【課題】微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、微小化構造を有する物体の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、反応ガスを供給すると同時に、加工すべき箇所に電子ビームを当てて、材料を堆積するか、あるいは、材料を切除することにより、物体を加工する工程と、物体の表面を電子ビームによって走査し、生成された後方散乱電子及び二次電子をエネルギー選択器７に導入し、二次電子をエネルギー選択器７によって反射させ、エネルギー選択器７を通過する後方散乱電子を検出し、検出された後方散乱電子に応じて走査領域の電子顕微鏡像を形成して、物体を検査する工程と、形成された電子顕微鏡像を調べて、材料のさらなる堆積又は切除を実施すべきか否かを決定する工程とを含む。並びに、この方法を実施するように構成された電子顕微鏡及び加工システム。 （もっと読む）

【課題】測定試料中の微量元素の分析を可能とする比較的安価な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線３を試料１に照射し、当該試料１から発生した蛍光Ｘ線３２を検出器６で検出することにより、前記試料１の元素分析を行う蛍光Ｘ線分析装置において、Ｘ線管４と、前記Ｘ線管４から出射されたＸ線３のうち一部のＸ線を吸収する１次フィルタ８と、前記１次フィルタ８を通過したＸ線により励起されて特性Ｘ線を発生する２次ターゲット９とを備え、前記１次フィルタ８は、前記２次ターゲット９の励起に寄与しないＸ線を吸収し、かつ、励起源となるＸ線が透過されて前記２次ターゲット９に照射され、前記２次ターゲット９から発生した特性Ｘ線を前記試料１に照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い分析精度を維持しつつ、非常に短時間で分析を行うことができるアスベストの定量分析方法を提供する。
【解決手段】被検試料Ｓに含まれるアスベストの回折線強度を求め、検量線に基づいてその回折線強度からアスベストの重量を求める定量分析方法である。アスベストの回折線強度を求める際、受光スリット５のスリット幅をアスベストの回折線幅と等しい幅に設定し、その受光スリット５及びＸ線検出器８をアスベストの回折線角度位置（２θ）に停止させた状態でＸ線検出器８によって所定時間、回折線を計数する。受光スリット５及びＸ線検出器８のスキャンによってアスベストの回折線強度を測定することに比べて、測定時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】散乱イオンのエネルギースペクトルを測定するにあたり、特定の散乱イオンを検出対象から除外するためのデフレクタに求められる必要電力を削減する。
【解決手段】散乱イオン１８をそのエネルギーに応じて第１の方向に偏向する磁気形成手段２４と、その偏向された散乱イオンの到達位置を検出するイオン検出器２８と、特定のイオンを検出対象から除外するデフレクタ２６とが用いられる。デフレクタ２６は、イオン検出器２８に向かう散乱イオン１８を第１の方向と直交する第２の方向に偏向する電場を形成して、当該第２の方向への偏向量が一定以上の散乱イオンを前記イオン検出器の散乱イオン検出可能領域から逸脱させる。その電場は、当該電場を通過する散乱イオンのエネルギーが大きいほどその偏向量を大きくするような強さ分布または形状を有する。 （もっと読む）

【課題】測定種別の選択と光学部品の交換作業とを関連付けて、交換すべき光学部品の情報を図を用いて画面に表示することで、測定準備作業を容易にする。
【解決手段】Ｘ線分析装置の測定準備作業に関連して、選択画面において、複数の測定種別の中からオペレータが所望の測定種別を選択すると、その測定種別に応じて、取り付けるべき光学部品及び取り外すべき光学部品の情報が、図を伴って表示装置の画面に表示される。オペレータは、その作業指示を見て、Ｘ線分析装置の光学系から光学部品を取り外したり、光学部品を取り付けたりする作業を実行する。図を伴って表示する形態には、交換すべき光学部品１６，１８の光学系上の位置を図示することや、取り付け作業と取り外し作業の区別を絵記号６９で表示することや、光学部品の識別マーク７０，７２を表示すること、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】種々の形状の試料に対応した試料ホルダにより、試料より発生する蛍光Ｘ線の強度が最大になるようにＸ線源からの一次Ｘ線の照射位置を自動調整し、常に短時間で高感度、高精度の分析が行える斜入射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】環状の側部１１および底部１３を有する本体１８と、試料載置台１４と、試料載置台１４を支持し、その高さを調整する少なくとも３個の高さ調整具１５を有する試料ホルダ１と、試料ホルダの当接面１０４をセラミックスボール４７に押圧する押圧手段４０と、検出器３７が測定する試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度に基づき、Ｘ線管位置調整手段５５、分光素子位置調整手段５７および分光素子角度調整手段５８を制御する制御手段５６とを備え、試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度が最大になるようにＸ線源３からの一次Ｘ線３４の試料Ｓへの照射位置を自動調整する斜入射蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】試料より発生する蛍光Ｘ線の強度が最大になるようにＸ線源からの一次Ｘ線の照射位置および照射角度を自動調整することにより、光学調整の熟練者でなくても、常に短時間で高感度、高精度の分析が行える蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１は、制御手段２０により制御される各調整手段１９、２２、２３により調整されたＸ線管１１と分光素子１３の位置と角度と装置機構上の対応する位置と角度との差を各オフセット記憶手段２１、２４、２５にオフセットとして記憶し、分析条件設定手段に記憶したオフセットを付与し、試料１６より発生する蛍光Ｘ線１７の強度が最大になるようにＸ線管１１からの一次Ｘ線の試料１６への照射位置および照射角度を自動調整する。 （もっと読む）

【課題】それぞれ異なる分光結晶を搭載する複数のＸ線分光器を装備し各Ｘ線分光器毎に検出する波長を設定して複数の元素の同時分析を行う波長分散型のＸ線分析装置において、Ｘ線分光器に対する分析対象元素の割り当てを適切に行うことで測定回数を減らしながら正確な測定を行う。
【解決手段】複数の分析対象元素の中で濃度の低い順に、より高い感度での分析が可能な分光結晶と特性Ｘ線の種類の組合せを選択し（Ｓ２、Ｓ３）、選択した分光結晶が装置に装備されているか否か、既に他の分析対象元素に割り当てられているか否か、さらには選択された特性Ｘ線に他の元素の特性Ｘ線の重畳がないかどうか、をそれぞれチェックし（Ｓ４〜Ｓ７）、問題がなければ選択された分光結晶（Ｘ線分光器）に分析対象元素を登録する（Ｓ９）。これを濃度の低い順に繰り返して、全元素をＸ線分光器に割り当てる。 （もっと読む）

【課題】スメアリング現象の発生を抑えることにより、超小角領域における試料からの散乱線を正確に捕えることができる超小角Ｘ線散乱測定装置を提供する。
【解決手段】試料Ｓから出射したＸ線を検出する検出器７と、Ｘ線実焦点Ｆと試料Ｓとの間に設けられたＸ線平行化ミラー１６と、ミラー１６と試料Ｓとの間に設けられたモノクロメータ２２と、試料Ｓと検出器７との間に設けられたアナライザ２３とを有する超小角Ｘ線散乱測定装置である。ミラー１６は、直交するミラー１６ａ，bを有する。ミラー１６ａ，bは多層膜ミラーであり、Ｘ線反射面は放物面形状であり、多層膜の格子面間隔はブラッグ条件を満足するように放物面に沿って連続的に変化している。モノクロメータ２２及びアナライザ２３はチャネルカット結晶によって形成される。アナライザ２３は２θ軸線を中心として走査回転し、アナライザで分光された回折線が検出器７によって検出される。 （もっと読む）

【課題】実験室レベルのＸ線小角測定装置を用いて配向性試料の結晶性を簡単且つ正確に評価できる超小角Ｘ線散乱測定に基づく配向度の解析方法を提供する。
【解決手段】水平方向に関しては微細な焦点サイズであり垂直方向に関しては無限高さ焦点サイズであるＸ線を配向性試料に照射して、その試料の面内角度φを変えながら超小角Ｘ線散乱測定を行って実測散乱線強度Ｉ_ｏｂｓを実測によって求め、σ_ｑの項及びσ_μの項を含んだ散乱線強度のモデル式にσ_ｑ及びσ_μの値を代入して計算散乱線強度Ｉ_ｃａｌを求め、Ｉ_ｏｂｓとＩ_ｃａｌとを比較することによってσ_ｑ及びσ_μの真値を求める解析方法である。σ_ｑは散乱角ｑ_ｍａｘ時（２θ最大時）のＩ_ｏｂｓから第１次近似し、σ_μは散乱角ｑ＝０時（２θ＝０°時）のＩ_ｏｂｓから第１次近似する。さらに、φｑ極座標表示をすることによって、結晶の対称性や複数の結晶が含まれるか否かが解析できる。 （もっと読む）

【課題】 容易に絶対波長を決定することができ、簡素な構成で精度の高い分光測定を行うことができるＸ線分光測定方法およびＸ線分光装置を提供する。
【解決手段】 対向する２つのカット面が形成され、格子定数が既知である分光用チャンネルカット結晶（２０）を用いて行うＸ線分光測定方法であって、分光用チャンネルカット結晶（２０）が（−，＋）および（＋，−）となる各配置においてＸ線を回折させ、各配置における結晶回転角度の差からＸ線の絶対波長を決定する。これにより、アライメントが簡単になり、測定に適したチャンネルカット結晶さえ用意できれば、容易にかつ高精度でＸ線分光測定を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、ａ）Ｘ線源、好ましくは標準的多色Ｘ線源と、ｂ）好ましくは透過ジオメトリーで、ブラッグ結晶以外の回折ビームスプリッター格子と、ｃ）いくつかの個別ピクセルを有する空間変調検出感度を備えた位置感知型検出器と、ｄ）検出器の画像を位相ステッピング法で記録するための手段と、ｅ）個別ピクセルごとに吸収優位のピクセルおよび／または微分位相コントラスト優位のピクセルおよび／またはＸ線散乱優位のピクセルとして被写体の特徴を同定するためにピクセルごとに一連の画像の強度を評価するための手段と、を含む、被写体から定量Ｘ線画像を得るためのＸ線用、特に硬Ｘ線用の干渉計に関する。
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【課題】波長分散型Ｘ線分析装置において状態分析のために高波長分解能でのＸ線プロファイルを取得する際の時間を短縮する。また、定量／定性分析のための広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルの取得に並行的に状態分析用Ｘ線プロファイルの取得を可能とする。
【解決手段】分光結晶４とＸ線検出器６とを倍角の関係（θ，２θ）を保って移動させる従来の波長走査駆動部２１とは別に、分光結晶４のみを軸４ａを中心に微小角度範囲だけ高速で回動させる微小駆動部２２を設ける。例えば波長走査駆動部２１により比較的大きな波長ステップ幅で波長走査する際に目的元素のピーク位置に達すると、Ｘ線検出器６の位置を停止して分光結晶４のみを繰り返し往復回動させ、その動作に同期してデータ処理部２４はＸ線検出データを取得してＸ線プロファイルを作成する。 （もっと読む）

【課題】非破壊で試料内部の情報を高解像度で取得し良／不良の判断を行うことができ、検査時間を短縮する装置の提供。
【解決手段】電子線またはＸ線を試料（１０３）に照射し、試料からの蛍光Ｘ線をゾーンプレート（１１０）を用いて集め検出器（１０５）で検出し、検出器（１０５）からの電気信号をＡ／Ｄコンバータ（１０６）でデジタル信号に変換し、不良判断部（１０７）で良／不良を判断し、不良の場合、画像処理部（１０７）で画像処理し、画像表示部（１０９）に表示する。 （もっと読む）

【課題】スリット幅を連続的に変更することができ、且つコンパクトなソーラスリットを提供する。
【解決手段】複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、各隔壁板の間に介挿された弾性体と、前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、を備えたソーラスリットとする。圧縮機構を作動させることにより弾性部材が積層方向に一斉に圧縮され、又は一斉に伸長するため、各隔壁板が平行な状態を保持しつつ、隔壁板間隔、つまりスリット幅を任意に調節することが可能となる。弾性部材としては、各種のばねやゴムを使用することができる。このように、本発明のソーラスリットは非常に簡単な構成であるため、従来欠かすことができなかった分析装置における設置スペースが不要となり、分析装置の小型化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】原子炉の停止を不要とし、経済性も高く、検査回数を増やすことやリアルタイム連続監視が可能で、より安全な原子炉運転を実現する。
【解決手段】基本的な構成は、フォトンカウンティング・イメージャーを用いて、配管外部からＸ線による放射線画像を計測、濃淡によって示される放射線強度情報から金属配管の厚みを検出、異常箇所の発見をするものである。
また、フォトンカウンティング動作のエネルギー弁別機能により、低エネルギーであることを利用して、背景雑音となる散乱線を除去する。 （もっと読む）

多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを用いて対象物の画像を検知するシステムと方法を開示する。一つの観点によれば、この方法は対象物の画像を検知する段階を含んでもよい。この方法は、多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は該第一のＸ線ビームを直接遮るように、モノクロメーター単結晶を、予め決めた位置に置き、予め決めたエネルギーレベルを持つ第二のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は、この対象物をこの第二のＸ線ビームが透過して、この対象物から透過したＸ線ビームが放射されるように、この第二のＸ線ビームの経路上に対象物を置くことができる。この透過したＸ線ビームを、アナライザー結晶上の入射角に向けることができる。更に、このアナライザー結晶から回折したビームにより、対象物の画像を検知することができる。
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【課題】 鉄鋼中のカーボン分析において、定性分析で得られるスペクトルに基づく簡易的な定量分析の精度を向上させることの可能な定量分析方法を提供する。
【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性Ｘ線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出Ｘ線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 携帯性を確保したエックス線分析装置は軽量化のため、測定対象の検査時の発生装置と検出装置等の移動で、装置が歪んで移動の前後で被測定位置がずれるおそれがあることに鑑み、移動の前後で被測定位置を容易に一致させることができるようにしたエックス線分析装置を提供する。
【解決手段】 エックス線の発生装置２と検出装置３を円弧状のガイドレール４に案内させて移動可能とし、発生装置２の照射方向と検出装置３の検出方向の交点Ｃをガイドレール４の円弧の中心と一致させ、交点Ｃに測定対象Ｏの被測定位置を位置させる。ガイドレール４をその円弧の径方向に移動可能とし、ベースプレート６上の基準点から被測定位置までの距離を測距装置９で測定し、この距離と基準点から交点Ｃまでの距離とを一致させるようにガイドレール４を移動させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で６価クロムを定量分析できる蛍光Ｘ線分析装置などを提供する。
【解決手段】Ｘ線源４、発散スリット１１、分光素子６、受光スリット２０、検出器８、分光素子６と受光スリット２０および検出器８とを連動させる連動手段１０、ならびに、検出器８の測定結果に基づいて定量分析を行う定量分析手段１８を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置である。定量分析手段１８が、Ｃr −Ｋα線２２において強度が最大となるピーク分光角が６価クロムの含有率対クロム全体の含有率の比に応じて変化することに基づいて、６価クロムの含有率を算出する。発散スリット１１、分光素子６、受光スリット２０および検出器８の組合せとして分解能が相異なる複数の検出手段２３を備え、ピーク分光角の変化を検出する際に、クロム全体の含有率または強度を求める際に選択される検出手段２３Ａよりも分解能が高い検出手段２３Ｂが選択される。 （もっと読む）