【課題】マイクロフォーカスＸ線管のＸ線焦点の経時的なずれを低減した画像品質の高いＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】真空状態の容器内に収容された電子銃１１４と容器内にあって電子銃１１４から発生した電子の進行方向側の端部に配置されたターゲット１１５とを備え電子銃１１４及びターゲット１１５に高電圧が印加されることでターゲット１１５のＸ線焦点ＦからＸ線３を発生させるＸ線管１１ａと、このＸ線管１１ａから照射され、被検体２を透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３と、ターゲット１１５近傍の容器外周に設けられた突片１１７と、Ｘ線焦点Ｆを一端とする方向にＸ線管１１ａを摺動可能に支持するレール１６と、レール１６よりターゲット１１５に近い位置で突片１１７を係止する係止部１４１を備えてＸ線管１１ａを所定位置に支持する支持台１４とを備える。
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【課題】透視拡大率の変更や斜め透視に際しての装置動作を従来に比して速くし、また、斜め透視角度によるＸ線光量の不足を生じることのないＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２、およびテーブル３のうちの２つの要素を、それぞれの周囲部に配された３個以上の直線駆動型アクチュエータ（４２ａ等）とその両端部に設けられた屈伸機構（４１ａ等）を持つ駆動機構により、少なくとも互いに接近／離隔する方向に移動させ、その任意の移動位置において傾動するよう、各要素の直線駆動型アクチュエータ（４２ａ等）を協調動作するように制御する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部に連通した空間内にある検査対象物を、その狭隘部の幅よりも広い範囲で撮像することができる放射線センサ及びその放射線センサを用いた非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に、検査対象物１００を挟んで検査対象物に向けて放射線を照射する放射線照射手段（Ｘ線照射手段１０）の反対側に配置され、検査対象物を透過した放射線を受けることにより検査対象物を撮像する放射線センサ（Ｘ線センサ２０）であって、放射線を検出する放射線検出器が長手方向に沿って列状に配置された棒状の放射線検出部（Ｘ線検出部２１）と、放射線検出器を支持して空間内に放射線検出部を支持するための棒状の支持部材と、放射線検出部と支持部材との間に設けられて支持部材に対する放射線検出部の角度を変更することができる接続部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】パルスモータが通常有している原点センサを利用して簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御装置などを提供する。
【解決手段】原点センサ付きのパルスモータ２の制御装置２５であって、まず、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。そして、その脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べ、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出しない場合には、パルスモータ２が脱調したと判断し、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出した場合には、中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。 （もっと読む）

【課題】高真空下（１０^−２Ｐａ以下）にある分析装置内に、正圧（１０^５Pa以上）からガスを精密にかつ安定的に供給し、同一条件を維持し、かつ再現すること共に、所望のガスに短時間で切替えること。
【解決手段】複数の種類のガスをミキシング室で合成し、合成されたガスを導入して減圧ポンプで０．１Ｐａから０．１ＭＰａまでの範囲内の圧力となるまで減圧し、該減圧されたガスをガス切替弁による切替動作によりガス分析装置に導くガス導入装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】ピーク測定条件で測定したネット強度とバックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度との強度比を用いて、測定値の統計変動を小さくし、分析を精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を測定する検出器８Ａ、８Ｂと、測定条件設定手段９１と、ピーク測定条件で測定したネット強度Ｉｎを記憶するネット強度測定手段９２と、バックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度Ｉｂｘを記憶するバックグラウンド強度測定手段９３と、ネット強度Ｉｎとバックグラウンド強度Ｉｂｘとの強度比を演算する強度比演算手段９４と、演算された演算値Ｉｎ／Ｉｂｘにより試料Ｓを定量分析する定量分析手段９５とを有する蛍光Ｘ線分析装置１０。 （もっと読む）

【課題】本発明は高輝度Ｘ線源を提供することにより、これを用いた高分解能かつ高倍率のＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、電子放出陰極を有する電子銃と、陽極と、電子レンズと、該電子銃から放出された電子ビームが照射されることによりＸ線を放出するターゲット部とを有するＸ線源であって、該電子放出陰極としてダイヤモンドを用いたことを特徴とするＸ線源であって、該ダイヤモンドが、柱状形状を有し、少なくとも１箇所の電子放出部となる先鋭部を有し、前記先鋭部の先端半径もしくは先端曲率半径が１０μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は蛍光Ｘ線分析装置のＥＤＳヘッド保護方法及び保護機構に関し、最適なＸ線強度を得ることができる蛍光Ｘ線分析装置のＥＤＳヘッド保護方法及び保護機構を提供することを目的としている。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置で、試料上の測定点での位置を測定する位置検出器と、試料上の測定点の試料の高さを測定するラインセンサ３と、前記位置検出器で検出した試料上の位置座標と前記ラインセンサ３で測定した試料の高さを記録するメモリ１４と、該メモリ１４に記憶されている位置座標と試料の高さに基づき、ＥＤＳヘッド２の高さを制御する高さ制御手段１３と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】固液界面の注目対象である特定元素(イオン)の構造もしくはその周辺の局所構造を容易に解析することができる評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】注目対象が含有される液体試料Sに対して、注目対象（Ｘ線の吸収原子）とは異なる材料からなる電極4を接触させる。この電極界面の液体試料SにＸ線エネルギーを変えながらＸ線を照射し、電極4近傍の注目対象にＸ線を吸収させて注目対象から電子を放出させ、その電子の放出に伴って電極4に生じる電気量を測定する。このＸ線エネルギーと電気量との関係から電極界面における注目対象またはその周囲の構造情報を解析する。 （もっと読む）

本発明は、分析平均面（analysis mean plane）（４）を画定する試料（１）の分析ゾーン（２）を放射する、一定の入射方向（３）で放出されるＸ線ビームの発生部（１０）と、前記放射された分析ゾーン（２）で回折したＸ線を少なくとも１次元座標上で検出する検出器（３０）と、を備えた試料（１）のＸ線解析装置において、更に、前記試料（１）と検出器（３０）の間に配置され、前記分析平均面（４）に含まれる回転軸（５）を中心に回転する周面の一部を切り取った面（partial
surface）からなるＸ線回折面（２１）を含むアナライザシステム（２０）を備え、前記回転軸（５）は前記Ｘ線の入射方向（３）とは異なる方向で前記分析ゾーン（２）の中心を通り、前記回折面（２１）を経て前記検出器（３０）に向かって回折されたＸ線を出射させるように前記回折面（２１）が配置されることを特徴とする。
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【課題】光学系21のフォーカスを自動的に調整できるＸ線イメージ管11における撮像装置20のフォーカス調整装置31を提供する。
【解決手段】光学系21のフォーカス状態を測定する指標となる治具32を、Ｘ線イメージ管11および撮像装置20を用いて撮像する。撮像したデータから、測定手段33がフォーカス状態を測定する。測定したフォーカス状態に応じて、制御手段34がフォーカス調整手段23により光学系21のフォーカスを調整する。 （もっと読む）

多段式工程は、船積みコンテナ内の放射線、爆発物および特殊な物質を検出し、特定する。工程は、分散ネットワーク上のノードとして構成された放射線センサを利用する。工程は、ノードから放射線データを収集する。放射線データは、コンテナおよびその内容物に関連する。収集された放射線データは、水面、陸上、空気、地面および他の構造物などに関連して動的に変化するバックグラウンド放射線データに従って動的に調整される。工程は、存在する１つまたは複数の同位元素を特定するために、収集され調整されたデータを同位元素を表すスペトクトル画像と比較する。特定された同位元素は、それらが表す可能性のある物質と一致する。コンテナ内に含まれる物質の特定を立証するため、またはコンテナ内の認可されない物質を検出および／または特定するために、可能性のある物質は、コンテナの積み荷目録と比較される。隠蔽されている物質、爆発物および他のタイプの物質を特定するのに、中性子パルス装置を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適したX線散乱チャンバを提供する。
【解決手段】X線散乱チャンバ12は、X線回折機器内に設置されたハウジング14を有し、このハウジングは、X線源2とX線検出器4の間に配置され、例えばゴニオメータアーム6上に配置される。ハウジング14は、サンプルホルダ16と、ビーム調整光学素子22、24とを有する。このシステムでは、ハウジングの外側に、一次光学素子10が使用されても良い。本機器は、SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適している。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバの外部からの外光を遮断しつつ、走査光学系の光ビームを真空チャンバ内部に導いて試料上を走査することが可能となる真空チャンバ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバの内部に設けられ、試料を載置し、任意の方向に移動可能とする真空試料ステージ部と、真空チャンバの外部に配置され、試料を走査するための走査ビームを出射、偏向する走査光学系と、真空チャンバと走査光学系とを連結するとともに、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光する外光遮光手段と、真空チャンバと外光遮光手段との連結部分に設けられ、走査ビームが透過可能な内部観察用手段と、走査光学系から出射された走査ビームを、外光遮光手段及び内部観察用手段を介して真空チャンバの内部に導く走査ビーム折り返し手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 潤滑剤を再度循環させることが可能な構造を有した回転陽極型X線管装置を提供することにある。
【解決手段】 陰極とこれに対向する陽極1と、これらを保持し且つ陰極−陽極を真空中に気密するための外囲器15と、前記陽極1を回転させる機構とを備え、この回転機構が前記陽極と締結された回転軸3、及びこれを保持する固定軸6から構成され、この回転軸3と固定軸6との間に液体金属8からなる潤滑材が充填され回転軸回転時に潤滑材に生じる動圧により回転軸と固定体に所定の隙間を保ちながら回転を可能とする動圧軸受機構を具備するX線管装置において、軸受隙間と連通した軸受隙間とは別の隙間に螺旋溝を設け、この螺旋溝により漏洩した液体金属を軸受部まで送液し、この部分で前記連通部とは別個に設けられた軸受隙間と連通する小孔から軸受自体により再度軸受隙間へ循環するように構成されたことを特徴とする回転陽極型X線管装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、絶縁物に生じる帯電電位の分布状況や帯電電位の時間的経緯を検出して、この帯電電位の発生に起因した放電現象と絶縁破壊を未然に防止し得るＸ線管球を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線管球は、Ｘ線管球の内部に備えられた絶縁部に生じる帯電電位を計測する計測プローブをこの絶縁部の外側に配置し、この計測プローブを絶縁部の外面に沿って移動させる移動装置を設け、計測プローブにより絶縁部に生じる帯電電位を計測して計測された帯電電位に基づいて絶縁部に収容した高圧の電極に印加する電圧を調節可能とするように構成した。 （もっと読む）

位相コントラスト画像形成は、試料マスク（８）および検出器マスク（６）を用いて達成される。Ｘ線源（２）から放射されたＸ線は試料マスクによって個々のビーム（１６）に形成されて、試料（１４）を通過し、検出器マスク（６）を通って検出器（４）の各ピクセル（１２）に到達する。各Ｘ線ビームは、各ピクセル行、各ピクセル列、あるいは各ピクセルのピクセル縁部（２０）に衝突するように配置される。各ビーム（１６）の小さな偏向θがピクセルの露出領域（２２）に衝突して信号の大幅な増加あるいは減少を生じさせ、大きな位相コントラスト信号に帰着する。
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【課題】搬送コンベアの状態に関わらず、高精度なキャリブレーションを実施して被検査物の検査を正確に行うことが可能なＸ線検査装置およびＸ線検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、コンベア上に載置された商品に対して照射されたＸ線の透過光をＸ線ラインセンサにおいて検出することで商品に含まれる異物の有無を検出する装置であって、Ｘ線ラインセンサに含まれる複数の画素のキャリブレーションを行う際には、Ｘ線検査装置に搭載された制御コンピュータ２０において形成される判定部２０ａやキャリブレーション実行部２０ｂ等の各種制御ブロックによって、コンベアにおけるキャリブレーションを実施するために適した位置を探して、その位置においてＸ線ラインセンサが検出した結果に基づいてキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】構成が単純で適用範囲が広い体積変化吸収器、そのような体積変化吸収器を有するＸ線発生器、および、そのようなＸ線発生器を備えたＸ線撮影装置を実現する。
【解決手段】体積変化吸収器（３００）は、液体が封入される容器の壁を貫通して気密に取り付け可能な剛性のパイプ状部材(３１０)と、前記パイプ状部材の前記容器の内側となる部分の端部を気密に覆うように一端部が取り付けられ他端部が押し潰し状態で封止された可撓性のチューブ(３３０)とを具備する。 （もっと読む）

【課題】酸・アルカリや有機溶剤などの環境下で使用でき，さらに検出部と線源との間に介在する水分による検出精度の低下を生じない放射線応用測定装置及びコンパクトにして放射線源と検出器が簡単に同一光軸上に設置できるような構造を持つ放射線応用測定装置を提供すること。
【解決手段】放射線源部３と該放射線源部３に対向して配置された放射線検出部５との間に検出対象空洞１を挟んで配置し，放射線源部３から放出され検出対象空洞１を通過した放射線を放射線検出部５で検出することにより検出対象空洞内１の検出対象物の特性を計測する放射線応用計測方法において，放射線検出部５と検出対象空洞１との間に，非吸水性で且つ熱伝導度が０．１W/m・K以下，望ましくは０．１W/m・K以下の部材１１を介在させて放射線を検出する。 （もっと読む）