【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

貨物の非侵入性検査及び確認を行うためのシステム及び／又は方法を開示する。代表的な一実施形態では、元素シグネチャーを供給チェーンの第1地点で特定し、該供給チェーンの第2地点に送信する。物品が第2地点に到着すると、該物品の元素シグネチャーを測定し、元々の元素シグネチャーに対して確認できる。別の実施形態では、元素シグネチャーを測定して物品の起点を確認したり物品を識別したりできる。幾つかの実施形態では、こうした元素シグネチャーは発送済み物品及び／又は梱包材料に固有とする。他の実施形態では、元素シグネチャーは発送品にタグ物質として付加する。
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【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

Ｘ線レンズアセンブリを含む装置であるＸ線レンズアセンブリとＸ線レンズアセンブリの製造方法とが記載される。Ｘ線アセンブリは、Ｘ線の導入開口部（９０）とＸ線の導出開口部（９４）とを含む管部材（５０）を有する。加えてアセンブリは、管部材（５０）の内部に取り付けられるキャピラリＸ線レンズ（２８）を有する。安定化材により、および／または一つ以上の分離した取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により、Ｘ線レンズ（２８）が管部材（５０）の内部に取り付けられる。

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Ｘ線遮蔽装置（４０）及び係る装置を備えるＸ線装置が記載される。装置（４０）は、孔を有する固定部材（９４）と、固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作された一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備える。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）は、孔より小さいＸ線通路（９０）を孔の中に画定する。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の移動は、固定部材（９４）に対する各位置において、少なくともＸ線通路（９０）の外側の領域で孔を被覆するように制限される。
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【課題】粒子統計が著しく改善されたＸ線透過回折分析方法および装置の提供。
【解決手段】サンプルを基板に配置する段階、中心部分が平面に沿って延在する帯形Ｘ線ビームをＸ線放射線源により生成する段階、サンプルがビームの経路内となり、サンプルの薄片部がビームによって照射される初期位置に、基板およびサンプルを配置する段階、基板の初期位置に対する基板の以下の運動、すなわち、基板に垂直な回転軸線の周りの回転であって、所定の回転角にわたる基板およびサンプルの回転と、傾斜軸線の周りのビームの中心部分が延在する平面と回転軸線がなす角度として定義される傾斜角にわたる基およびサンプルの傾動であって、第１所定値と第２所定値の間で変化する傾斜角にわたる傾動とを実施する段階、及び基板の運動が実施される時間間隔の間にサンプルを透過し回折されたＸ線放射を前記検出器で検出する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線を用いて被測定物に含まれる微少物質を測定するに際して、比較的簡単な構成で、被測定物の複数の面を正確に且つ安定して測定できるようにする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線を用いて被測定物Ｗの材料中に含まれる物質を測定する物質測定装置Ｓであって、被測定物が配置される測定ステーションＡｓを有する装置ベースＢｓと、測定ステーションに配置された前記被測定物を位置決め状態で保持し且つ保持状態で回転し得る保持回転手段Ｍと、測定ステーションに位置決め状態で保持された被測定物の測定面にＸ線を照射する照射手段２６と被測定物の測定面で反射したＸ線を検出する検出手段２７とを有する測定手段と、該測定手段および前記保持回転手段の作動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実に高精度の焦点合わせができるように改良した光電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 収束イオンビームまたは電子ビームを試料表面の観察部位の直近に照射してマーキングするためのイオン源または電子線源を備えたことを特徴とする光電子顕微鏡。 （もっと読む）

集束イオンビーム３１２のスパッタリングエッチング加工を行って薄片を作製すると同時に、薄片の側壁に対して平行な方向から電子ビーム３１４の照射を行って走査電子顕微鏡観察をし、薄片の厚さを測定する。そして、薄片の厚さが所定の厚さになったことを確認して、集束イオンビーム３１２による加工を終了する。
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【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 単結晶試料又は配向性が高い多結晶試料であっても、電子後方散乱回折像のコントラストを改善することができる方法を提供する。
【解決手段】 試料の観察領域以外の領域にイオンビームを照射して結晶性を劣化させた劣化領域を形成する（ステップＳ１２）。その後、劣化領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１３）。さらに、試料の観察領域における電子後方散乱回折像を撮像する（ステップＳ１４）。最後に、各回折像の間で、同一画素毎に回折強度の差を算出することにより回折像のコントラストを改善する（ステップＳ１５）。 （もっと読む）

【課題】薄層の積層構造を有する分析試料中の薄層測定層の元素組成を決定することをすることができる方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は、薄層の積層構造を有する分析試料に斜めエッチングまたは斜め研磨を行なって、測定層を露出させる工程；電子線照射によって、露出させた測定層から特性Ｘ線を励起させる工程；測定層からの特性Ｘ線のみを検出する工程；および検出した特性Ｘ線から元素組成を決定する工程からなる薄層の分析方法を提供する。本発明はまた、照射手段；試料保持手段；入射Ｘ線調整手段；および、Ｘ線検出手段を備える特性Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を実現し、かつ、真空容器内の圧力の増加や汚染が無く数μｍの試料片が固着されるＴＥＭホルダの導入手段を備え、迅速な観察を可能とする試料室容積が必要最小限の、占有面積の小さい、大口径ウエハ用の試料作製装置を提供すること。
【解決手段】試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該試料ステージに移載する試料移載手段と、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダを固定する試料載置部と該試料載置部を保持し、試料ステージ本体部と脱着可能な構成から成るカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カートリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に、該容器の外部から移載する移載手段を備える。 （もっと読む）

【課題】反射電子線検出装置において、結晶粒界とその方位情報を得る他に、磁性材料解析機能や、特定結晶方位の分布検査機能を付加し、より広範な解析を行うことがでるようにする。
【解決手段】操作部１４を使ったオペレータの操作により、解析情報の取得領域が電子線照射軸に対して垂直とされたとき、システム制御部１５の制御に基づいて、前記電子線像における前記取得領域の縦方向に画素の輝度を積算し、解析情報として試料の磁区パターン情報を得、システム制御部１５に送る。システム制御部１５は、前記磁区パターン情報に応じた画像を表示部１３に表示する。 （もっと読む）

【目的】マイクロフォーカスＸ線ＣＴ装置を用いた測定方法の改良に関し、より詳しくは撮影視野が狭くとも、年輪年代測定や密度測定に必要な画像幅を取得することが可能な測定装置及び測定方法を提供すること。
【構成】 試料をＸ軸方向に移動させる移動手段。試料をＹ軸方向に移動させる移動手段、試料を固定する固定手段、Ｚ軸方向に試料を移動させる移動手段、試料の断層面を傾斜させるための傾斜手段、試料をＺ軸方向の軸廻りに回転させる回転手段より構成した。センターセットフルスキャン、オフセットフルスキャン、センターセットハーフスキャン、マルチスライス法あるいはコーンビーム法で撮影する。 （もっと読む）