【課題】ウェハ平坦度などの製造プロセス条件に対して最適なスキャン速度を設定することを可能とし、露光性能と生産性を高いレベルで両立させて歩留まりの良い露光を実現する。
【解決手段】実露光に先立って、ウェハ面形状のフォーカス・レベリング軌道を求め、前記軌道を用いた場合のレチクルステージとウェハステージ２との相対位置誤差を推定する。更にスキャン速度算出手段６により、同期誤差の移動平均・移動標準偏差の期待値を、代表的なスキャン速度複数通りに対してそれぞれ算出した後、プロセスに見合った同期誤差のしきい値を満たす最大スキャン速度を各ショット毎に求め、それに応じた露光量等を再設定し、コンソール８に実際に設定された１ショット毎のスキャン速度を表示する。 （もっと読む）

【課題】連続性のある実画像に３次元情報を持たせ、仮想空間の任意の視点から実画像に含まれる物体を見ることが可能な画像データを生成する３次元デジタイザを提供する。
【解決手段】撮像手段２はカラー画像を撮像し、距離画像生成手段１は撮像手段２と重複する視野を持ち距離画像を生成する。撮像位置計測手段４は、撮像手段２および距離画像生成手段１による撮像位置と撮像方向とを計測する。座標変換手段３は、距離画像に規定した装置座標を位置計測手段４により計測した撮像位置および撮像方向を用いて実空間に規定されている３次元の実空間座標に変換する。座標変換手段３で得られた物体の実空間座標を用いることにより、仮想空間形成手段５では、物体のモデリングを行い仮想空間を形成する。さらに、外観形成手段６は、仮想空間に配置した物体に撮像手段で撮像した物体の外観をテクスチャとしてマッピングを行う。 （もっと読む）

【課題】受光素子に対する十分な受光量を確保すると共に受光素子における受光面積の小型化を図る。
【解決手段】レーザー光を出射するレーザー光源２と、レーザー光源から出射されたレーザー光を略平行光にする光学素子３と、所定の角度範囲で回動可能とされ光学素子によって略平行光にされたレーザー光を被測定物１００へ向けて反射しレーザー光によって被測定物を走査する投光用ミラー４ｂと、被測定物で反射されて拡散されたレーザー光を集光する集光レンズ５と、集光レンズによって集光されたレーザー光を受光する受光面７ａを有する受光素子７と、レーザー光の径を絞る開口部６ａを有し集光レンズと受光素子の間に配置された開口絞り６と、受光素子で受光したレーザー光に基づいて生成される受光信号を処理することにより被測定物に関する距離情報を算出する制御部とを備え、受光素子を開口絞りの近傍に配置した。 （もっと読む）

【課題】光路長を長く取る必要がなく、スペース効率を向上でき、搭載機器の低背化、小型化を図ることが可能な被写体距離推定装置を提供する。
【解決手段】撮像レンズ系１１１と、撮像レンズ系１１１を通過した被写体像を撮像する撮像素子１１２と、撮像レンズ系１１１と撮像素子１１２との間に配置され、被写体像を複数の異なる色成分に分離するカラーフィルタ群１１３と、撮像素子から得られた画像データを処理・解析する距離推定部１２と、を有し、距離推定部１２は、異なる色成分の撮像画像の焦点のボケ状態を比較することにより、被写体距離が予め定められた所定値以下であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】光電変換によって得られた光電子を所望の領域に高速に移動させ、集積させるようにして、測距装置や受光システム等を実現できるようにする。
【解決手段】光を検知して光電子に変換する第１光電変換素子１０Ａは、半導体基体１２上に絶縁体を介して形成された第１電極１６ａを有する１つの第１ＭＯＳダイオード１８ａと、半導体基体１２上に絶縁体を介して形成された第２電極１６ｂを有する複数の第２ＭＯＳダイオード１８ｂとを有する。第１ＭＯＳダイオード１８ａの第１電極１６ａは、上面から見たとき、１つの電極部位２０から複数の枝分かれ部位２２に分岐配列されたくし歯形状を有し、第２ＭＯＳダイオード１８ｂの各第２電極１６ｂは、上面から見たとき、第１電極１６ａとは分離され、且つ、第１電極１６ａにおける複数の枝分かれ部位２２間にそれぞれ入れ子状に配置されている。 （もっと読む）

本発明は、重複する撮影領域を有する２つのカメラ（１ａ、１ｂ）を用いて対象物の三次元画像を撮影するための方法に関し、較正プロセスの過程において、前記各カメラ（１ａ、１ｂ）に対してそれぞれ、相互に属するエピポーラ線群を求める。予め設定されたランダム画像（４０）を、撮影されるべき対象物（３０）上に投影する。カメラの各ピクセルに対して、第１の周辺区域（１３ａ）を特定し、属する第１のエピポーラ線（９ａ）を特定し、当該第１のエピポーラ線（９ａ）に対して、第２のカメラ（１ｂ）の対応する第２のエピポーラ線（９ｂ）を特定する。前記第２のエピポーラ線（９ｂ）上に位置する、前記第２のカメラ（１ｂ）の画像の全ピクセル（８ｂ）に対して、第１の周辺区域に対して合同の第２の周辺区域（１３ｂ）を特定する。第１のおよび第２の周辺区域（１３ａ、１３ｂ）の強度値を相互に比較し、一致度を形成する。一致度が最大である、第２のエピポーラ線（９ｂ）上の画像位置（１４）を特定する。事前に特定されている変換によって空間位置（１７）を特定する。三次元画像は、このようにして求められた空間位置（１７）を含む。
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【課題】ファイババンドル型イメージガイドの屈曲に起因して距離画像の各画素間に相対的な誤差が生じることを抑制することが可能な距離画像取得装置を提供する。
【解決手段】距離画像取得装置１は、可撓性外装体３と、光源２１と、第１光ガイドファイバ７と、第２光ガイドファイバ９と、反射光を受光し、基端面１１Ｔから出射させるファイババンドル型イメージガイド１１と、光源２１の出射光の光行路を変更し、自己校正光２１Ｅとしてファイババンドル型イメージガイド１１に入射させる光行路変更部材１５と、第１光伝搬遅延時間に対応する第１出力信号を出力する距離画像センサ２３と、測定対象物３３の距離画像を演算する信号処理部２５とを備える。信号処理部２５は、自己校正光２１Ｅを受光した距離画像センサ２３の第２出力信号に基づき、第２光伝搬遅延時間を演算し、これに基づき複数の画素ごとに距離画像を校正する。 （もっと読む）

【課題】距離測定装置に入射した光が前方の搬送台車からの反射光であるか否かを高精度で識別でき、誤検知による搬送台車の誤停止等を解消できる距離測定装置を提供する。
【解決手段】軌道に沿って走行する搬送台車の前部に、変調された測定光を平面状に走査する走査部と、走査部で走査された測定光と検出物からの反射光との時間遅れから検出物までの距離を算出する距離演算部とからなる測距装置を配置し、測距装置により前方を走行する搬送台車の後部に配置された再帰性反射部材からの反射光に基づいて搬送台車間の車間距離を検知する距離測定装置であって、走査部により走査された測定光の複数の走査角度と、距離演算部により算出された各走査角度に対応する距離と、各走査角度に対応する反射光の強度のうち、何れか二つの相関関係に基づいて、再帰性反射部材からの反射光であるか否かを識別する識別部を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも簡単な構成で距離の推定を可能にする距離推定装置の提供である。
【解決手段】対象物までの距離を推定する距離推定装置の一観点によれば、鏡と、対象物の実像および対象物の実像が映る領域以外の領域に鏡に映る対象物の鏡像を受光するレンズ部とレンズ部が受光した光を画像情報に変換する撮像素子とを有するカメラと、撮像素子が撮像した画像内の対象物の実像と鏡像の位置に基づき対象物までの距離を推定する電子制御ユニットとを有する。 （もっと読む）

【課題】被写体の測距の高精度化を図ることができる測距装置、測距方法、及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】測距装置は、光を発光する光源と、前記光源により発光されて、被写体で反射された反射光を撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像することにより得られた画素の画素値を、被写体までの距離を示す距離情報に変換する距離情報変換部と、前記距離情報に基づいて第１の撮像条件を設定する撮像条件設定部と、前記光源及び前記撮像部を制御して、前記第１の撮像条件で前記被写体を撮像させる撮像制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】空間領域の走査において従来より大きな角度領域を捕らえられるスキャナの提供。
【解決手段】光線１６を出射するための発光器１２、第１の部分期間には前方の監視領域２６を、また第２の部分期間にはスキャナ１０の後方領域を交互に塗りつぶすように第１の偏向方向に光線を周期的に偏向させるための第１の偏向ユニット１８、２０、監視領域から拡散反射又は直反射された光線３２から受光信号を発生させるための受光器３８、及び受光信号に基づいて監視領域内の物体３０を認識するように構成された評価ユニット４０を備える光電スキャナを提供する。このスキャナには、光線を第２の偏向ユニット４４へ向けて方向転換させるために後方領域に方向転換ユニット４２が設けられ第２の偏向ユニットが光線を第１の偏向方向に対して横方向に延伸する第２の偏向方向に周期的に偏向させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】連続する類似したパターンを含む物体の距離測定をステレオカメラで実現すること。
【解決手段】ステレオカメラを用いたステレオマッチングにおいて、基準点に対するＳＡＤなどの評価値分布において複数の対応点候補が存在した場合、対応点が複数存在すると判定された基準点の評価値分布と、その基準点の周辺領域に存在する別の各基準点の評価値分布とを重畳して、評価値マップを生成する。これにより、対応点が複数存在すると判定された基準点の周辺の実空間における、物体の形状を表現していることになり、評価値マップ上の最も直線の強い線分を抽出することで、一直線上に連続する柵などの正しい距離を算出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動対象を簡易に測定する。
【解決手段】円錐検出光ＤＥＴと測定対象の表面Ｓ２との交点ＴＲからの反射光に基づいてセンサ原点Ｏから測定対象Ｓ２までの距離を測定し、当該測定結果から得た交円ＴＲの特徴量によって測定対象表面Ｓ２の形状を求めるようにしたことにより、円錐検出光ＤＥＴの立体的な構成を利用して測定対象Ｓ２の形状を簡便かつ確実に測定することができる。 （もっと読む）

本明細書に開示する主題は、モバイルデバイスからリモートオブジェクトまでの距離、またはリモートオブジェクトのサイズを決定することに関する。
本発明は、回転可能なマイクロリフレクタを回転させてエネルギーをリモート表面に向ける段階であって、前記回転可能なマイクロリフレクタがモバイルデバイス中に配置され、前記回転させることが前記モバイルデバイスに関係する段階と、前記向けられたエネルギーの結果として生じる前記リモート表面からの反射エネルギーに少なくとも部分的に基づいて距離を測定する段階とを含む。
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【課題】要求に応じて動作状態を変更することのできる光測距装置を提供する。
【解決手段】光測距装置１は、光反射面を有する可動部が揺動することで光反射面に入射される光を対象領域内でリサージュ走査できる光走査部５、可動部を第１方向、第２方向に揺動させる第１駆動信号、第２駆動信号を光走査部５に供給して可動部を揺動駆動する駆動部７、光反射面に向かってパルス光を出射する光源部９、パルス光の反射光を受光する受光部１１及びパルス光の出射タイミングと反射光の受光タイミングとに基づいてパルス光を反射した物体までの距離を計測する測距部１３を備える。駆動部７は、第１駆動信号と第２駆動信号との位相差を変更する位相差変更部７２、及び、第１駆動信号及び第２駆動信号を大きさ調整して可動部の揺動振幅を変更する振幅変更部７３の少なくとも一方を含む。 （もっと読む）

【課題】計測対象までの距離を適切に計測することができる距離計測装置および距離計測方法を提供すること。
【解決手段】計測対象に対して複数の投光ドットからなる投光パターンで光を照射し、前記光が照射された計測対象を撮像することで、前記計測対象までの距離を計測する際に、前記投光パターンを構成する複数の投光ドットを、前記光の光軸と垂直な面上の前記光の照射位置と撮像位置とを結ぶ直線と平行な複数の線であるグリッド線のうち、それぞれ、所定の一対のグリッド線を両端とするものとし、該投光ドットの両端を画定するグリッド線の位置、および前記撮像ドットの撮像画面上の位置に基づき、前記撮像ドットと、前記投光ドットとの対応付けを行い、対応付けた撮像ドットおよび投光ドットに基づいて前記計測対象までの距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】ステレオ画像から比較的簡易に２枚の画像の対応点を求める３次元データ生成装置、３次元データ生成方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】画像データ入力部２は、異なる位置から所定の領域を撮影した２つの画像の画像データを取得する。位置指定部３は、２つの画像データのそれぞれの画像で、１つの構造物の領域に含まれる画像上の指定点を取得する。閉領域抽出部４は、２つの画像データのそれぞれの画像で指定点を含み、指定点との色の差が所定の範囲であって連続する画素の集合である閉領域を抽出する。外形ベクトル生成部５は、２つの画像のそれぞれで抽出した閉領域の輪郭に沿って一巡する外形ベクトルを抽出する。３次元データ計算部７は、２つの画像データのそれぞれの外形ベクトルが同じ構造物の外形に対応するとみなして、２つの画像データからその構造物の外形の３次元の位置座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】多重解像度画像を用いた対応点探索処理の処理性能を改善する。
【解決手段】互いに対応する画像内容を含んだ原基準画像と原参照画像とを取得する画像取得手段と、取得した原基準画像と原参照画像とを低解像度化することによって、解像度の異なる複数の画像を階層的に生成する多重解像度画像作成手段と、注目階層に属する注目基準画像に注目点を設定する注目点設定手段と、注目点についての、注目基準画像と注目参照画像との視差を求める視差特定手段と、視差特定手段が視差を求めるにあたって1)注目点を内包するウィンドウが注目基準画像内に収まるときには、ウィンドウ内の画像情報を用いる第１視差特定規則を、2)ウィンドウが注目基準画像からはみ出すときには、注目基準画像の外部領域からの寄与度を第１視差特定規則よりも低めた第２視差特定規則を、選択的にそれぞれ適用させる選択適用手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高い認識精度と、高いリアルタイム性とを兼ね備えた物標検出装置および物標検出方法を提供する。
【解決手段】記憶部４には、対象物の認識に用いるトレーニング用および参照用の特徴量（ポジティプデータ、ネガティブデータ）として、画像中のＲＯＩの大きさを考慮して、複数の画像サイズのものが記憶されている。制御部４では、複数の参照用の特徴量のうち、特徴量の距離（サイズ）に対応した特徴量が選択された上で、マッチングが行われる。これにより、ステレオカメラ２から得られたＲＯＩの２次元画像の距離（サイズ）が、あらかじめ用意された参照用の特徴量の距離（サイズ）と大きく異なることをなくすることができる。 （もっと読む）

【課題】シリンドリカルレンズ等のビーム整形用レンズを用いることなく、安定したビームプロファイルにて、ビームを目標領域に照射可能なビーム照射装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源４１０と、レーザ光源４１０から出射されたレーザ光が入射される収束レンズ４３０と、収束レンズ４３０を透過したレーザ光を目標領域において走査させるためのミラーアクチュエータ１００を備える。レーザ光源４１０は、レーザチップのｐｎ接合面が鉛直方向に平行となるように配される。レーザ光源４１０の発光部の鉛直方向に平行な方向の長さによって、目標領域におけるレーザ光の鉛直方向の長さが設定される。また、レーザ光に対する収束レンズ４３０の波面収差が０．１５λｒｍｓ以下に設定されている。 （もっと読む）