【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力をＺ軸およびＹ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

【課題】厚さを低減することが可能なセンサーデバイス、このセンサーデバイスの製造方法、このセンサーデバイスを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１と、第１の電極１１に電気的に接続されて能動面１０ａ側に設けられた外部接続端子１２と、シリコン基板１０と外部接続端子１２との間に設けられた応力緩和層１５と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた接続用端子１３と、基部２１と基部２１から延伸された各振動腕と接続電極としての引き出し電極２９とを備えたセンサー素子としての振動ジャイロ素子２０と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、引き出し電極２９と外部接続端子１２との接続によってシリコン基板１０に保持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

コマンド型テスト機能を有する慣性センサーが記載される。センサーは、ドライバー回路によって駆動されるリング型であり、センサーは、対応する信号ピックオフを有する一次および二次部分を更に有する。一次ピックオフ信号振幅は、自動利得制御を介して制御され、一次位相ロックループおよびＶＣＯは、共振周波数にロックして、同期検出器に対するクロックを提供し、一次位相シフト回路を介した一次ピックオフ信号は、一次ドライバーに提供され、二次ピックオフ信号は検出器回路に入力され、センサーにおける動作を検出することができる。コマンド型テスト機能は、回路の一次部分から得られると共に、二次ピックオフ検出器回路における差動増幅器の２つの入力に入力される信号を有する。
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【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明は角速度センサ素子２をパッケージ１の内部空間に防振部材８を介して懸架する角速度センサユニットにおいて、防振部材８をパッケージ１との接続部８ｃと台座９との接続部８ｄとこれら接続部８ｃ，８ｄ間に位置する懸架部８ｅとに分け、懸架部８ｅの重心位置１２の高さを角速度センサ素子２、台座９および防振部材８における台座９との接続部８ｄからなる複合体の重心位置１３の高さと一致させた構造とした。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加や処理負荷の増大を抑え、集積化に好適な物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】物理量測定装置は、測定すべき物理量に応じて、互いに検出軸が異なる検出信号を所与の基準電位を基準に出力する複数のセンサーと、複数のセンサーを構成する各センサーに対応して設けられ、各センサーからの検出信号の高周波数帯域を通過させる、各々がスイッチトキャパシター回路を用いて構成された複数のハイパスフィルターとを含み、複数のセンサーのうち少なくとも１つのセンサーの基準電位と、複数のハイパスフィルターの各ハイパスフィルターを構成する回路の接地電位とが同電位に設定されている。 （もっと読む）

コリオリジャイロスコープ（１）は、励起されて、第１軸に平行な振動を行うことが可能であり、前記第１軸に垂直な第２軸に沿ったコリオリ力による前記質量系の変位が検知可能である質量系と、少なくとも１つの第１補正ユニット（３０）、および少なくとも１つの第２補正ユニット（４０）であって、各々、複数の静止補正電極（３１，３２，４１，４２）および移動補正電極（２４，２５，２６，２７）を含み、前記静止補正電極（３１，３２，４１，４２）は、第１軸の方向に延びて、対応するアンカー構造によって基板にしっかりと接続され、前記移動補正電極（２４，２５，２６，２７）は、前記質量系の一部分である第１および第２補正ユニットとを含む。この種類のコリオリジャイロスコープ（１）の直交バイアスを低減するための方法は、少なくとも一時的に一定の補正電圧を、補正ユニット（３０，４０）に印加することを含む。
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【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな信頼性を有しかつ効率的な測定を可能とする、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】外形形状の小型化が可能なモーションセンサーの製造方法及びモーションセンサーを提供する。
【解決手段】モーションセンサーの製造方法は、センサー素子が収納されたパッケージ３０を複数用意する工程と、複数のパッケージ３０を、複数のリードフレーム１０５に個々に接続する工程と、複数のリードフレーム１０５の少なくとも一つのリードフレームのリード１０１部分を曲げる工程と、リード１０１をベース基板としてのリードフレーム５０が有するリード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの接続面に接続する工程と、リード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの一部が食み出すように複数のパッケージ３０を封止する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】強度や耐久性が高く、振動の減衰が図られるとともに、ばね定数の設定が容易な力学量センサを提供する。
【解決手段】内部ユニット３１１は、防振部材３１５により支持されている。防振部材３１５は、内部ユニット３１１を支持しつつ、内部ユニット３１１と支持面３３３との間の相対的な振動を吸収する。防振部材３１５の厚さや幅を変更することにより、防振部材３１５は強度およびばね定数を容易に変更可能である。また、パッド３２７とパッド３２８との間を接続するボンディングワイヤ３１６は、自身の外径をｄとし、パッド３２７から湾曲する頂点までの高さをｈとすると、２０×ｄ≦ｈに設定されている。これにより、内部ユニット３１１が振動した場合でも、ボンディングワイヤ３１６のひずみが緩和され、強度や耐久性の低下を招くことがない。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】とりわけコンパクトで、信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】少なくとも１対の電極が、震動質量部４５、４６のエッジと関連して設けられ、その対の電極は質量部の表面と共に、２つのキャパシタンスを形成し、該動質量部の主運動の回転の角度に応じて、１対の電極の一方のキャパシタンスは増加し、１対の電極の他方のキャパシタンスは減少する。 （もっと読む）

【課題】力学量の印加により変位する可動部を有し、この可動部の変位量により力学量を検出する力学量センサにおいて、過大な力学量によって可動部が過大変位するのを防止する。
【解決手段】可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対して加速度を加えるアクチュエータ４０を備え、可動部３１は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、駆動振動の方向に沿って可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対してアクチュエータ４０による加速度の印加を行う。 （もっと読む）

【課題】位相調整を自動で行う事により、高い検出感度を常時安定して保つ角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサにおいて、検出部により出力される検出信号から漏れ振動による変位量を抽出する第２同期検波部と、第２同期検波部により検出された振動子の変位量を平滑化する第２平滑手段と、入力した信号の位相を変化させて第１同期検波部へ出力する位相調整部とを有し、位相調整部は、位相調整部に入力した信号の位相を第２平滑手段の出力を角速度に依存させない様に調整して第２同期検波部に出力する事を特徴とする角速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】１つで、複数の検出軸を有する小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ＩＣチップ３０は、パッケージ１０の凹部の凹底部分となる第１層基板１１上に設けられたダイパッド１５上に、ろう材２９によって接着・固定されている。また、ＩＣチップ３０に設けられた複数の電極パッド３５と、パッケージ１０の対応するＩＣ接続端子１６とが、ボンディングワイヤー２７により接続されている。ＩＣチップ３０の４つの側面のうち、図中（＋）Ｘ軸側の側面には、ジャイロ振動片２０が、その主面をＩＣチップ３０のＸ軸側の側面と平行に向かせた態様で中継基板４０を介して絶縁性の接着剤３９により接着・固定されている。また、ジャイロ振動片２０は、導電性の銀ペースト４９などにより接着・固定されている。このとき、ジャイロ振動片２０の検出軸は、図中（＋）Ｘ軸方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】振動子の基部における検出振動アーム用配線における静電結合の寄与による零点温度ドリフトを低減する。
【解決手段】振動型ジャイロスコープ用測定素子は、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側信号電極３０、Ｙ軸検出振動アームに設けられているＹ軸検出側接地電極３１、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側信号電極、Ｚ軸検出振動アームに設けられているＺ軸検出側接地電極、Ｙ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側信号配線４０Ｅ、Ｙ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＹ軸検出側接地配線、Ｚ軸検出側信号電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側信号配線４２Ｅ、およびＺ軸検出側接地電極に対応して基部に形成されているＺ軸検出側接地配線４３Ｅを備えており、Ｙ軸検出側接地配線とＺ軸検出側接地配線とを共通とする。 （もっと読む）

【課題】安定した振動特性と耐衝撃性とを兼ね備えたジャイロ振動片などを提供する。
【解決手段】ジャイロ振動片１０搭載時の中心点Ｇに対して、点対称となる３つの対を成すＴＡＢ基板４の電極リード６ａと６ｂ、６ｃと６ｆ、６ｄと６ｅのそれぞれの幅を、中心点Ｇを通り開口穴７を長辺方向に二等分する中心線Ｐ１、および開口穴７の短辺方向に二等分する中心線Ｐ２の両方に対して線対称の位置関係にあるリード対を同じにして、太い電極リード６ａ，６ｂと細い電極リード６ｃ〜６ｆを混在させて形成した。この各電極リード６ａ〜６ｆの各先端部上面に、ジャイロ振動片１０の略中央部裏面に形成された端子接続部を接合して、ジャイロ振動片１０が接合部以外の部位においてＴＡＢ基板４と接触しないように空隙Ｔを形成しながら支持される構造とした。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動範囲を制限するストッパを簡易に構成する。
【解決手段】角速度センサ１は、フレーム２と、フレーム２に対して揺動する振動子３と、振動子３の揺動を所定の揺動範囲に制限するためのストッパ５，５とを備えている。フレーム２、振動子３及びストッパ５，５は、同一基板上に複数の層が積層された１つの積層体として構成されている。ストッパ５，５は、フレーム２から延びており、反ることによって振動子３の揺動軌跡Ｔ上に位置している。 （もっと読む）