【課題】 検出器の構成に対して変更を最小とするに、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器内に載置することができる、正面照射検出器、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器内に載置する方法、及びＣＴ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 正面照射検出器は、コリメータ、Ｘ線から可視光への変換器、可視光からアナログ信号への変換器、基板、及び前記アナログ信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器を備える。Ａ／Ｄ変換器を検出器内に載置する方法は、Ａ／Ｄ変換器を基板のＸ線が照射されない位置に載置するステップを含む。ＣＴ装置は前記正面照射検出器を含んでいる。従来の検出器の構成に対して変更を最小とする上に、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器の中に載置し、Ａ／Ｄ変換器がＸ線に照射されず、Ａ／Ｄ変換器が良好に保護されている。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ２３のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃１０によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置１５０に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 （もっと読む）

【課題】 外部磁場がＴＥＳに与える影響を大幅に抑制することが可能なＸ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線を受けてそのエネルギーを温度変化として検出し電流信号として出力するＴＥＳ７と、ＴＥＳ７を内部に配置すると共に超伝導状態となる超伝導磁気シールド８と、超伝導磁気シールド８を被包すると共に該超伝導磁気シールド８が超伝導状態になるまで外部磁場を遮蔽する室温磁気シールド９と、を備え、超伝導磁気シールド８と室温磁気シールド９とが、互いに同心円状に配置された円筒状である。 （もっと読む）

【課題】微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、微小化構造を有する物体の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、反応ガスを供給すると同時に、加工すべき箇所に電子ビームを当てて、材料を堆積するか、あるいは、材料を切除することにより、物体を加工する工程と、物体の表面を電子ビームによって走査し、生成された後方散乱電子及び二次電子をエネルギー選択器７に導入し、二次電子をエネルギー選択器７によって反射させ、エネルギー選択器７を通過する後方散乱電子を検出し、検出された後方散乱電子に応じて走査領域の電子顕微鏡像を形成して、物体を検査する工程と、形成された電子顕微鏡像を調べて、材料のさらなる堆積又は切除を実施すべきか否かを決定する工程とを含む。並びに、この方法を実施するように構成された電子顕微鏡及び加工システム。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成でありながら、エネルギ線の照射位置と集光ミラー部の焦点との位置調節を容易にすること及び振動などによる集光ミラー部の位置ずれを防ぐことである。
【解決手段】
エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光を測定する試料測定装置１であって、エネルギ線ＥＢを収束させる鏡筒部２３と、前記鏡筒部２３及び前記試料Ｗの間に設けられ、前記鏡筒部２３で収束されたエネルギ線ＥＢを通過させ、そのエネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射するためのエネルギ線通路３１２と、その通路３１２の軸線上に焦点Ｆが設定されたミラー面３１１と、を有し、試料Ｗから生じる光Ｌを前記ミラー面３１１により集光する集光ミラー部３１と、を備え、前記エネルギ線ＥＢの軸と前記焦点Ｆとを一致させるように、前記鏡筒部２３に前記集光ミラー部３１を支持させている。 （もっと読む）

【課題】 試料からのＸ線を効率的に超伝導Ｘ線検器に入射でき、かつ光軸や焦点調整が容易に実施できる超伝導Ｘ線検出装置を提供する。
【解決手段】 冷凍手段となる希釈冷凍機２と、冷却される冷却ヘッド５と、冷却ヘッド５に固定された超伝導Ｘ線検出器１とからなる超伝導Ｘ線検出装置において、超伝導Ｘ線検出器１の近傍に設けられたＸ線入射部の４Ｋ輻射熱シールド６の内壁にＸ線集光手段としてポリキャピラリー１２を接合する構造にした。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、Ｘ線装置の高い処理性能を損なうことなく爆薬に対する低い誤法率の実現を可能とする爆発物探知装置を提供することにある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明では、荷物内の爆発物検査においてまずＸ線を照射して得たＸ線像から得られる密度および実効原子番号の一方または両方から爆発物の存在可能性を判定し、次にＸ線像から得られた情報をもとに最適となるように爆発物の存在範囲に０.１から６ＭＨｚの周波数範囲の電波を照射し、Ｎ−１４核の核四重極共鳴により発生した電波を受信して予め登録された爆発物に対応する共鳴電波周波数位置の信号値があらかじめ定められた一定値以上であることを条件に爆発物の存在を判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体等を高速に検査できるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【解決手段】電子光学系を少なくても３本以上配置し、複数の電子源を搭載した電子銃室を試料室とは独立に真空排気することによって複数の電子源近傍の真空度を常に高真空に保つ。また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出する。 これにより、同一の回路パターン同士でほぼ同時に得られた検出信号を比較し、パターン検査の欠陥判定を同時に行う。 （もっと読む）

【課題】 供用状態または炉外取出し状態における被測定材料の中性子照射量、DPA、ヘリウム生成量、水素生成量等の放射線損傷量をその場で非破壊的に測定する。
【解決手段】 原子炉プラントに組込まれた状態または外された状態の被測定部材１９から放出されるγ線を測定する検出器本体１と、該検出器本体１を包囲して形成された放射線の遮蔽体と、該遮蔽体に前記検出器本体１と外部とを連通して設けられた細孔と、前記細孔の開口部を水密にシールする蓋と、を有して形成された検出器部５と、前記検出器本体１に接続され、前記γ線の測定データを分析して前記被測定部材１９に含まれる放射性核種とその量を求め、該求めた放射性核種の量と前記被測定部材１９の化学組成と前記放射線の照射時間履歴とに基づいて前記放射線の中性子量を算出し、算出した前記中性子量に基づいて前記放射線損傷量を算出する演算手段と、を含んで放射線損傷量測定装置を構成する。 （もっと読む）

ハイブリッド型金属異物検知装置（１）は、マグネットブースタ（５）、Ｘ線装置（７）、センサコイル（８）を含む。ベルトコンベヤ（４）で搬送されてくる被検出物（６）に混入された金属異物はマグネットブースタ（５）を通過するとき磁性が強くなりセンサコイル（８）で検知しやすくなる。Ｘ線装置（７）から発生するＸ線の焦点は、センサコイル（８）の感度が一番低下する領域に設定することによって、被検出物の表面、中央部分に混入した金属異物を良好に検知できる。 （もっと読む）