【課題】 蓄積した検査データを固有識別情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物中における異物の有無を判定する検査を実行するとともに、Ｘ線透過量に対応する濃度のＸ線画像を作成するＸ線異物検出装置であって、被検査物の検査毎に、各被検査物の目視可能な固有識別情報を含む検査時の外観可視画像と被検査物の検査に伴い作成されるＸ線画像とを単一画像ファイルに結合した合成検査画像を作成する合成検査画像作成手段３０と、合成検査画像作成手段３０で合成された各被検査物の合成検査画像を、被検査物の固有識別情報に対応するファイル名で識別および読出し可能に蓄積記録する蓄積記録手段３３とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 軽量かつ比較的容易に製造できるＸ線反射装置及び当該Ｘ線反射装置を構成するためのＸ線反射素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係るＸ線反射素子は、固体シリコンからなる本体と、前記本体の表面から裏面に貫通するよう形成された複数のスリットとを有し、前記各スリットの壁面をＸ線反射面とする。本発明に係るＸ線反射装置は、上記いずれかのＸ線反射素子を、互いのスリットが所定の位置関係となるよう複数段積層して構成するか、互いのスリットが所定の位置関係となるよう横方向に並べて構成するか、あるいは、Ｘ線反射素を、互いのスリットが所定の位置関係となるよう上下方向に積層し、かつ、横方向に並べて構成することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。
【解決手段】大ビーム電流を用いて低倍画像を撮像し、小ビーム電流を用いて高倍画像を撮像し、ビーム電流の変化によって発生する撮像画像の輝度変化、焦点ずれ、アライメントずれ、視野ずれを補正する制御量を予め全体制御系１１８内のメモリに保存しておき、ビーム電流を切り替える都度これを補正することにより、電流を切り替えた後の調整作業なしで画像を撮像することを可能にする。また、電子ビームの照射経路中に絞り８０１を設けることにより、電流切り替え時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、Ｘ線管の負荷が変わっても蛍光Ｘ線の強度にほとんど影響しない全反射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 筒状の筐体11内に、その筐体11の軸方向を長手方向L とする棒状のターゲット10と、そのターゲットの長手方向L に配置されたフィラメント13とを有し、陰極である前記フィラメント13から放射した熱電子14を陽極である前記ターゲット10の端面に衝突させて、そのターゲット10から発生して前記筐体11の側壁に向かうＸ線を窓12を介して出射する点光源のＸ線管1 を備え、そのＸ線管1 からのＸ線2 を分光素子4 で単色化して帯状の１次Ｘ線3 として試料表面5aに微小な入射角度αで入射させ、発生する蛍光Ｘ線6 の強度を検出手段7 で測定する。ここで、前記ターゲットの長手方向L が試料表面5aと平行になるように前記Ｘ線管1 が配置されている。 （もっと読む）

【課題】遮蔽板の小型化、装置重量の増加、装置サイズの肥大化、及び有害物質による環境への影響を最小限に抑えつつ、電磁波の漏洩量を低減する電磁波低減方法を提供する。
【解決手段】保持手段により保持される被検体１０５を透過してくる電磁波透過画像を用いて検査を行う際の電磁波漏洩を減少させるための電磁波漏洩低減装置において、前記電磁波透過画像を得るための第一の電磁波発生手段１０１と、被検体１０５を透過する第一の電磁波発生手段１０１の線量を測定するために前記第一の電磁波発生手段に対向して配置される電磁波検出手段１０３と、第一の電磁波発生手段１０１の電磁波軸上で第一の電磁波検出手段１０３の延長上に配置される第二の電磁波発生手段１１１と、を備え、当該電磁波透過画像を撮像するための第一の電磁波発生手段１０１の電磁波の漏洩電磁波を第二の電磁波発生手段１１１からの電磁波を干渉させて当該漏洩電磁波を低減させる。 （もっと読む）

【課題】加速電圧、WD、ラスターローテーションなどの、任意の観察・分析条件下において、高精度な画像ドリフト補正を行う。
【解決手段】ドリフト検出用の基準画像を取得するときに、イメージシフト量の異なる画像も同時に取得して、イメージシフト感度を随時計測する。この基準画像とイメージシフト感度を自動的に登録し、ドリフト補正時にこれら登録条件に従って、ドリフト量検出とイメージシフト制御（ドリフト補正）を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、光電子分析装置で分析した位置が、位置読み取り機能付き光学顕微鏡で得た像のどこに位置するかを示すことが困難であったという点である。
【解決手段】試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、前記試料の第１の像を読み取り、その座標を設定する第１の測定手段と、前記試料の第２の像を読み取り、その座標を設定する第２の測定手段と、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、を備えた試料分析装置において、前記試料ホルダを前記第１の測定手段と第２の測定手段との間で付け替えて分析し、前記第２の測定手段で得た試料部位の位置を前記第１の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。 （もっと読む）

【課題】
電子線を照射し、その二次電子などを検出する検出系では高速で検出するには検出器の面積が重要なファクタである。現在の電子光学系、検出器の技術では一定以上の面積の検出器が必要で、面積に逆比例する周波数で制約を受け、２００Msps以上の検出は実質的に困難である。
【解決手段】
例えば必要面積４mm角、４mm角時の速度を１５０Mspsとして４００Mspsで検出するには、単体の高速な２mm角の検出器を４個並べ、それらを増幅後、加算してA/D変換する。又は、二次電子偏向器で順次８mm角の検出器に二次電子を入射させ、１００Mspsで検出、A/D変換後並べる。いずれも、４mm角の面積と４００Mspsの速度を達成可能である。
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【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ２または３成分系の元素濃度の二次元分布データから作られる散布図を用いて相分析を行う際に、２または３成分系の状態図を簡単に参照できるようにする。
【解決手段】 公開されている状態図を画像ファイルとして取り込む手段と、画像ファイルとして取り込まれた状態図の濃度軸／温度軸、液相線／固相線などの線上の点をデジタル的に指定できるようにグラフ化する手段を備える。散布図と状態図を同時に表示し、状態図の濃度軸上である値をクロスカーソルで指示すると、散布図上の対応する濃度の位置にマーカーが表示される。また散布図上のマーカーが表す濃度位置が変わると、それに対応した状態図上のクロスカーソルの位置も移動する。 （もっと読む）

【課題】 分析中や分析後でも、分析結果の信頼性を損なう試料の帯電が生じていることを簡単に知ることができる電子プローブＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料に帯電が生ずると、照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合が急激に低下する現象を利用して帯電の有無を判定する。図の照射電流検出器１８によって分析開始前に照射電流値Ipが検出され、分析中は試料１１から取り出される試料吸収電流Iaを電流測定回路１９で測定する。制御／演算装置１４は照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合Ia/Ipを求め、データベース１５の予め定めておいた帯電の判定条件データと比較して帯電の有無を監視する。帯電が生じていると判定した場合、分析経過中に表示装置１６に表示し再測定を促したり、分析終了後に分析結果とともに帯電の有無の判定結果を表示したりすることにより、信頼性の高い分析結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】筐体上に落下乃至堆積した異物がベルト搬送部の端部に落下するのを防止する。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置は、筐体１内にＸ線照射手段８と、被検査体を所定の搬送方向に搬送するベルト搬送部３と、筐体１内でベルト搬送部の下方に配置されて被検査体を透過したＸ線を検出するＸ線検知手段９とを備え、被検査体中の異物の有無を検出する。前記搬送方向に関する前記筐体１の端部側には、筐体１の上に落下した異物Ａを前記搬送方向と交差する方向に誘導する誘導面７ａ，７ｂが張り出し部７に形成されている。筐体上に落下した異物は前記搬送方向に滑り落ちることなく、誘導面に案内されて筐体の前後方向に落下するので、被搬送体に異物が付着することはない。 （もっと読む）

【課題】 １次Ｘ線を効率よく試料励起に用いて、測定試料元素を多重励起し、１ｐｐｍ以下の微量元素を分析可能とする小型の蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 ２次ターゲットを試料セル中に載置し、測定試料の分析深さ内で、１次Ｘ線、２次ターゲットによる１次Ｘ線の散乱線および２次ターゲットから発生したＸ線を励起線源群とする。 （もっと読む）

サンプルを分析するために、Ｘ線、中性子線、ガンマ線、または粒子ビーム放射を使用して、分析エンジンの放射境界面にサンプルを呈示する技法が開示される。保護障壁は、放射に対して透過性であり、かつサンプルをエンジンから分離し、障壁移動システムを使用して、放射境界面に対して可動である。一実施形態の障壁は、サンプルが配置される空洞にわたって可動であり、空洞にわたって膜のほぼ連続的な供給を提供および回収するリールシステムで可動である膜である。空洞は、サンプルが通って可動であるサンプル経路の一部を形成することが可能である。サンプル経路が加圧される場合、膜は、分析エンジンによるサンプルの分析中に圧力を維持する。

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