【課題】 イオンビームと遮蔽材を用いる断面試料作製装置において、断面加工の進行状態を素早く簡単に判断し、断面作製位置の変更や修正を短時間に行えると共に、試料の内部構造を知ることができるようにする。
【解決手段】 イオンビームによって加工される試料６の断面を観察するための光学観察装置４０（断面観察手段）備え、イオンビームを照射中若しくは照射を中断した時にシャッタ４１を開けて、加工室１８内の真空を保持したまま試料６の断面を観察できる。また、試料６と遮蔽材１２の相対位置変更するための調整手段を備え、一回の断面加工が終了する毎に断面画像の取り込みと断面位置の微小移動を繰り返し、得られた複数の画像から試料６の立体画像を構成する。 （もっと読む）

【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】キャスター車輪の固定作業及び解除作業が不要であり、かつ台車全体及び積載した貨物の移載（載せ降ろし）が不要であり、積載した貨物をそのまま円滑に搬送して能率よく検査できるキャスター車輪付き運搬台車用のＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】キャスター車輪２を有するキャスター車輪付き運搬台車１が通過可能な開口１１を有し、運搬台車に積載した被検査物にＸ線を照射して被検査物を検査するＸ線検査トンネル１０と、運搬台車１を両側から挟んで水平に搬送し、Ｘ線検査トンネルの開口を通過させる台車搬送装置２０とを備える。台車搬送装置２０は、鉛直な搬送面２２ａを有する１対の搬送ベルト２２と、搬送ベルトを鉛直に保持したまま水平に動かす１対のベルト駆動装置２４とを備え、１対の搬送ベルトで台板３の鉛直側面３ａを両側から挟んで水平に搬送する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物表面に放射線を照射する放射線源が，単純な平面的なものであったので，微小な測定対象や，局所的な元素分析が必要なときにも，広い範囲に放射線を照射してしまうという欠点を解消すること。
【解決手段】上記放射線源が，上記測定対象物表面の放射線照射点に対向する円錐面状に形成されてなり，且つ上記放射線源を保持する放射線源ホルダに，上記放射線源から上記測定対象物表面の放射線照射点に向けて先細りする放射線通路が形成されてなることを特徴とする粒子線励起Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡によって検出した分析位置におけるＸ線分析において、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを要することなくＸ線分析を行う。
【解決手段】光学顕微鏡の対物レンズと、Ｘ線分析装置のＸ線発生器とを、同一光軸上で切り換え自在とすることによって、光学顕微鏡によって検出した分析位置に対して、試料の移動、および試料の移動に伴う分析対象位置の位置合わせを行うことなく、同じ試料位置のままでＸ線発生器からの一次Ｘ線を照射し、試料から放出される特性Ｘ線を検出しＸ線分析する。複合装置１は、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３とを備えると共に、光学顕微鏡系２とＸ線分析系３が共有する回転自在のレボルバ５を備える。 （もっと読む）

【課題】分析点の位置合わせを精度よく行うための浅い焦点深度及び高倍率観察と、薄片試料の分析点探しを透過光学像によって行うときの広い視野及び低倍率観察という両方の要求を満たす光学観察系を備える電子プローブマイクロアナライザの提供。
【解決手段】 分析点の位置合わせを精度よく行うための反射光学像の観察は、落射照明装置Ｓ３と観察装置Ｋ２と有孔反射対物レンズ１０とこれらを結ぶ光路に配置された光学機構を用いる。広い視野及び低倍率を要求される透過光学像を観察する場合は、観察装置Ｋ３とＯＭが備えている落射照明装置Ｓ３と有孔反射対物レンズ１０とこれらを結ぶ光路に配置された光学機構を利用する。 （もっと読む）

【課題】 深さ方向元素分析方法に関し、３ｎｍ以下の極表面領域の元素分布を高精度で取得する。
【解決手段】 イオンビーム照射によるスパッタエッチングによって試料１の表面から放出される二次イオン４を検出し、試料１中に含まれる元素の深さ方向分布を測定する際に、試料１を酸素雰囲気２に曝した状態でイオンビームを照射して、試料１の極表面での元素分布評価を行う。 （もっと読む）

【課題】 深さ方向元素分析方法に関し、簡単な構成によりエレクトロポジティブな元素とエレクトロネガティブな元素とを同時に高感度で検出する。
【解決手段】 イオンビーム照射によるスパッタエッチングによって試料１の表面から放出される二次イオンを検出し、試料１中に含まれる元素の深さ方向分布を測定する際に、試料１をエレクトロネガティブな元素雰囲気４に曝した状態でイオンビームを照射して、エレクトロネガティブな元素２と試料１中に含まれるエレクトロポジティブな元素３との負の複合分子イオン６を検出する。 （もっと読む）

【課題】分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡装置Ｐが電子線を照射した際に試料Ｓから放射され且つ前記電子顕微鏡装置Ｐでの解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部１と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部２と、前記試料Ｓの分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部２を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部１に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記試料Ｓの分析に用いるエネルギー線分析部３と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置Ｐと共に用いる分析装置。 （もっと読む）

【課題】 ミラー電子を使って検査像を取得するミラー電子結像式ウェハ検査装置は，従来のSEM式検査装置と像形成原理が異なるため，最適な検査条件を決定することは困難であった。
【解決手段】 上記の課題を解決するため，検査速度S，検査デジタル信号像の画素の大きさD，検査画像のサイズL，時間地縁積分方式による画像信号取り込み周期P，の関係を操作画面にグラフ表示して，ユーザーが直感的に検査速度と検査感度などの諸条件を検討できるようにした。
【効果】 このグラフ表示を見ることにより，必要な検査速度を得るための，画素サイズ，検査画像の幅，TDIセンサの動作周期の値の組をユーザーが容易に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】結晶サイズの異なる各種の試料に対しても精度の高い測定が可能となるＸ線結晶構造解析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線結晶構造解析装置は、発生するＸ線を所定の位置において点状に絞り込む集光ミラー１１を備えており、Ｘ線発生装置１０から発生したＸ線を、ゴニオメータ２０に備えた試料ホルダ上に保持された試料Ｓに照射してその結晶構造を解析するが、更に、Ｘ線発生装置１０とゴニオメータ２０との間の相対的な距離を可変するための手段として、距離可変手段を移動用レール（ガイド）１５，２４を、その一方又は双方に設け、低分子の大きな結晶を含む各種の試料に対しても精度の高い測定を可能にした。 （もっと読む）

【課題】マイクロフォーカスＸ線管の許容負荷を増加させる。
【解決手段】
Ｘ線管の陰極の電子銃は熱電子を発生するカソード48と、その電子放射面49から放射された熱電子を細いビーム状の電子線18に集束する3個のグリッド電極（G1電極、G2電極、G3電極）52、54、56と、電子線18を静電偏向する2個の偏向電極（H1電極、H2電極）59、60とから成る。H1電極59とH2電極60の間に二等辺三角波の交流電圧が印加されることにより、電子線18は矢印64で示す方向に偏向され、それに伴いターゲット20上に形成される焦点32も同じ方向に移動する。その結果、ターゲット20上の焦点32の実質的な面積が増加するため、Ｘ線管の許容負荷を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】 全受光面全体を使用でき、その上で、寿命をできるだけ正確に予測することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とフラットパネルＸ線検出器１２とからなるＸ線測定光学系１３が被測定物を挟むようにして対向配置され、フラットパネルＸ線検出器１２への入射Ｘ線量と同等なＸ線量を、累積的に測定または算出することによりフラットパネルＸ線検出器１２への累積入射Ｘ線量を見積もる累積入射Ｘ線量見積もり部３４と、予め設定された判定基準と見積もられた累積入射Ｘ線量との比較によりフラットパネルＸ線検出器の寿命を判定する寿命判定部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の強度を低下させることなく試料の微小領域に集光させることができるようにする。
【解決手段】試料１を載置する試料台１３と、１次Ｘ線を試料１の表面に対し全反射を起こす入射角で入射させる１次Ｘ線照射部２と、試料１の表面に対向して配置され、試料１から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器１１とを備えている。１次Ｘ線照射部２は１次Ｘ線を発生するＸ線源３、及びその１次Ｘ線を集光して試料１に照射するポリキャピラリーＸ線レンズ５を備え、さらに好ましくはポリキャピラリーＸ線レンズ５から出射した１次Ｘ線のうち試料表面に対して全反射条件を満たさない入射角をもつ１次Ｘ線を遮蔽するスリット７を備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】
試料表面にパルス状の一次イオンを照射し、飛行時間型の質量分析計を用いて前記試料表面の質量スペクトルを得る飛行時間型二次イオン質量分析法において、５００を超えるような試料表面由来のピークについてその精密質量を正確に求めることを目的とする。
【解決手段】
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ測定において、試料表面に質量軸校正物質を表面に配し測定時に試料表面由来の信号と質量軸校正物質由来の信号を同時に検出すること、質量軸校正物質をネプライザーを用いて試料表面に配すること、質量軸校正物質にイオン性物質を用いることにより質量数５００を超える未知ピークについて、その精密質量をより精度良く求めることができるようになった。 （もっと読む）

不活性ガス雰囲気にある試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、分光室は不活性ガスで置換しないですむとともに試料室と連通せず、かつ十分な強度の２次Ｘ線を得ることができ、さらに隔壁が長寿命である装置を提供する。試料４が収納される試料室１と、試料４に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７が収納され、前記試料室１と連通する照射室２と、試料４から発生する２次Ｘ線８を分光して検出する検出手段９が収納される分光室３と、前記照射室２と分光室３とを仕切るように配置されて前記２次Ｘ線８を通過させる隔壁１０とを備え、前記試料室１および照射室２が不活性ガスで置換されるとともに、前記分光室３が真空排気される。
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【課題】
非破壊検査による検査・試験パスの短縮を図り例えば薬剤開発期間の短縮、しいては製造・品質の安定化を図った分子構造複合同定装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検試料載置板１６に載置された同じ被検試料１７に対して０．５ｍｍ以下の直径に制限したＸ線ビームと赤外線・可視光・紫外線の何れか一つあるいは複数の波長ビームを照射する照射光学系（１，１２；２，２２，１１）と、前記被検試料から得られるＸ線回折パターン及び前記被検試料から放出される反射光又は散乱光を検出する検出光学系（９；１１，３，５）とを備え、前記被検試料から同時または連続して少なくともＸ線回折スペクトル及び可視光による反射光像を検査できるように構成した分子構造複合同定装置である。 （もっと読む）

【課題】 蓄積した検査データを固有識別情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物中における異物の有無を判定する検査を実行するとともに、Ｘ線透過量に対応する濃度のＸ線画像を作成するＸ線異物検出装置であって、被検査物の検査毎に、各被検査物の目視可能な固有識別情報を含む検査時の外観可視画像と被検査物の検査に伴い作成されるＸ線画像とを単一画像ファイルに結合した合成検査画像を作成する合成検査画像作成手段３０と、合成検査画像作成手段３０で合成された各被検査物の合成検査画像を、被検査物の固有識別情報に対応するファイル名で識別および読出し可能に蓄積記録する蓄積記録手段３３とを設ける。 （もっと読む）