【課題】検査対象物の端部付近に小さな異物が混入している場合においても、該異物を検出可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】搬送コンベア１０によってＹ軸方向へ搬送されている検査対象物１に対してＸ線を照射するＸ線源１１、１２と、Ｘ線源１１、１２のそれぞれに対応し、Ｘ線源１１、１２から検査対象物１に照射され透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３、１４とを備えている。Ｘ線源１１は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の一端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。Ｘ線源１２は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の他端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

【課題】保護対象に作用する磁場の変化を簡単な構成で確実に抑えることが可能な磁場変化抑制機能付き電子機器システムを提供する。
【解決手段】試料分析システム１００は、磁場を形成する超電導マグネット２に対してその磁場の影響を受ける位置に設置される保護対象としての分析装置１と、この分析装置１に作用する磁場の変化を抑える磁場変化抑制装置３とを備えている。磁場変化抑制装置３は、分析装置１を通過する超電導マグネット２からの漏れ磁場２１の磁束を囲むように分析装置１の近傍に配置されて、漏れ磁場２１が変化することに起因してその変化を打消す向きの補正磁場４１ａ，４１ｂを分析装置１に作用させるような誘導電流を発生させる補正コイル４ａ，４ｂを含んでいる。そして、補正コイル４ａ，４ｂは、漏れ磁場２１の磁束を囲むように巻回された超電導線材を有する超電導コイルである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、物品にＸ線Ｓ１を照射し、シンチレータ３００による光変換をフォトダイオードアレイ（ＰＤＡと略記する）４００で検出することにより物品６００内の微小異物６１０を検出することができ、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００を積層したものである。特に、本発明の実施の形態に関するＸ線検査装置１００では、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００が積層され、Ｘ線検査装置１００ａでは、さらに防水部材７００が積層される。 （もっと読む）

【課題】自動的に対象物の検査に適した面を抽出できるＸ線検査装置、Ｘ線検査方法およびＸ線検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、検査対象１にＸ線を照射するＸ線源１０と、検査対象１を透過したＸ線を検出するＸ線検出器２３と、Ｘ線検出器２３を移動するＸ線検出器駆動部２２と、検査対象１を移動する検査対象駆動機構１１０と、演算部７０とを備える。演算部７０は、Ｘ線源１０、Ｘ線検出器２３などを制御し、検査対象１を複数の方向から撮像し、撮像結果に基づいて、検査対象１の複数の断層画像を生成する。演算部７０は、断層画像のうち、高輝度領域の割合が高い断層画像を特定し、特定された断層画像から、検査対象１の形状特性に応じた所定の距離だけ離れた断層画像を用いて、検査対象１を検査する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過量に基づいて生成する透過画像から仕切り部材の位置を正確に検知するとともに、検査性能の低下を防止する。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送方向Ｙに搬送するベルトコンベア５と、ベルトコンベア５の搬送面５ａに近接して設けられ、搬送面５ａを搬送方向Ｙと直交する方向Ｚに分割して複数の検査レーン１４を形成する仕切り部材１１と、検査レーン１４に搬送されている被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器２１と、被検査物Ｗを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出器２２とを備え、Ｘ線透過量に基づいて透過画像を生成し、この透過画像から被検査物Ｗの品質を検査するＸ線検査装置１において、仕切り部材１１を、搬送手段５の搬送方向Ｙに延在する略板状のＸ線易透過部１２と、Ｘ線易透過部１２の搬送手段５の搬送面５ａに近接する底部に設けられているＸ線難透過部１３とから構成した。 （もっと読む）

【課題】物品供給装置からＸ線検査装置の搬送コンベアへの物品供給量を適正に制御することにより、正確な異物検査を実行することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品５０を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、上流の物品供給装置１２から供給された物品５０を、Ｘ線照射部７とＸ線検出部８との間のＸ線照射経路１００を通過するように搬送する搬送コンベア６と、Ｘ線検出部８の検出結果（データＳ１）から求めた物品５０の厚みに基づいて、物品供給装置１２から搬送コンベア６への物品供給量を制御するコンピュータ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】超伝導Ｘ線検出器と、低温初段増幅器と、コリメータとからなる超伝導Ｘ線検出装置の先端部分において、該検出器と該コリメータとの位置の粗調整が容易な構造とし、かつ、ボンディング配線を保護できる超伝導Ｘ線検出装置およびそれを用いた超伝導Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】超伝導Ｘ線検出器の検出部とコリメータの貫通穴との位置を、該検出器と該コリメータの少なくとも外周の一部を位置の基準として製作し、基準とした外周の一部が一致するように該検出器と該コリメータを装着固定する、あるいはセンサーホルダに設けた溝の壁に基準とした外周の一部が接するように装着固定する構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】起動から検出器が安定状態になるまでの無駄な待機時間を短縮するとともに、検出器が不安定である状態での無駄なデータ収集を防止する。
【解決手段】起動時には検出器３でノイズが多く発生するためプリアンプ４で生成される階段状の電圧パルス信号の傾斜は急でリセットパルスＲＳＴの時間間隔ｔは狭いが、検出器３が安定状態になってノイズが減ると時間間隔ｔは広がる。そこで、リセットパルスＲＳＴの発生の間隔をパルス間隔測定部１１により計測し、判定部１２はその計測された時間間隔ｔが所定の閾値ｔ１を超えたならば表示部１３に指示を与え、分析可能状態になったことを知らせる表示を行う。これにより、無駄な待機時間がなくなり、確実に検出器が安定状態となった後に分析を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】使用時に冷却空気が筐体内に供給されるＸ線異物検出装置において、筐体内の圧力が上昇せず、内部の熱を効率的に排出でき、清掃時に筐体内へ水分が浸入しないようにする。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１では、温度センサ１４で検出した筐体３内の温度が所定温度以上である時、制御手段１０が制御弁１３を開として筐体３内にボルテックスチューブ１１で冷却空気を供給し、Ｘ線発生手段７を冷却する。同時にアクチュエータ２０が作動されて扉１６が駆動され、筐体３の排気口１５が開放される。筐体内の圧力上昇が抑えられ、排気によって冷却効率が向上する。不使用時にはアクチュエータは作動せず扉が排気口を閉止するので清掃時に内部に水が入ることはない。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。
【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】遮蔽扉の開閉を容易にし、且つ清掃時に洗浄水やゴミなどの滞留をなくし、清掃性を向上させる。
【解決手段】筐体２と、Ｘ線発生器２１と、筐体２の前面側に突出するとともにＸ線検出器２２を備えた搬送部８と、筐体２の前面側から取り付け取り外しが可能な搬送ベルト１３と、検査領域Ｐを覆う前面板５の周縁に縁板６が立設された遮蔽扉４とを備えたＸ線異物検出装置１において、遮蔽扉４は、開状態のときに前方に向かって下り斜面した下り傾斜部５ａと、下り傾斜部５ａから連続して上り傾斜した上り傾斜部５ｂとを有し、水抜き孔１０が上り傾斜部５ａと下り傾斜部５ｂの境界に設けられ、筐体２は、筐体２の前面に突設され、遮蔽扉４が閉状態のときに水抜き孔１０を塞ぐためにこの孔１０に嵌入する閉塞部材１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の組成物質の測定を行う携行性に優れたエックス線分析装置を、鉛直面以外の面内にある被測定位置についても測定を行えるようにするエックス線分析装置用支持台を提供する。
【解決手段】 エックス線分析装置２の架台プレート27を傾斜台板11の表面に固定する。傾斜台板11はヒンジ部11dにより揺動可能に設け、傾斜台板11の裏面側にウォームギヤ13を設け、ウォームホイール13bに揺動アーム14の基端部を取付、先端部を傾斜台板11の裏面に摺動可能に連繋させる。ベースプレート23と傾斜台板11に取り付けたブラケット11cとに支持バネ33を掛け渡して、ベースプレート23が下降することを防止する。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】経年変化等に起因して振り分け装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、振り分け装置が不良品を確実に振り分けることが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検出部（フォトセンサ１５又はＸ線検出部８）が物品１２を検出してから、Ｘ線検査装置１の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶されたメモリ２２と、実動作時において、検出部が物品１２を検出してから、物品１２が後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部３０と、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている設定値を補正する補正部３１とを備える。 （もっと読む）

第１の立て柱と、前記第１の立て柱上に取り付けられた第１のコリメータ及び第２のコリメータと、取付ブラケットと、第１の探知器装置及び第２の探知器装置とを含む輻射イメージングシステム用アームフレーム構造、及び上記アームフレーム構造を設けた輻射イメージングシステム。第１のコリメータ及び第２のコリメータはそれらの間の１つの平面に関して対称的に設けられることにより、放射線源からの放射線ビームを２つの対称放射する第１の光束及び第２の光束に分ける。第１の探知器装置及び第２の探知器装置は前記平面に関して対称的に前記取付ブラケット上に設けられ、且つ第１のコリメータ及び第２のコリメータから離れることにより、それぞれ前記第１の光束及び第２の光束を受信する。
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【課題】高電圧大電力変圧器の空間的容積を小さくすると共に経費及び複雑さを抑えると共に、無接点型電力伝達及び双方向通信の高レベルの信頼性を達成する。
【解決手段】イメージング・システムのための方法及び装置（１００）を提供する。このイメージング・システムは、回転部材に結合された静止部材を有するガントリを含んでいる。回転部材は回転部材の回転軸に近接して開放域を有する。Ｘ線源が回転部材に設けられている。Ｘ線検出器が回転部材に配設されて、Ｘ線源からのＸ線を受光するように構成され得る。一次巻線及び二次巻線（１０８、１１０）を円周に配設させた回転式変圧器（１０２、１０４）が、ガントリの回転可能部分を極めて高速に回転させる無接点型電力伝達システムの一部を形成することができ、一次巻線は静止部材に配設され、二次巻線は回転部材に配設される。 （もっと読む）