容量検出手段は、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、基板に面して位置する検出部（８）の上に配置された、少なくとも１つの懸架電極（１６）を含み、前記電極（１６）は、慣性質量部（２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２）によって、前記検出部（８）の上に保持される。 （もっと読む）

【課題】物理量の入力に対して、高い線形性をもって容量素子の構造体が変位する物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】物理量検出装置は、物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に一定の電荷を供給する電荷供給回路と、前記電荷供給回路により電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静電容量に応じた信号を出力する出力回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動開始時の駆動振幅レベルが微弱な振動子を短時間で確実に起動する。
【解決手段】駆動切替回路７は、振幅検出回路５により検出された駆動振動の振幅が、振動子１と定常駆動信号生成回路４とで閉ループを形成した場合に持続的な振動を励振可能な振幅範囲内に設定されたしきい値未満の場合には、初期駆動信号生成回路６から出力される初期駆動信号を選択する。初期駆動信号生成回路６は、上記閉ループを形成した場合に持続的な振動が励振される駆動周波数を、振動子１の駆動開始時から含むようにまたは駆動開始後に含むように初期駆動信号を生成する。検出振幅がしきい値以上になった場合、駆動切替回路７は、定常駆動信号生成４から出力される定常駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】枠体に支持された錘部に作用する複数の変位を許容できるバネ構造体、物理量センサー、電子機器を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のバネ構造体１０は、接続部１２と、前記接続部１２を中心に直交する軸を第１軸および第２軸としたときに、前記接続部から第１軸の方向に延出し、第１折曲部２４で折り返され、端部に第１支持部２６を有する第１バネ２０と、前記接続部１２から前記第２軸の方向に延出し、第２折曲部３４で折り返され、端部に第２支持部３６を有する第２バネ３０と、前記第１軸および前記第２軸に平面視で交差する方向であり且つ前記第１及び第２バネ２０，３０から離間する斜め方向に、前記接続部１２からビームが延出し、前記ビームは前記斜め方向に交差する方向に分岐され、一方のビームは第３折曲部４４で折り曲げられ第３支持部４５を端部に有し、他方のビームは第４折曲部４６で折り曲げられ第４支持部４７を端部に有する第３バネ４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】センサチップ（基板）の湾曲による物理量の検出精度の低下が抑制された静電容量式センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】基板（１２）に固定された固定電極（２１）、及び、基板（１２）に対して、直交関係にあるｘ方向及びｙ方向それぞれに変位可能な可動電極（２０）から成るコンデンサの静電容量変化に基づいて、物理量を検出する静電容量式センサであって、固定電極（２１）は、絶縁層（１３）を介して基板（１２）に固定され、可動電極（２０）は、ｘ方向とｙ方向とに直交するｚ方向に基板（１２）から離れており、固定電極（２１）における可動電極（２０）との対向領域を含む対向面（２１ａ）の面積と、可動電極（２０）における固定電極（２１）との対向領域を含む対向面（２０ａ）の面積とは異なる。 （もっと読む）

【課題】密閉空間内の低圧状態の変動が抑制され、センサ検出精度の低下が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ部（１０，５０）と、密閉空間を構成し、該収納空間内にセンサ部（１０，５０）を収納するパッケージ（７０）と、センサ部（１０，５０）をパッケージ（７０）に接着固定する接着剤（９２）と、を有するセンサ装置であって、センサ部（１０，５０）は、外力によって変位可能な可動電極及び変位不可能な固定電極から成るコンデンサを有し、密閉空間は１気圧よりも低く、接着剤（９２）は、センサ部（１０，５０）とパッケージ（７０）とを接着固定する有機系接着剤（９４）と、有機系接着剤（９４）を覆う無機系接着剤（９５）と、を有し、有機系接着剤（９４）は、無機系接着剤（９５）よりもヤング率が低い。 （もっと読む）