【課題】本発明は、Ｘ線分析を実施する装置に関する。
【解決手段】装置１は、Ｘ線管２と、被分析サンプルが設置された位置５のミクロ領域に、X線を焦点化する少なくとも１つのキャピラリレンズ４と、を有する。さらに装置１は、サンプルからの蛍光X線を検出する検出器6を有する。また装置１は、X線管２とキャピラリレンズ４との間の光路に設置された、少なくとも一つのエネルギー依存性フィルタ３を有する。このフィルタ３は、所定の閾値よりも小さなエネルギーを有するX線を実質的に遮蔽するように適合されている。 （もっと読む）

Ｘ線結像系は、Ｘ線源３００からのＸ線を焦点３６０の方に方向づけるための少なくとも１つの点焦点湾曲モノクロメータ光学体３２０を有する光学デバイスを含む。少なくとも１つの点焦点湾曲モノクロメータ光学体は、焦点の方に方向付けられた合焦単色Ｘ線ビームを供給し、検出器３５０は合焦単色Ｘ線ビームと位置合わせされる。被写体が合焦単色Ｘ線ビーム内で光学デバイスと検出器との間に配置される場合、光学デバイスは被写体３４０のＸ線画像化を容易にする。様々な実施形態において、各点焦点湾曲モノクロメータ光学体は二重湾曲の光学面を有し、光学デバイスは、焦点に対する被写体および検出器の位置に応じて受動的画像縮小または拡大を容易にし、少なくとも１つの第２の点焦点湾曲モノクロメータ光学体を使用しての被写体の屈折率または偏光ビーム画像化を容易にすることができる。
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【課題】 ＥＰＭＡ等、試料上の微小領域から発生するＸ線を分光分析する装置における波長分解能を向上させるとともに、分析目的等に応じて波長分解能と分析感度とを選択することを可能とする。
【解決手段】 試料１上で微小径の電子線が照射される微小領域２から放出される固有Ｘ線を効率良く収集するマルチキャピラリＸ線レンズ３と平板分光結晶４との間に、スリット開き角可変のソーラースリット７を設け、平板分光結晶４とＸ線検出器６との間にスリット開き角固定のソーラースリット８を設ける。ソーラースリット７のスリット開き角を選択することによりトレードオフの関係にある波長分解能と分析感度とを調整し、ソーラースリット８により散乱Ｘ線を除去して波長分解能を改善する。 （もっと読む）

【課題】 ヨハンソン型Ｘ線分光器を用いた既存の波長分散型Ｘ線分析装置に対し、簡単な改造で以て検出感度及び波長分解能を改善させる。
【解決手段】 ローランド円５上に配置された湾曲結晶を平板結晶６に置き換え、試料２と平板結晶６との間に、入射端面側で点焦点を有し出射端面側で平行線束を出射する点／平行型のマルチキャピラリＸ線レンズ４を介挿する。電子線の照射に応じて試料２上の微小領域３から放出された固有Ｘ線をＸ線レンズ４で効率良く収集して平行線束に変換し、平板結晶６により同一波長のＸ線が平行線束となるように回折してＸ線検出器８により検出する。波長走査は、微小領域３を固定し、平板結晶６及びＸ線検出器８をローランド円５に沿って移動させる従来の機構をそのまま利用すればよい。 （もっと読む）

【課題】 結晶面に対応した複数の回折Ｘ線を同時に検出して、膜内の複数の結晶構造を迅速にかつ同時に特定すること。
【解決手段】 測定用媒体２を固定設置し、かつ、膜の表面に対する放射光Ｘ線１１の入射角度を所定の角度に制限した状態にして、放射光Ｘ線１１を入射させ、膜内の結晶面に対応して発生した複数の回折Ｘ線２１を全て同時に検出し、検出された複数の回折Ｘ線２１の強度を評価して測定用媒体２内に存在する複数の結晶構造を同時に特定する。 （もっと読む）

【課題】小さな観察視野、且つ簡単な装置構成で、被写体によって生じた位相シフトの正確な空間的な微分、及び位相シフトをコントラストとする像を得る。
【解決手段】結晶の同時反射による被写体の反射像から演算により被写体によって生じた位相シフトの空間微分、及び位相シフトを得、これを用いて被写体の位相コントラスト像を形成する。 （もっと読む）

不活性ガス雰囲気にある試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、分光室は不活性ガスで置換しないですむとともに試料室と連通せず、かつ十分な強度の２次Ｘ線を得ることができ、さらに隔壁が長寿命である装置を提供する。試料４が収納される試料室１と、試料４に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７が収納され、前記試料室１と連通する照射室２と、試料４から発生する２次Ｘ線８を分光して検出する検出手段９が収納される分光室３と、前記照射室２と分光室３とを仕切るように配置されて前記２次Ｘ線８を通過させる隔壁１０とを備え、前記試料室１および照射室２が不活性ガスで置換されるとともに、前記分光室３が真空排気される。
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【課題】 電子励起によるＸ線分析において、所望の分析感度に対する最適な分析条件を簡単かつ精度良く与える。
【解決手段】 装置の加速電圧に対して、Ｘ線分光器感度のデータ、照射電流と電子線径との関係データ、Ｘ線発生領域の広がりＤｘのデータを予めデータベース18に準備する。分析対象元素と所望のＸ線強度を入力装置19から入力すると、指定された特性Ｘ線種に応じてデータベース18から必要なデータが読み込まれ、計算手段17ｃにより所望のＸ線強度に対応する加速電圧と照射電流Ｉｐｘが求められ、計算手段ｄによってＩｐｘに対応する最小電子線径Ｄｐｘが求められ、計算手段17ｅによってＤｐｘとＸ線発生領域の広がりＤｘの加算値（Ｄｐｘ+Ｄｘ）が求められ、決定手段17ｆによって（Ｄｐｘ+Ｄｘ）の最小値を与える加速電圧と照射電流の組み合わせが求められる。これにより、所望の分析感度に対する最適分析条件が精度良く簡易に決定される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、観測されるスペクトルにエネルギーシフトが発生しているため速い掃引はできなかったという点である。
【解決手段】１次ビーム源と、前記１次ビーム源より照射された１次ビームにより試料から発生した２次ビームを分光するための静電型エネルギーアナライザと、掃引信号を発生する掃引信号発生手段と、前記掃引信号に基づいて前記静電型エネルギーアナライザに掃引電圧を印加する掃引電圧発生手段と、を備えた表面分析装置において、前記掃引電圧のエネルギーシフト成分を打ち消すように、前記掃引信号に補正信号を加算することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの荷電粒子を偏向及びエネルギー選択する荷電粒子ユニットに関する。荷電粒子ビームを偏向及び焦点合わせするための二重焦点セクターユニット４２５，４４５及び電位を形成するためのエネルギーフィルタ４６０が設けられ、これにより荷電粒子ビームの荷電粒子は、荷電粒子のエネルギーに応じて電位鞍点において方向を転換される。 （もっと読む）

【課題】分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構において、分光素子のθ方向の取付角度を、十分に高い精度で調整できるものを提供する。
【解決手段】一方の面３１ａに分光素子４が貼り付けられ、ホルダー５の中心軸をなす交換軸６と平行な第１支軸Ｃ１を中心に回動自在な貼り付け板３１、ホルダーの１側面５ａおよび上面５ｅに沿うＬ字型の板材であって、ホルダーの１側面および上面が共有する辺５ｇと平行な第２支軸Ｃ２を中心に回動自在なＬ字部材３６、Ｌ字部材３６において交換軸６と平行に形成された貫通ねじ孔３６ｆに螺合する調整ねじ３４などを備える。弾性体３２，３５の付勢により、Ｌ字部材におけるホルダーの１側面に沿う部分３６ａが貼り付け板の他方の面３１ｂ側に当接し、調整ねじ３４の先端がホルダーの上面５ｅに当接する。 （もっと読む）

単一の検出器を用いた簡単で安価な構成でありながら、波長の相異なる複数の２次Ｘ線の各強度を、広い波長範囲において十分な感度で測定できる波長分散型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。Ｘ線源３、発散スリット５、分光素子７、単一の検出器９を備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、分光素子７として、試料１および検出器９から見て２次Ｘ線の光路６，８が拡がる方向に並べて固定された複数の湾曲分光素子７Ａ，７Ｂを用いることにより、波長の相異なる複数の２次Ｘ線８ａ，８ｂの各強度を測定する。
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【課題】 高分解能ＲＢＳ装置等のイオンビーム分析機器一般において、磁場型のエネルギー分析器を使用する場合に、分析管内で散乱した低エネルギーイオンに由来するノイズを低減することが可能なイオンビーム分析装置を提供する。
【解決手段】 高エネルギーイオンビームを照射する加速ユニット１０からイオンビームを試料２３に照射して、試料２３表面の元素分析を行うイオンビーム分析装置１００において、イオン検出器３４を移動可能に保持する検出器移動部３５を設け、静電型偏向器３３の電圧を所定の値に設定することにより、ノイズを大幅に低減することができ、精密な分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
検体試料中のＡｌ又はＣｕの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がＡｌ又はＣｕであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する装置において、そのスリットの心合わせは重大な困難を生じ、そのサイズが小さく、かつ複数の場合は特にそうである。
【解決手段】プレートと、該プレートに形成された開口とを備え、該開口は頂点に収束する輪郭を有し、さらに、その頂点から既知の距離で前記プレートに形成された口と、Ｘ線ビームを配向する際にフィードバックとして使用されるＸ線検出器とを備え、Ｘ線ビームは、前記開口を通過してＸ線検出器へ至るよう配置され、Ｘ線ビームおよび前記開口が相互に対して移動され、Ｘ線ビームは、Ｘ線検出器のフィードバックを使用して前記頂点まで移動し、Ｘ線ビームは、前記口まで前記既知の距離を移動するＸ線ビームを形成する装置。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置のＸ線検出器としてＣＣＤセンサ等といった半導体センサであってＸ線直接検出型の半導体センサを用いる場合に、半導体センサの損傷を長期間にわたって防止できるようにする。
【解決手段】 試料Ｓを支持する試料台１９と、試料Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源２４と、複数の半導体素子を並べることによって形成されていて試料Ｓから出たＸ線をそれらの半導体素子によって直接に受光する半導体センサ４３と、試料ＳのＸ線出射側の領域であって回折角度０°の近傍である低角度領域γに配置されたＸ線ストッパ３３とを有するＸ線分析装置である。半導体センサ４３が低角度領域γの領域内まで２θ回転移動によって運ばれたとき、Ｘ線源２４からのＸ線のダイレクトビームがその半導体センサ４３に直接に入ることをＸ線ストッパ３３によって防止する。 （もっと読む）

【課題】 波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）とエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を同時に装着した装置において、ＷＤＳで検出されたＸ線の波高分布をリアルタイムに得ることを可能とし、ＷＤＳの波高分析器の条件設定を簡単に行えるようにする。
【解決手段】 ＷＤＳのＸ線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、ＥＤＳ用として構成されているマルチチャンネルアナライザに入力できるように切換スイッチを設ける。ＷＤＳの信号処理回路の出力を、マルチチャンネンルアナライザに入力するために必要なマッチング処理を行った後、マルチチャンネンルアナライザで波高識別して積算する。波高分布をＥＤＳスペクトル表示装置に表示する。表示された波高分布からＷＤＳの波高分析器の条件を設定すると、ＷＤＳ用として構成されているシングルチャンネルアナライザの条件が自動的に設定される。 （もっと読む）

【課題】 測定試料中の重金属元素分析で、１ｐｐｍ以下の微量元素を分析可能とする小型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉなどの軽元素から構成される１次フィルタで測定元素帯域のエネルギを吸収し、励起エネルギ帯域のエネルギを透過させ、励起Ｘ線強度を高める。また、測定元素毎に選択されるＴｅ，Ｍｏ，Ｃｏなどから構成される２次ターゲットを１次フィルタの周囲に配置し、２次ターゲットで発生した蛍光Ｘ線を励起線とする。また、試料から発生したバックグラウンド成分を２次フィルタで吸収し、測定領域のエネルギを透過させる。 （もっと読む）

【課題】線幅０．２μｍ以下のパターンの評価を、高いスループット、かつ、高い信頼性を確保しておこなう。
【解決手段】電子銃２から放出された電子線を矩形に成形し、試料Ｓ上の視野を走査し、その走査領域から放出された電子を写像投影光学系で拡大し、その拡大像をシンチレータ５１に結像させ、リレー光学系でＣＣＤに導き、二次元像を得る構成の電子線装置において、前記ＣＣＤには前記二次元像を映像できる面を少なくとも二つ設け、一方の面が拡大像を受像中に他の面から画像データを取り出すことを特徴とする電子線装置。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも０．０１８モル／ｋｇの、フッ化物の状態で存在する２価の陽イオンＭがドーピングされている、特に単結晶の形をしている、結晶性のフッ化リチウムに関する。イオンは、Ｍｇ^２＋、Ｚｎ^２＋又はＣｏ^２＋であることができる。このフッ化物は、高い反射性と、それから放出される強い放射線とを有することができ、また、この放射線は、とりわけ希土類ハロゲン化物タイプの高速光シンチレータによって効果的に受容することができる。この物質は、元素分析の目的のため、Ｘ線蛍光放射線用のモノクロメータとして特に有用である。 （もっと読む）